利用激光束加热能够对某些合金或化合物进行“闪光蒸发”。这对于保证膜的成分,防止膜的分馏或分解也是及其有用的。但是,由于制作大功率连续式激光器的成本较高,所以它的应用范围有一定的限制,目前尚不能在工业中***应用。2.溅射镀膜1842年格罗夫在实验室中发现了阴极溅射现象。他是在研究电子管的阴极腐蚀问题时发现阴极材料会迁移到真空管壁上面去的现象。从1870开始,就已经将溅射原理应用于薄膜的制备,但是,在过去的100多年中溅射工艺的发展很缓慢。1940年以后,发现了溅射膜层具有极其优良的性能,同时改善溅射装置,提高溅射速率的各种新工艺相继出现并到达实用化的程度,这才使溅射技术迅速的发展,并在工业上***的应用。所谓“溅射”是指荷能粒子轰击固体表面(靶),使固体原子(或分子)从表面射出的现象。射出的粒子大多呈原子状态,通常称为溅射原子。用于轰击靶的荷能粒子可能是电子,离子或中型粒子,因为离子在电场下易于加速并获得所需动能,因此大多采用离子作为轰击粒子。该粒子又称入射离子。由于直接实现溅射的机构是离子,所以这种镀膜技术又称为离子溅射镀膜或淀积。溅射镀膜的方式很多,比较具有代表性的方法有:1)直流二极溅射。构造简单。专业卷绕镀膜机供应商,无锡光润!品质卷绕镀膜机原理
在大面积基板上可制取均匀薄膜,放电电流随压强和电压的改变而变化;2)三极或四极溅射。可实现低气压,低电压溅射,可**控制放电电流和轰击靶的离子能量。可控制靶电流,也可进行射频溅射;3)磁控溅射(或高速,低温溅射)。在与靶表面平行的方向上施加磁场,利用电场与磁场正交的磁控管原理,减少电子对基板的轰击,实现高速低温溅射;4)对向靶溅射。两个靶对向放置,在垂直于靶的表面方向加磁场,可以对磁性材料等进行高速低温溅射;5)射频溅射。为制取绝缘薄膜,如氧化硅,氧化铝,玻璃膜等而研制,也可溅射金属;6)反应溅射。可制作阴极物质的化合物薄膜,如氮化钛,碳化硅,氮化铝,氧化铝等;7)偏压溅射。镀膜过程中同时***基片上轻质量的带电粒子,从而使基板中不含有不纯气体;8)非对称交流溅射。在振幅大的半周期内对靶进行溅射,在振幅小的半周期内对基片进行离子轰击,***吸附的气体,以获得高纯薄膜;9)离子束溅射。在高真空下,利用离子束溅射镀膜,是非等离子体状态下的成膜过程。靶接地电位也可;10)吸气溅射。利用对溅射粒子的吸气作用,除去不纯物气体,能获得纯度高的薄膜。3.离子镀膜离子镀膜技术是美国Sandia公司的。湖南卷绕镀膜机哪家便宜无锡卷绕镀膜机哪家比较划算?
附着性好,膜结构及形貌差,若用电子束加热必须用差压板;可用于镀耐腐蚀润滑机械制品。2)多阴极型。利用电阻或电子束加热使膜材气化;依靠热电子,阴极发射的电子及辉光放电使充入的真空惰性气体或反应气体离化。这种方法的特点是:基板温升小,有时需要对基板加热可用于镀精密机械制品,电子器件装饰品。3)活性反应蒸镀法(ARE)。利用电子束加热使膜材气化;依靠正偏置探极和电子束间的低压等离子体辉光放电或二次电子使充入的氧气,氮气等反应气体离化。这种方法的特点是:基板温升小,要对基板加热,蒸镀效率高,能获得氧化铝,氮化钛,碳化钛等薄膜;可用于镀机械制品,电子器件,装饰品。4)空心阴极离子镀(HCD)。利用等离子电子束加热使膜材气化;依靠低压大电流的电子束碰撞使充入的气体Ar或其它惰性气体,反应气体离化。这种方法的特点是:基板温升小,要对基板加热,离化率高,电子束斑较大,能镀金属膜,介质膜,化合物膜;可用于镀装饰镀层,耐磨镀层,机械制品。5)射频离子镀(RFIP)。利用电阻或电子束加热使膜材气化;依靠射频等离子体放电使充入的真空Ar及其它惰性气体,反应气体氧气,氮气等离化。这种方法的特点是:基板温升小,不纯气体少。
简介真空镀膜在真空中制备膜层,包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段,但一般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空镀膜有三种形式,即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。蒸发镀膜通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面,称为蒸发镀膜。这种方法**早由M.法拉第于1857年提出,现代已成为常用镀膜技术之一。蒸发镀膜设备结构如图1。蒸发物质如金属、化合物等置于坩埚内或挂在热丝上作为蒸发源,待镀工件,如金属、陶瓷、塑料等基片置于坩埚前方。待系统抽至高真空后,加热坩埚使其中的物质蒸发。蒸发物质的原子或分子以冷凝方式沉积在基片表面。薄膜厚度可由数百埃至数微米。膜厚决定于蒸发源的蒸发速率和时间(或决定于装料量),并与源和基片的距离有关。对于大面积镀膜,常采用旋转基片或多蒸发源的方式以保证膜层厚度的均匀性。从蒸发源到基片的距离应小于蒸气分子在残余气体中的平均自由程,以免蒸气分子与残气分子碰撞引起化学作用。蒸气分子平均动能约为~。蒸发镀膜的类型蒸发源有三种类型。①电阻加热源:用难熔金属如钨、钽制成舟箔或丝状,通以电流,加热在它上方的或置于坩埚中的蒸发物质。上海卷绕镀膜机价格?
离子镀蒸发物质的分子被电子碰撞电离后以离子沉积在固体表面,称为离子镀。这种技术是D.麦托克斯于1963年提出的。离子镀是真空蒸发与阴极溅射技术的结合。一种离子镀系统如图4[离子镀系统示意图],将基片台作为阴极,外壳作阳极,充入惰性气体(如氩)以产生辉光放电。从蒸发源蒸发的分子通过等离子区时发生电离。正离子被基片台负电压加速打到基片表面。未电离的中性原子(约占蒸发料的95%)也沉积在基片或真空室壁表面。电场对离化的蒸气分子的加速作用(离子能量约几百~几千电子伏)和氩离子对基片的溅射清洗作用,使膜层附着强度**提高。离子镀工艺综合了蒸发(高沉积速率)与溅射(良好的膜层附着力)工艺的特点,并有很好的绕射性,可为形状复杂的工件镀膜。光学镀膜材料(纯度:)高纯氧化物一氧化硅、SiO,二氧化铪、HfO2,二硼化铪,氯氧化铪,二氧化锆、ZrO2,二氧化钛、TiO2,一氧化钛、TiO,二氧化硅、SiO2,三氧化二钛、Ti2O3,五氧化三钛、Ti3O5,五氧化二钽、Ta2O5,五氧化二铌、Nb2O5,三氧化二铝、Al2O3,三氧化二钪、Sc2O3,三氧化二铟、In2O3,二钛酸镨、Pr(TiO3)2,二氧化铈、CeO2,氧化镁、MgO,三氧化钨、WO3,氧化钐、Sm2O3,氧化钕、Nd2O3。卷绕镀膜机使用中有哪些注意事项?专业卷绕镀膜机原理
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