溅射闸阀I型转移阀

插板阀保养方法：1.检查插板阀外观，确保无损坏、锈蚀或泄漏。2.检查阀体与管道连接是否牢固。3.检查阀板运动是否顺畅，无卡涩现象。4.检查密封件是否完好，如有损坏应及时更换。5.定期对阀体进行清洁，去除污垢和杂质。6.检查并润滑阀杆和轴承部分。7.检查电动执行器（如有）是否正常工作，接线无松动。8.检查阀门开启和关闭指示是否准确。9.按照制造商的推荐周期进行有效的维护保养。定期进行有效保养能保证插板阀的正常工作，延长使用寿命。微泰转移阀是安装在半导体PVDCVD设备工艺模块和工艺室之间的阀门系统。溅射闸阀I型转移阀

平板闸阀的选用原则1.石油、天然气的输送管线，选用单闸板和双闸板的平板闸阀。如需清扫管线的，选用单闸板和双闸板带导流孔的明杆平板闸阀。2.成品油的输送管线和贮存设备，选用无导流孔的单闸板或双闸板的平板闸阀。3.石油、天然气的开采井口装置，选用暗杆浮动阀座带导流孔的单闸板或双闸板的平板闸阀。4.带有悬浮颗粒介质的管道，选用刀形平板闸阀。5.城市煤气输送管线，选用单闸板或双闸板软密封明杆平板闸阀。6.城市自来水工程，选用单闸板或双闸板无导流孔明杆平板闸阀。需要指出的是：所有的闸阀均不允许用于作调节介质流量用，因此，在开启时必须将闸板全部提升到通道上方。多定位闸阀L型转移阀用真空闸阀时，应考虑与工艺气体的兼容性、工作压力范围、循环速度和维护要求等因素。

闸阀是各种类型阀门中应用很多的阀门。闸阀根据闸板的的构造又分为两大类：楔式闸板和平板闸板。楔式闸阀是闸阀中应用很广的闸阀，它的密封面与垂直中心线形成某个角度，即两个密封面形成楔形。密封面的倾斜角度有2度52分，5度，8度，10度等。角度的大小取决于介质温度的高低，一般工作温度越高，所取角度越大，以减少温度变化时发生楔住的可能性。楔式闸阀中，又有双闸板、单闸板和弹性闸板之分。双闸板的优点是：对密封面的角度的精度要求不高，温度变化不易引起楔住现象，密封面的磨损可以在维修时加垫片补偿。缺点是，这种结构零件较多，同时在粘性介质中容易粘结，影响密封。尤其是当上下挡板或螺栓螺母强度常年锈蚀后闸板容易脱落失效。

真空闸阀的工作原理真空闸阀的工作原理是通过旋转阀杆来驱动阀瓣的开启和关闭，从而控制流体介质的流通。在关闭状态下，阀瓣紧密贴合阀座，形成真空密封，防止气体泄漏。在开启状态下，阀瓣离开阀座，流体介质得以通过。真空闸阀的开关动作通常通过手动、电动或气动执行机构实现，以满足不同应用场景的需求。真空闸阀的应用领域真空闸阀广泛应用于各种真空系统和工艺过程中，如半导体生产、电子设备制造、科研实验、航空航天等领域。在这些领域中，真空闸阀发挥着至关重要的作用，能够确保真空系统的稳定性和可靠性，提高产品质量和生产效率。关闭真空阀涉及将闸门移动穿过流路以形成密封。

闸阀闸阀的工作原理是通过升降闸板（阀瓣）来控制流体流动。闸板通常位于阀门的底部，当闸板提升时，流体通道打开，阀门开启；当闸板下降并密封在阀座上时，流体通道关闭，阀门关闭。闸阀的这种结构使其在关闭状态下具有良好的密封性能。蝶阀蝶阀的工作原理是通过旋转蝶板（阀瓣）来控制流体的流动。蝶板位于阀门的中心，与管道轴线成一定角度。当蝶板旋转至与流体流动方向平行时，阀门开启；旋转至垂直于流体流动方向时，阀门关闭。蝶阀的这种结构使其在全开和全关状态下具有较小的流体阻力。闸阀的结构紧凑，阀门刚性好，通道流畅，流阻数小，密封面采用不锈钢和硬质合金，使用寿命长。三防闸阀BUTTERFLY VALVE

微泰半导体主加工设备腔内精确压力控制的闸阀，三重防护闸阀应用于• Evaporation（蒸发）等设备。溅射闸阀I型转移阀

英文名称;Flange Gate Valve的启闭件是闸板，闸板的运动方向与流体方向相垂直，闸阀只能作全开和全关 , 不能作调节和节流。闸板有两个密封面 ,常用的模式闸板阀的两个密封面形成楔形、楔形角随阀门参数而异 , 通常为 50, 介质温度不高时为 2°52' 。楔式闸阀的闸板可以做成一个整 体，叫做刚性闸板；也可以做成能产生微量变形的闸板 , 以改善其工艺性 , 弥补密封面角度在加工过程中产生的偏差 , 这种闸板叫做弹性闸板。闸阀的种类 ,按密封面配置可分为楔式闸板式闸阀和平行闸板式闸阀 , 楔式闸板式。本类阀门在管道中一般应当水平安装。闸阀关闭时 , 密封面可以只依靠介质压力来密封 , 即依靠介质压力将闸板的密封面压向另一侧的阀座来保证密封面的密封，这就是自密封。大部分闸阀是采用强制密封的 , 即阀门关闭时，要依靠外力强行将闸板压向阀座 , 以保证密封面的密封性。溅射闸阀I型转移阀