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四氟化碳基本参数
  • 产地
  • 上海
  • 品牌
  • 不限
  • 型号
  • 不限
  • 是否定制
四氟化碳企业商机

四氟化碳是目前微电子工业中用量的等离子烛刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯阳氧气的混合体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的烛刻。对于硅和二氧化硅体系,采用CF4-O2反应离子刻蚀时,通过调节两种气体的比例,可以获得45:1的选择性,这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于化学稳定性极强,CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。



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四氟化碳是目前微电子工业中用量的等离子烛刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、低温制冷、泄漏检验、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。淄博迪嘉5N四氟化碳气体常用作低温制冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术,  四氟化碳又称四氟甲烷,分子量为88.01,无色无味气体.微溶于水,在25℃、1大气压时,溶解度为0。0015%(重量)。常温下是压缩气体。 杭州安全四氟化碳销售价格四氟化碳是无色、无臭、不燃的易压缩性气体,挥发性较高。

四氟化碳亦称全氟化碳、四氟甲烷、全氟化碳,为非腐蚀性气体,所有通用材料如钢、不锈钢、铜、青铜,铝等金属材料都可以使用,但是含镁大于2%的合金不能用。在高温,一些金属起加速CF4分解的催化作用。按其催化作用增长的次序由小到大地排列则如下:因科镍合金、奥氏体不锈钢、镍、钢、铝、铜、青铜、黄铜、银。

四氟化碳一般认为是惰性低毒物质,在高浓度下是窒息剂,其毒性不及四氯化碳。四氟化碳是目前微电子工业中用量的等离子烛刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体。


从空分气体设备供应商向气体综合解决方案提供商蜕变。半导体工厂配气装置可以发现,气体服务是一项系统工程,包括超纯大宗气体、现场气体发生器、气瓶和批量供应的电子特种气体,另外还涉及到大宗气体储存和分配系统、气柜和配气管等系统和专业服务等。气体**可以发现,其早期以空分气体及设备为立足点,逐步打入电子用气、医疗用气等领域,其优势在于利用大型空分装置切入下游客户,借助平台优势顺势发展成为气体综合解决方案提供商。用作低温制冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术。

特性 在常温下,四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体,挥发性较高,是稳定的有机化合物之一,在900℃时,不与铜、镍、钨、钼反应,*在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生氟化物。 应用 四氟化碳是目前微电子工业中用量的等离子烛刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯阳氧气的混合体,可 广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的烛刻。 在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。四氟化碳,又称为四氟甲烷。苏州新能源四氟化碳高性价比的选择

然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生氟化物。杭州正规四氟化碳厂家供货

运输成本方面,以林德集团为例,作为全球工业气体**,林德在国内的空分装置点有11 个,相比较之下,特种气体工厂* 2 个。考虑到林德集团在国内的特种气体工厂较少,因此大量的特种气体需从海外运输,而从欧洲、美国运至国内耗时约 30 天,运输费用预计不低于国内的长途运输,运输成本将更高。随着国内半导体晶圆厂从华东、华较高的运输和现场维护成本造就本地化配套优势。多品少量是电子特气的特点,因此相比现场制气的空分气体,采用零售方式进体销售更为普遍,但零售气体对于国外企业来讲,需要付出更高的运输和维护成本。杭州正规四氟化碳厂家供货

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