屏蔽闸阀

微泰，专门用闸阀应用于• Evaporation• Sputtering• Diamond growth by MW-PACVD• PECV• PVD• Coating• Etch• Diffusion（扩散）•CVD等设备上。可替代VAT闸阀。期特点是*使用维修配件工具包易于维护*将电磁阀和位置传感器连接到15针D-Sub*锁定功能*限位开关*•速度控制器&电磁阀（2Port+N2Port）用不锈钢管连接（φ6）*应用:泵隔离,产品工艺水平要求高的地方。专门用闸阀规格如下：驱动方式：气动、法兰尺寸：4英寸~ 8英寸、法兰类型：ISO, JIS, ASA, CF、连接方式：焊接波纹管、阀门密封：氟橡胶O型圈/Kalrez O型环/EPDM、阀盖密封：Viton O型圈、响应时间：≤ 0.3 sec ~2 sec、操作压力范围：1.5˝ ~ 6˝ : 1×10-10 mbar to 1400 mbar，8˝ ~ 12˝ : 1×10-10 mbar to 1200 mbar 、开始时的压差：≤ 30 mbar、闸门的差动压力：4˝ ~ 6˝ : ≤ 1400 mbar / 8˝ ~ 14˝ ≤ 1200 mbar、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒、初次维护前可用次数：200,000次、阀体温度≤ 200 °、CTemperature for Actuator≤ 80 °C、烤炉温度≤ 150 °C、材料：阀体(不锈钢304)/驱动器(铝6061阳极氧化)、安装位置：任意、操作压力(N2)：4 ~ 7 bar。有中国台湾Micron、UMC、AKT、Micron,Global Foundries、英菲尼亚半导体、日本Micron、三星半导体业绩。

闸板有刚性闸板和弹性闸板，根据闸板的不同，闸阀分为刚性闸阀和弹性闸阀。屏蔽闸阀

闸阀闸阀的工作原理是通过升降闸板（阀瓣）来控制流体流动。闸板通常位于阀门的底部，当闸板提升时，流体通道打开，阀门开启；当闸板下降并密封在阀座上时，流体通道关闭，阀门关闭。闸阀的这种结构使其在关闭状态下具有良好的密封性能。蝶阀蝶阀的工作原理是通过旋转蝶板（阀瓣）来控制流体的流动。蝶板位于阀门的中心，与管道轴线成一定角度。当蝶板旋转至与流体流动方向平行时，阀门开启；旋转至垂直于流体流动方向时，阀门关闭。蝶阀的这种结构使其在全开和全关状态下具有较小的流体阻力。定制闸阀SHIELD GATE VALVE精确控制腔内压力的阀门分为三类：控制系统闸阀、蝶阀、多定位闸阀。

真空闸阀的工作原理真空闸阀的工作原理是通过旋转阀杆来驱动阀瓣的开启和关闭，从而控制流体介质的流通。在关闭状态下，阀瓣紧密贴合阀座，形成真空密封，防止气体泄漏。在开启状态下，阀瓣离开阀座，流体介质得以通过。真空闸阀的开关动作通常通过手动、电动或气动执行机构实现，以满足不同应用场景的需求。真空闸阀的应用领域真空闸阀广泛应用于各种真空系统和工艺过程中，如半导体生产、电子设备制造、科研实验、航空航天等领域。在这些领域中，真空闸阀发挥着至关重要的作用，能够确保真空系统的稳定性和可靠性，提高产品质量和生产效率。

闸阀工作原理：闸阀是只能做全开或者全关的，不能作为调节流量的阀门使用。它的工作原理就是闸板随阀杆一起作上升和下降做直线运动，阀杆上有梯形螺纹，通过阀门顶端的螺母以及阀体上的导槽，来实现阀杆的上下运动，阀杆带动闸板运动。闸板的运动方向与管道流体介质方向是垂直的。闸阀的开启：闸阀的完全开启的状态在运行时，是无法查看的，尤其是对于暗杆闸阀来说。明杆闸阀的开启状态可以观察外露出来的阀杆位置来判断，暗杆闸阀一般则以开不动为止作为完全开启的标志。但考虑到可能因为温度变化出现锁死，一般闸阀开到头，即开不动位置时，再回转大概1/2圈，作为闸阀全开的位置。闸阀的关闭：闸阀在关闭后，可以有自密封和强制密封两种形式，自密封就是说密封面可以只依靠介质压力来密封。但大部分闸阀的闸阀还是使用强制密封的，就是说闸阀的闸板关闭时，要依靠外力将闸板强行压向阀座，来保证密封面的密封性能。通常闸阀的密封性能是好于蝶阀的。介质可向两侧任意方向流动，易于安装。闸阀通道两侧是对称的。

在楔式闸阀中，又有单闸板，双闸板和弹性闸板之分。单闸板楔式闸阀，结构简单，使用可*，但对密封面角度的精度要求较高，加工和维修较困难，温度变化时楔住的可能性很大。双闸板楔式闸阀在水和蒸气介质管路中使用较多。它的优点是：对密封面角度的精度要求较低，温度变化不易引起楔住的现象，密封面磨损时，可以加垫片补偿。但这种结构零件较多，在粘性介质中易粘结，影响密封。更主要是上、下挡板长期使用易产生锈蚀，闸板容易脱落。弹性闸板楔式闸阀，它具有单闸板楔式闸阀结构简单，使用可*的优点，又能产生微量的弹性变形弥补密封面角度加工过程中产生的偏差，改善工艺性，现已被大量采用。闸阀的结构紧凑，阀门刚性好，通道流畅，流阻数小，密封面采用不锈钢和硬质合金，使用寿命长。晶圆闸阀Global Foundries

闸阀多应用于石油、天然气等输送管线上，在半导体加工工程设备上也多用闸阀。屏蔽闸阀

蝶阀蝶阀在全开状态下具有较低的流体阻力，这使得它们在需要快速开启和关闭的应用中非常有效。蝶阀的流线型设计减少了流体的湍流和压力损失，从而提高了系统的能效。闸阀闸阀在全开状态下也具有较低的流体阻力，但由于其结构特点，闸阀在部分开启状态下可能会产生较高的压力损失。闸阀的流体动力学性能在很大程度上取决于其设计和制造质量。蝶阀蝶阀的密封性能通常不如闸阀，尤其是在高压应用中。蝶阀的密封面容易受到腐蚀和磨损的影响，这可能会降低其密封性能。闸阀闸阀以其优异的密封性能而闻名，尤其是在高压和低温应用中。闸阀的闸板与阀座之间的接触面积较大，这有助于实现更可靠的密封。屏蔽闸阀