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涂层制备工艺有哪些?化学气相沉积(CVD)化学气相沉积是一种通过化学反应在基材表面沉积涂层的方法。CVD工艺适用于制备薄膜、纳米材料和复合涂层等。这种工艺在半导体行业尤为常见,用于制备硅、碳化硅、氮化...