企业商机
四氟化碳基本参数
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四氟化碳企业商机

随着集成电路制造要求复杂度的提升,制造中所使用的电子特气用量也将提升。根据德国普尔茨海姆应用技术大学工业生态研究所(INEC)的 Mario Schmidt 教授等人共同撰写的论文《用于微电子芯片和太阳能电池硅片加工的生命周期评估》,硅晶圆的加工离不开大量化学试剂以及特殊气体,这些气体可以用于包括清洗、蚀刻、光刻、外延、掺杂等工序。经测算,每平方米逻辑电路晶圆加工所需要的电子特气约为 37.3kg,每平方米存储电路晶圆加工需要约 12.0kg 的电子特气。逻辑芯片和存储芯片本身在集成电路中的占比就超 6 成,随着未来 5G 和汽车电子化的趋势以及集成电路技术与制造工艺的提升,电子特气的用量也会得到大幅度的提升。 四氟化碳又称四氟甲烷,被视为一种无机化合物。苏州新能源四氟化碳价格便宜

从近几年大陆半导体材料、设备的需求占比来看,大陆半导体材料市场规模占全球的比重由 2013 年的约 4%提升到 2018 年的约 16%,大陆半导体设备市场规模占全球比重由 2016 年的约 16%提升到 2018 年的约 20%。而可预见的未来,国内半导体产能的增加将进一步带动本地半导体材料需求。近年来,随着国家的对于集成电路产业的重视以及资本的支持,国内的集成电路产业发展迅速,但是与国外仍有不小的差距。特别是在上游的半导体材料等领域,更是差距巨大。不过,随着国内半导体制造的崛起,也推动了半导体材料的国产化进程。上海市正规四氟化碳价格走势四氟化碳的化学性质稳定,在通常情况下,它与硅直接接触,也不会发生化学反应。

四氟化碳亦称全氟化碳、四氟甲烷、全氟化碳,为非腐蚀性气体,所有通用材料如钢、不锈钢、铜、青铜,铝等金属材料都可以使用,但是含镁大于2%的合金不能用。在高温,一些金属起加速CF4分解的催化作用。按其催化作用增长的次序由小到大地排列则如下:因科镍合金、奥氏体不锈钢、镍、钢、铝、铜、青铜、黄铜、银。

四氟化碳一般认为是惰性低毒物质,在高浓度下是窒息剂,其毒性不及四氯化碳。四氟化碳是目前微电子工业中用量的等离子烛刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体。


快速发展的半导体集成电路行业对上游的电子材料需求十分之大,随着近年来国家不断地出台政策扶持,多家 12寸晶圆厂已经完工并投产,同时8寸、6 寸晶圆厂也仍然在兴建中,其中国产厂商能够为6 寸、8 寸厂提供电子气体,但随着制造工艺制程进步,对电子气体质量的稳定性要求也越来越苛刻,从 28 纳米走到7纳米,产品的金属杂质要求须下降100倍,污染粒子的体积也必须要缩小4倍,12 寸厂需要的电子气体纯度通常为6N级(99.9999%)以上,国内厂家的质量很难到要求。因此被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。

关于呼吸液体的研究早在20世纪初就开始了,但一直到上世纪40年代的“曼哈顿项目”期间、人们合成了四氟化碳之后,相关研究才开始快速发展。科学家当时正在寻找能够承受铀化合物辐射的物质,结果无意中发现了四氟化碳。这种物质*由碳和铀构成,不易发生化学反应,无色无味,也不会对人体造成明显伤害,更重要的是,气体在其中的溶解度极高,能够吸收的氧气和二氧化碳比血液还要多。这令科学家想到,动物能否在四氟化碳中呼吸呢?在探索这种可能性的早期实验中,研究人员将小鼠和猫浸没在四氟化碳中,结果发现它们能顺利存活数周之久。


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它既可以被视为一种卤代烃、卤代甲烷、全氟化碳,也可以被视为一种无机化合物。苏州新能源四氟化碳价格便宜

四氟化碳是目前微电子工业中用量的等离子烛刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯阳氧气的混合体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的烛刻。对于硅和二氧化硅体系,采用CF4-O2反应离子刻蚀时,通过调节两种气体的比例,可以获得45:1的选择性,这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于化学稳定性极强,CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。



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