在CCD(电荷耦合器件)制造过程中,颗粒沾污对CCD的薄膜质量、光刻图形完整性等有很大的影响,降低CCD的成品率。CCD制造过程中的颗粒来源主要有两个方面:一个制造过程中工艺环境产生的颗粒;另一个是薄膜的淀积、光刻和离子注入等CCD工艺过程中产生的颗粒。工艺环境的颗粒可来源于墙体、设施、设备、材料和人员,工艺过程的颗粒来源于易产生粉尘的工艺,比如说LPCVD淀积多晶硅和氮化硅及刻蚀工艺等。无尘烘箱,即使在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100,为CCD(电荷耦合器件)制造过程中烘烤提供洁净环境,预防颗粒沾污定期检查轴套的磨损情况,磨损较大后应及时更换。整体成型硅橡密封圈真空烘箱定制
低温对产品的影响1、橡胶等柔韧性材料的弹性降低,并产⽣破裂;2、⾦属和塑料脆性增⼤,导致破裂或产⽣裂纹;3、由于材料的收缩系数不同,在温变率较⼤时,会引起活动部件卡死或转动不灵;4、润滑剂粘性增⼤或凝固,活动部件之间摩擦⼒增⼤,引起动作滞缓,甚⾄停⽌⼯作;5、元器件电参数发⽣变化,影响产品的电性能;6、结冰或结霜引起产品结构破坏或受潮等。⼆、低温环境效应1、使材料硬化及脆化。2、不同材料的不同收缩特性⽽使零件卡死。3、由于润滑剂增加黏性⽽失去润滑作⽤。4、电性改变(如电阻,电容等)。5、变压器和机电组件功能改变。6、冲击基座变硬。7、物破裂,如铵硝酸。8、使试件产⽣裂痕、脆化并改变耐冲击强度及减低强度。9、玻璃产⽣静⼒疲劳。10、使⽔凝结和冰冻。11、减低⼈的灵巧性及使听⼒和视⼒退化。12、改变燃烧速率。真空泵抽湿真空烘箱PID调节微电脑智能温控仪设定参数。
真空烘箱由高真空度真空泵,箱体,工作室,电加热器及数字温度器组成。能够在设定的真空度条件下稳定工作,适用于医药、化工、电子、器、材料、零件的真空乾燥处理。箱体外壳以冷扎板喷塑,美观悦目。内箱以不锈钢板密焊耐压工艺处理,配上门上的硅胶密封压垫,保证箱内的气密性,并采用玻璃纤维保温,提供高效绝热,节省能耗效果。发热板安装在内箱体四侧,以保证温度均匀性。广用于医药、食品、轻工、化工、电子等行业作干燥之用,具有干燥物品速度快、污染小、不对干燥物品的内在质量造成破坏的优点。
为获得平坦而均匀的光刻胶涂层并使光刻胶与晶片之间有良好的黏附性,通常在涂胶前对晶片进行预处理。预处理第一步常是脱水烘烤,在真空或干燥氮气的机台中,以150~200℃烘烤。工艺目的是除去晶片表面吸附的水分,在此温度下,晶片表面大约保留了一个单分子层的水。涂胶后,晶片须经过一次烘烤,称之软烘或前烘。工艺作用是除去胶中大部分溶剂并使胶的曝光特性固定。通常,软烘时间越短或温度越低会使得胶在显影剂中的溶解速率增加且感光度更高,但对比度会有降低。实际上软烘工艺需要通过优化对比度而保持可接受感光度的试凑法用实验确定,典型的软烘温度是90~100℃,时间从用热板的30秒到用烘箱的30分钟。在晶片显影后,为了后面的高能工艺,如离子注入和等离子体刻蚀,也须对晶片进行高温烘烤,称之后烘或硬烘。这一工艺目的在于:减少驻波效应;激发化学增强光刻胶PAG产生的酸与光刻胶上的保护基团发生反应并移除基团使之能溶解于显影液。 抽完真空后,先将真空阀门关闭,然后再将真空泵电源关闭或移除。
在真空条件下,溶剂沸点明显降低,箱内保持温度恒定。烘箱结构真空烘箱能在较低温度下获得较高的干燥速率,热量利用充足,主要合用于对热敏性物料和含有容剂及需回收溶剂物料的干燥。在干燥前可进行消毒办理,干燥过程中任何不纯物无混入,本干燥器属于静态真空干燥器,故干燥物料的形成不会破坏。加热方式有:蒸汽、热水、导热油、电热。真空烘箱专为干燥热敏性、易分解和易氧化物质而设计,能够向内部充入惰性气体,特别是一些成分复杂的物件也能进行快速干燥。主要适用于对热敏性物料和含有容剂及需回收溶剂物料的干燥。台州无尘埃破坏真空烘箱安全警报
干燥的物品如干燥后改变为重量轻,体积小(为小颗粒状),应在工作室内抽真空口加隔阻网。整体成型硅橡密封圈真空烘箱定制
热对流真空烘箱,包括真空箱体和密封门,真空箱体的箱口采用法兰面,此面与箱体密封门紧密贴合,避免真空泄漏。真空箱体内壁设置无孔镜面不锈钢板13、有孔镜面不锈钢板14,这两种不锈钢板组合配对装配,与无孔镜面不锈钢板14靠箱体内壁,有孔镜面不锈钢板13在箱体内表面,两钢板间距为5—15mm,无孔镜面不锈钢板用来反射热量,热量通过小孔回到箱体中,减少热量损失。在箱体顶部内壁设置有孔镜面不锈钢板12。箱体顶部和下部左右两边各设置有氮气进气口,可以实现氮气快速扩散到箱体内部各地方。真空箱体在工作的时候,真空度控制在10~50pa之间,温度控制在80~110℃,这样电池中的水份会变成水蒸汽扩散在箱体中,原箱体中也有少量的空气,真空干燥箱保温保压一段时间后,箱体中的水蒸汽达到一定的量后,为了将水蒸汽排出,需向箱体中充入氮气,因为氮气的分子质量比水蒸汽的分子质量大,为了能快速将水蒸汽排挤到箱体上方,方便将其从真空口抽出,所以在箱体下方布置2-3个进氮气进气口。这样的设置方式可以减少静置时间,氮气快速扩散,将水蒸汽排挤到箱体上方,再通过真空泵将水蒸汽抽出。真空箱体氮气进气口预先对氮气进行加热,因为氮气进到高温箱体中时。整体成型硅橡密封圈真空烘箱定制