溅射闸阀UMC

闸阀在管道上主要做切断用。闸阀有以下优点：1.流体阻力小；2.开、闭所需的力较小；3.对介质的流向没有限制；4.全开时密封面受介质的冲蚀比截止阀小；5.体型比较简单，阀门的铸造工艺性较好。闸阀有以下缺点：1.外形尺寸和开启高度都较大，所需的安装空间也较大；2.在开闭的过程中，密封副间有相对摩擦，容易引起擦伤等；3.有两个密封副，加工、研磨和维修较困难；4.开关时间较长。闸阀主要的零部件有：阀体、阀盖、闸板、阀杆、填料、垫片和手轮等。高压闸阀只许介质单向流动，安装时有方向性。它的结构长度大于闸阀，同时流体阻力大。溅射闸阀UMC

插板阀应用范围广泛，主要包括以下领域：1.化工行业：用于管道、容器等设备的介质控制，如石油、天然气、化工产品等。2.矿山行业：用于矿井通风、排水系统中的介质调节和控制。3.食品行业：用于食品生产、加工过程中的介质控制，保证食品安全。4.冶金行业：用于高温、高压、腐蚀性介质的控制。5.纺织行业：用于织物生产过程中的介质调节和控制。6.造纸行业：用于造纸过程中介质的调节和控制。7.水处理行业：用于污水处理、供水系统中的介质调节和控制。8.热力行业：用于火力发电厂、供热系统中介质的调节和控制。9.建筑行业：用于建筑给排水、供暖、空调系统中的介质调节和控制。10.其他行业：如环保、交通、能源等领域。手动闸阀蝶形控制阀真空闸阀是真空系统中用于控制气体进出真空室的机械装置。

真空闸阀是一种特殊的阀门，广泛应用于各种真空系统和工艺过程中。它具有独特的结构和功能，能够满足在真空环境下对流体介质进行精确控制的需求。本文将详细介绍真空闸阀的结构、工作原理、应用领域以及维护保养等方面的知识，帮助读者更好地了解和应用这一重要的工业设备。真空闸阀主要由阀体、阀盖、阀杆、阀瓣、密封件等部分组成。阀体通常采用品质好的不锈钢材料制成，具有优良的耐腐蚀性和高温性能。阀盖与阀体通过螺栓连接，确保阀门的密封性和稳定性。阀杆通过旋转运动驱动阀瓣的开启和关闭，实现流体的通断控制。密封件是真空闸阀的关键部件，通常采用软质材料制成，具有良好的密封性能和耐磨性。

微泰，专门用闸阀应用于• Evaporation• Sputtering• Diamond growth by MW-PACVD• PECV• PVD• Coating• Etch• Diffusion（扩散）•CVD等设备上。可替代VAT闸阀。期特点是*使用维修配件工具包易于维护*将电磁阀和位置传感器连接到15针D-Sub*锁定功能*限位开关*•速度控制器&电磁阀（2Port+N2Port）用不锈钢管连接（φ6）*应用:泵隔离,产品工艺水平要求高的地方。专门用闸阀规格如下：驱动方式：气动、法兰尺寸：4英寸~ 8英寸、法兰类型：ISO, JIS, ASA, CF、连接方式：焊接波纹管、阀门密封：氟橡胶O型圈/Kalrez O型环/EPDM、阀盖密封：Viton O型圈、响应时间：≤ 0.3 sec ~2 sec、操作压力范围：1.5˝ ~ 6˝ : 1×10-10 mbar to 1400 mbar，8˝ ~ 12˝ : 1×10-10 mbar to 1200 mbar 、开始时的压差：≤ 30 mbar、闸门的差动压力：4˝ ~ 6˝ : ≤ 1400 mbar / 8˝ ~ 14˝ ≤ 1200 mbar、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒、初次维护前可用次数：200,000次、阀体温度≤ 200 °、CTemperature for Actuator≤ 80 °C、烤炉温度≤ 150 °C、材料：阀体(不锈钢304)/驱动器(铝6061阳极氧化)、安装位置：任意、操作压力(N2)：4 ~ 7 bar。有中国台湾Micron、UMC、AKT、Micron,Global Foundries、英菲尼亚半导体、日本Micron、三星半导体业绩。

闸阀启闭时较省力。是与截止阀相比而言，因为无论是开或闭，闸板运动方向均与介质流动方向相垂直。

刀型闸阀密封：硬密封，软密封，单面密封，双面密封等多种材质密封。超薄型的刀闸阀以其体积小、流阻小、重量轻、易安装、易拆卸等优点彻底解决了普通闸阀、平板闸阀、球阀、截止阀、调节阀、蝶阀等类阀门的流阻大、重量大、安装难、占地面积大等的疑难问题。刀闸阀出现后，大量的通用切断类阀门和调节阀门已被之取代。全球刀闸阀使用较多的是美国和日本。刀闸阀的使用范围为：1.采矿、洗洗煤、钢铁工业--用于洗洗煤管道、滤渣浆管道等、排灰管道；2.净化装置--用于废水、泥浆、污物及带有悬浮物的澄清水；3.造纸工业--用于任何浓度纸浆、料水混合物；4.电站除灰--用于灰渣浆液 [1]。非金属材料高压闸阀有陶瓷阀门、玻璃阀门、塑料阀门。化学气相沉积闸阀楔式闸阀

微泰半导体主加工设备腔内精确压力控制的闸阀，三重防护闸阀应用于• Evaporation（蒸发）等设备。溅射闸阀UMC

微泰半导体主加工设备腔内精确压力控制的闸阀蝶阀Butterfly Valve。该蝶阀具有紧凑的设计和坚固的不锈钢结构，通过闸板旋转操作。蝶阀可以实现精确的压力控制和低真空环境。例如半导体和工业过程。蝶阀通过控制器和步进电机自动控制到用户指定的值，保持一致的真空压力。可以在高真空环境中实现精确的压力控制。如半导体等高真空工艺应用。控制系统闸阀是自动控制到用户指定的值，通过控制器和步进电机保持一致的真空压力。微泰半导体闸阀被广泛应用于 Evaporation（蒸发）、Sputtering（溅射）、Diamond growth by MW-PACVD（通过 MW-PACVD 生长金刚石）、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷对卷）、Coating（涂层）、Etch（蚀刻）、Diffusion（扩散）、CVD（化学气相沉积）等设备上，可替代 HVA 闸阀、VA T闸阀。有中国台湾Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、马来西亚的英菲尼亚半导体、日本Micron、三星半导体和其它的设备使用业绩。该闸阀由上海安宇泰环保科技有限公司提供。溅射闸阀UMC