微米级超精密抛光

精密、超精密加工技术是提高机电产品性能、质量、工作寿命和可靠性，以及节材节能的重要途径。如：提高汽缸和活塞的加工精度，就可提高汽车发动机的效率和马力，减少油耗；提高滚动轴承的滚动体和滚道的加工精度，就可提高轴承的转速，减少振动和噪声；提高磁盘加工的平面度，从而减少它与磁头间的间隙，就可提高磁盘的存储量；提高半导体器件的刻线精度（减少线宽，增加密度）就可提高微电子芯片的集成度。工业发达国家的一般工厂已能稳定掌握3 μm的加工精度（我国为5 μm）。同此，通常称低于此值的加工为普通精度加工，而高于此值的加工则称之为高精度加工。超精密激光切割的切缝小、变形小、切割面光滑、平整、美观，无须后序处理。微米级超精密抛光

通常，按加工精度划分，机械加工可分为一般加工、精密加工、超精密加工三个阶段。目前，精密加工是指加工精度为10~0.1µm，表面粗糙度为Ra0.1~0.01µm，公差等级在IT5以上的加工技术。但一般加工、精密加工和超精密加工只是一个相对概念，其间的界限将随着加工技术的进步不断变化，现在的精密加工可能就是明天的一般加工。凸起字样被缓慢地往下压进底部，变成平滑表面看似现代科技的超精密加工，其实在上个世纪早已出现超精密加工的发展经历了如下三个阶段：（1）20世纪50年代至80年代为技术开创期出于航天、大规模集成电路、激光等技术发展的需要，美国率先发展了超精密加工技术，开发了金刚石刀具超精密切削——单点金刚石切削(Singlepointdiamondturning，SPDT)技术，又称为“微英寸技术”，用于加工激光核聚变反射镜、战术导弹及载人飞船用球面、非球面大型零件等。（2）20世纪80年代至90年代为民间工业应用初期在相关机构的支持下，美国的摩尔公司、普瑞泰克公司开始超精密加工设备的商品化，而日本的东芝和日立以及欧洲Cranfield大学等也陆续推出产品，并开始用于民间工业光学组件的制造。但当时的超精密加工设备依然高贵而稀少，主要以特殊机的形式订作。韩国加工超精密贴片电容激光超精密加工的对象范围很宽，包括几乎所有的金属材料和非金属材料，适于材料的打孔、焊接、表面改性等。

微泰利用自主技术，飞秒激光螺旋钻孔系统和独有ELID（电解在线砂轮修正技术），飞秒激光抛光技术，飞秒激光切割技术，生产各种超精密零部件。测包机分度盘（INDEXTABLE）在MLCC编带工艺中使用的测包机分度盘生产取得了成功。测包机分度盘在通过抛光加工形成袋子时限制了袋子尺寸。经过多年的发展，微泰发展出一种没有口袋大小限制的生产方式，可以生产比目前的0201更小的分度盘。微泰MLCC测包机分度盘为客户提供了高质量的高稳定性和超精密分度盘。适合多种规格尺寸的MLCC分度盘，0201型/0402型/0603型/1005型/1608型分度盘（黑氧化锆），尺寸小于0201的分度盘(黑氧化锆),环氧玻璃分度盘。微泰分度盘特点：1，保证口袋均匀性、高精度，没有口袋形状的限制。2，MLCC在所有口袋中都具有同等性能·采用黑色氧化锆（密度6.05g/cm2）寿命长（抗蛀牙）。3，与竞争对手相比，交货速度快/价格低/质量好。5，使用微泰分度盘测包机速度可提升一倍。

超精密加工技术市场是国家高技术集中的市场，它既是高代价、高投入的工艺技术，又是高增值、高回报的工艺技术，世界工业先进国家都把它放在国家技术和经济振兴的重要位置。试举几例。(1)超精密零件加工。例如惯性导航仪器系统中的气浮陀螺的浮子及支架、气浮陀螺马达轴承等零件的尺寸精度、圆度和圆柱度都要求达到亚微米级精度;人造卫星仪器轴承是真空无润滑轴承，其孔和轴的表面粗糙度Rα达到1nm，圆度和圆柱度均为纳米级精度，这些零件都是用超精密金刚石刀具镜面车削加工的。精密液压控制系统中的精密伺服阀的阀芯与阀套的配合精度也常在亚微米等级，它是用超精密磨削方法加工的。航空及航海工业中导航仪器上特殊精密零件、雷射仪、光学仪器等也会运用超精密加工的技术。

美国是早期研制开发超精密加工技术的国家。早在1962年，美国就开发出以单点金刚石车刀镜面切削铝合金和无氧铜的超精密半球车床，其主轴回转精度为 0.125µm，加工直径为Ø100mm的半球，尺寸精度为±0.6µm，粗糙度为Ra0.025µm。1984年又研制成功大型光学金刚石车床，可加工重1350kg，Ø1625mm的大型零件，工件的圆度和平面度达0.025µm，表面粗糙度为Ra0.042µm。在该机床上采用多项新技术，如多光路激光测量反馈控制，用静电电容测微仪测量工件变形，32位机的CNC系统，用摩擦式驱动进给和热交换器控制温度等。美国利用自己已有的成熟单元技术，只用两周的时间便组装成了一台小型的超精密加工车床(BODTM型)，用刀尖半径为5～10nm的单晶金刚石刀具，实现切削厚度为1nm (纳米)的加工。尽管如此，美国还是继续把微米级和纳米级的加工技术作为国家的关键技术之一，这足以说明美国对这一技术的重视。激光超精密加工质量的影响因素少，加工精度高，在一般情况下均优于其它传统的加工方法。韩国加工超精密蚀刻

激光超精密加工可分为四类应用，分别是精密切割、精密焊接、精密打孔和表面处理。微米级超精密抛光

超精密加工是指在微米级或纳米级尺度上进行的加工技术，它能够制造出具有极高精度和表面质量的零件。这种加工技术广泛应用于半导体制造、光学元件、医疗器械、航空航天等领域。超精密加工技术包括超精密车削、磨削、铣削、抛光等工艺，这些工艺要求使用高精度的机床设备、高质量的刀具材料以及精细的加工参数控制。随着科技的进步，超精密加工技术正向着更高的精度、更复杂的形状和更广泛的应用领域发展。超精密技术是指在制造和测量过程中达到极高的精度和精确度。这种技术广泛应用于半导体制造、精密工程、航空航天、医疗设备等领域。超精密加工技术能够实现微米甚至纳米级别的加工精度，而超精密测量技术则能够检测出极微小的尺寸变化和形状误差。随着科技的发展，超精密技术在提高产品质量、性能和可靠性方面发挥着越来越重要的作用。微米级超精密抛光