芯片超精密半导体卡盘

微泰半导体流量计精密元件半导体流量计的精密组件，可精确测量半导体制造过程中使用的各种气体和液体的流量，并提供实时数据来严格控制该过程。由主体（Body）、叶片(impeller)、钨轴和钎焊轴组成。铝、不锈钢（SUS304、SUS316）、聚甲醛（POM）、可采用聚醚醚酮 (PEEK) 材料加工，提供 1/2"、3/4"、1" 、 11/4" 尺寸。模组型产品尺寸： 1/2 英寸、 9/4 英寸、 1 英寸、 11/4 英寸  材料: AL6061, SUS304, SUS316, POM, PEEK零件包括：主体 、叶片、 钨轴和钎焊轴。半导体流量计适用于半导体设备的流量计，具有高精度的流量检测功能，能够承受从低到高的温度变化，并能将传感器和转换器等部件降到比较低，从而提高空间利用率。超精密加工对工件材质、加工设备、工具、测量和环境等条件都有要求，需要综合应用精密机械和其他先进技术。芯片超精密半导体卡盘

微泰利用激光制造和供应高质量的超精密零件，包括钻孔、成形、切割和抛光。 它可以加工多种材料，包括 PCD PCBN、陶瓷、硬质合金、不锈钢、热处理钢和钼，包括直接用于 MLCC 和半导体生产线的零件。 他们生产的各种部件，甚至是进入该生产线的设备。 特别是，我们专注于生产需要高难度、公差和几何公差的产品，并以 30 年的磨削技术、成型技术、钻孔技术和激光技术为后盾，力求客户满意。微泰，提供各种超精密零件，包括耗散零件、喷嘴、分度表和夹钳，以及用于 MLCC 和半导体领域的各种精密真空板。 它可以加工和制造各种材料，包括不锈钢、硬质合金、氧化锆和陶瓷膜，并能生产和提供高质量的各种形状和喷嘴产品，以满足您的需求，这些产品具有高耐磨性。 凭借 30 年的精密加工技术，我们不仅生产和供应零件，还生产和供应需要装配的超精密组件。 特别是在MLCC、半导体和二次电池领域，这些领域要求小巧、精密和高质量，在制造尚未成功本地化的部件方面取得了很大成就。高效超精密打孔激光超精密加工技术领域，全球有多家厂商参与竞争并提供各种不同类型的设备。主要厂商集中在亚洲、德国等。

微泰，经验丰富的工程师团队在制造高精度零件方面拥有精湛的专业技能，并以精密的精密加工技术、严格的公差、复杂的设计图纸分析和周到的加工策略，生产出满足客户期望的精密较好零件。 它还能准确、快速地应对生产过程中可能出现的意外问题，并对新技术和新材料的不断学习和前沿技术信息进行持续投资。微泰，拥有高精度的三维接触测量仪和各种精密测量设备，生产精密零件和模型组装产品，以准确反映客户的需求，并通过建立系统的质量控制和检测系统，将质量作为管理的首要任务。超精密加工可以满足客户的需求。 我们先进的精密加工技术可加工难于加工的材料，可帮助提高产品性能，同时提供针对不同客户需求的优化产品，包括降低成本和极短的交货期。微泰在精密零件制造和模组装配方面具有高水平的专业知识和高质量。 我们重视与客户的开放沟通和合作，并通过共同努力，保持持续发展的强大合作伙伴关系。

微泰利用飞秒激光螺旋钻孔技术生产各种精密零部件，使用激光进行微孔加工（可加工至Φ0.01mm）·可以改变微孔形状（圆形、椭圆形、方形）·激光加工不同于一般钻孔，因此孔位置始终保持不变，因为孔是在热处理后加工的。纳秒红外激光器环钻系统–功率：50W,脉冲能量：100uJ，频率：100Hz飞秒绿光激光器先进的螺旋钻孔系统–功率：5W,脉冲能量：13uJ，频率：100Hz·孔径至少为20μm·能够加工MAX0.3㎛孔距·MLCC贴合真空板·能够处理多达800,000个孔·各种形状的洞·同一截面的不规则孔·可混合加工不规则尺寸。利用先进的飞秒激光螺旋钻孔系统和独有ELID（电解在线砂轮修正技术），飞秒激光抛光技术，生产各种超精密零部件。用于半导体加工真空板薄膜真空板倒装芯片工艺真空块MLCC贴合用真空板薄膜芯片粘接工具，镜头模组组装治具。用自主自主技术，飞秒激光螺旋钻孔系统，加工出来的微孔不同于连续波激光，纳秒激光，皮秒激光加工出来的微孔，平整，热变形和物理变形很小，可以做到，1.孔径至少为20微米 ；2.能够加工MAX0.3微米孔距；3.MLCC贴合真空板4.在一块真空板上，能够处理多达八十万个孔；5.各种形状的孔；6.同一截面的不规则孔；7.可混合加工不规则尺寸的孔超精密加工中的超微细加工技术是指制造超微小尺寸零件的加工技术。

微泰，生产各种用于 MLCC 和半导体的精密真空板。工业真空盘由于其吸气孔较大，会对被吸物造成伤害，因此精密真空板的需求越来越大。 薄膜等薄片型产品，如果孔较大，可能会造成产品损伤或压花。因此市场需求超精密多微孔真空板。微泰生产并为工业领域提供高精度真空板，这些板由 Φ0.1 到Φ0.03 的微孔组成。半导体行业普遍使用陶瓷真空板，但由于其颗粒大，很难控制平面度及均匀的压力。客户对真空板的重要性日益凸显。 其尺寸各不相同，均匀压力管理有所不同。但根据客户的需求，我们生产并提供了质量优、性能优的真空板，并提供平面度0.001um和Φ0.03um的真空板（吸膜板，吸附板）。微泰产品应用于半导体用真空卡盘、薄膜吸膜板，吸附板，倒装芯片键合真空块、MLCC 堆叠Vacuum Plate、MLCC印刷吸膜板。超精密加工被定义为对细节的要求格外费心的工业技术，且需要掌握各种各样的知识，才能准确操作。PCD超精密分配板

超精密激光加工是可以高速制造精密零件的加工技术，它可以减少工业废物，同时将有害物质的排放量降低。芯片超精密半导体卡盘

精密零件的加工生产离不开精密切削技术，半导体/LCD、MLCC、二次电池等领域尤其使用精密零件。一般磨削技术的问题是，磨削后要根据叶轮磨损量继续进行修整，修整后叶轮表面会发生细微变化，因此很难保持相同的质量。相反，ELID研磨技术可以解决这些问题，因为无需研磨即可连续工作。微泰的ELID（在线砂轮修正）技术和经验为基础，实现高精度的切削加工技术，由此生产的产品具有一般难以生产的高精度平坦度和质量。提高真空板（VACUUM 板）表面粗糙度，改善刀片的表面粗糙度，减少研磨时的Burr，无需手动调整可以连续稳定作业。刀片可以做到，材料：碳化钨、氧化锆等。刀片厚度（t1）：100㎛叶片 。边缘厚度（t2）：低于0.2㎛。刀刃线性度：低于5㎛。刀刃对称性：低于3㎛。刀片边缘粗糙度：Ra0.02㎛。角度（θ）精度：±0.3°芯片超精密半导体卡盘