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吸气剂离子泵:它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上,以达到抽气的目的。是一种无污染的超高真空泵,极限压力可达10-7~10-9帕。蒸发离子泵:泵内被电离的气体吸附在以间断或...
流量单位时间流过任意截面的气体量,符号用“Q”表示,单位为帕·升/秒(Pa·L/s)或托·升/秒(Torr·L/s)。流导表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒(L/s),在稳定状态下,管道流导等于...