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用硅胶除去气体中的水分，经精馏而得成品。上海口碑好四氟化碳质量代理商

一种四氟化碳气体浓度检测校正方法，包括：

通过双光路检测系统利用双波长红外差分检测法测量出不同温度下的四氟化碳气体浓度值；

将测量出的所述四氟化碳气体浓度值和对应的温度值输入至RBF神经网络进行训练；

将对测试样本测量所得的四氟化碳气体浓度值输入至训练好的所述RBF神经网络进行测试并开展反演计算，得到校正后的四氟化碳气体实际浓度值。

推荐地，在本发明实施例提供的上述四氟化碳气体浓度检测校正方法中，通过双光路检测系统利用双波长红外差分检测法测量出四氟化碳气体浓度值，包括：所述红外光源发出的红外光束经准直后进入内置有四氟化碳气体的所述气体采样室；被四氟化碳气体吸收特定波长的红外光束作为测量光；波长不受四氟化碳气体影响的红外光束作为参考光；

在所述测量光经所述滤光片透射后，检测所述测量光的光强；在所述参考光经所述第二滤光片透射后，检测所述参考光的光强；

杭州节能四氟化碳厂家哪家好不燃气体，遇高热后容器内压增大，有开裂、危险。

四氟化碳是目前微电子工业中用量比较大的等离子蚀刻气体，也可以广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗，太阳能电池的生产，铝合金门窗制造、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态，印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。同时，由于四氟化碳的化学稳定性，四氟化碳可用于金属冶炼，例如：铜、不锈钢，碳钢、铝、蒙乃尔等；还可用于塑料行业；如：合成橡胶、氯丁橡胶、聚氨基甲酸乙酯。在使用四氟化碳的同时，也要注意使用四氟化碳的注意事项，如在泄漏时，应迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。如有可能，即时使用。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。

半导体电子特气行业具有较高的技术壁垒。半导体电子特种气体在生产过程中涉及合成、纯化、混合气配制、充装、分析检测、气瓶处理等多项工艺技术，每一步均有严格的技术参数要求和质量控制措施。为了保证半导体器件的质量与成品率，特种气体产品要同时满足“超纯”和“超净”的要求，“超纯”要求气体纯度达到 4.5N、5N 甚至 6N、7N（N 是 Nine 的简写，几个 N 就有几个 9“超净”即要求严格控制粒子与金属杂质的含量。作为特种气体的参数，纯度每提升一个 N，粒子、金属杂质含量浓度每降低一个数量级，都将带来工艺复杂度和难度的提升。 供氟速率和反应炉冷却控制反应温度。

四氟化碳是目前微电子工业中用量比较大的等离子蚀刻气体，也可以广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗，太阳能电池的生产，铝合金门窗制造、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态，印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。同时，由于四氟化碳的化学稳定性，四氟化碳可用于金属冶炼，例如：铜、不锈钢，碳钢、铝、蒙乃尔等；还可用于塑料行业；如：合成橡胶、氯丁橡胶、聚氨基甲酸乙酯。温度较低时，四氟化碳与二氧化碳不发生作用。无锡节能四氟化碳优化价格

四氟化碳是不燃气体，如果遇到高热后会造成容器内压增大，有开裂、危险。上海口碑好四氟化碳质量代理商

特性 在常温下，四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体，挥发性较高，是稳定的有机化合物之一，在900℃时，不与铜、镍、钨、钼反应，*在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015％（重量比），然而与可燃性气体燃烧时，会分解产生氟化物。 应用 四氟化碳是目前微电子工业中用量的等离子烛刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯阳氧气的混合体，可 广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的烛刻。 在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。上海口碑好四氟化碳质量代理商

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