企业商机
四氟化碳基本参数
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  • 上海
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  • 型号
  • 不限
  • 是否定制
四氟化碳企业商机

随着集成电路制造要求复杂度的提升,制造中所使用的电子特气用量也将提升。根据德国普尔茨海姆应用技术大学工业生态研究所(INEC)的 Mario Schmidt 教授等人共同撰写的论文《用于微电子芯片和太阳能电池硅片加工的生命周期评估》,硅晶圆的加工离不开大量化学试剂以及特殊气体,这些气体可以用于包括清洗、蚀刻、光刻、外延、掺杂等工序。经测算,每平方米逻辑电路晶圆加工所需要的电子特气约为 37.3kg,每平方米存储电路晶圆加工需要约 12.0kg 的电子特气。逻辑芯片和存储芯片本身在集成电路中的占比就超 6 成,随着未来 5G 和汽车电子化的趋势以及集成电路技术与制造工艺的提升,电子特气的用量也会得到大幅度的提升。 只有适当的条件下,四氟化碳才能与氧化剂和还原剂进行反应。常州四氟化碳优化价格

随着我国经济结构调整,新兴产业,特别是计算机、消费电子、通信等产业规模持续增长,拉动了对上游集成电路需求。近几年我国从国家信息安全战略层面不断加大对集成电路产业的政策支持力度,同时,伴随国内集成电路技术的积累,国内近几年集成电路产业规模持续增长,2014年至2019年期间复合增长率达到13.45%,2019年的产值已达到1494.8亿。另一方面,随着半导体制程节点的进一步缩小,每片晶圆的成本越来越高,特种气体的消耗量也逐渐增多。逻辑芯片随着制程节点的缩小,特种气体消耗量增长率达20%,存储芯片特种气体消耗量增长率为1%。


扬州优良四氟化碳四氟化碳是无色无臭并且不燃的可压缩性气体。

根据 SEMI 数据,2019 年硅晶圆的出货面积为 118.1 亿平方英寸,营收达112亿美元,均为较高水平。2013-2018年半导体市场规模的平均增长率达8.9%,2020 年半导体下游需求可能会受**影响,但从中长期看,随着 5G 技术、新能源汽车、云服务器等市场的增长,有望带动行业进入新的增长期。作为半导体制造环节中占比第二高的材料,电子特气的需求也有望不断提升。逻辑芯片和存储芯片为集成电路主要增长动力。根据 WSTS 的数据,集成电路是半导体产业中主要的市场,规模占比维持在 80%以上。


四氟化碳亦称全氟化碳、四氟甲烷、全氟化碳,为非腐蚀性气体,所有通用材料如钢、不锈钢、铜、青铜,铝等金属材料都可以使用,但是含镁大于2%的合金不能用。在高温,一些金属起加速CF4分解的催化作用。按其催化作用增长的次序由小到大地排列则如下:因科镍合金、奥氏体不锈钢、镍、钢、铝、铜、青铜、黄铜、银。

四氟化碳一般认为是惰性低毒物质,在高浓度下是窒息剂,其毒性不及四氯化碳。四氟化碳是目前微电子工业中用量的等离子烛刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体。


四氟化碳是不燃气体,如果遇到高热后会造成容器内压增大,有开裂、危险。

.以活性炭与氟为原料经氟化反应制备。在装有活性炭的反应炉中,缓缓通入高浓氟气,并通过加热器加热、供氟速率和反应炉冷却控制反应温度。产品经除尘,碱洗除去HF、CoF2、SiF4、CO2等杂质、再经脱水可获得含量约为85%的粗品。将粗品引入低温精馏釜中进行间歇粗馏,通过控制精馏温度,除去O2、N2、H2,得到高纯CF4。用途用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体,用于低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。

是微电子工业中用量的等离子蚀刻气体,四氟甲烷高纯气及四氟甲烷高纯气、高纯氧的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、低温制冷、泄漏检验、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。用作低温制冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术


由于化学稳定性极强,CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。南通新能源四氟化碳销售价格

以活性炭与氟为原料经氟化反应制备。常州四氟化碳优化价格

四氟化碳的溶氧性很好,因此被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。目前已在老鼠身上获得成功,在275米到366米的深度内,四氟化碳是目前微电子工业中用量比较大的等离子蚀刻气体,也可以广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,铝合金门窗制造、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态,印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。同时,由于四氟化碳的化学稳定性,四氟化碳可用于金属冶炼,例如:铜、不锈钢,碳钢、铝、蒙乃尔等;还可用于塑料行业;如:合成橡胶、氯丁橡胶、聚氨基甲酸乙酯。

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