企业商机
四氟化碳基本参数
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  • 上海
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四氟化碳企业商机

随着集成电路制造要求复杂度的提升,制造中所使用的电子特气用量也将提升。根据德国普尔茨海姆应用技术大学工业生态研究所(INEC)的 Mario Schmidt 教授等人共同撰写的论文《用于微电子芯片和太阳能电池硅片加工的生命周期评估》,硅晶圆的加工离不开大量化学试剂以及特殊气体,这些气体可以用于包括清洗、蚀刻、光刻、外延、掺杂等工序。经测算,每平方米逻辑电路晶圆加工所需要的电子特气约为 37.3kg,每平方米存储电路晶圆加工需要约 12.0kg 的电子特气。逻辑芯片和存储芯片本身在集成电路中的占比就超 6 成,随着未来 5G 和汽车电子化的趋势以及集成电路技术与制造工艺的提升,电子特气的用量也会得到大幅度的提升。 用硅胶除去气体中的水分,经精馏而得成品。华东安全四氟化碳推荐企业

电子用特种气体(简称电子特气)是特种气体的一个重要分支,是集成电路(IC)、显示面板(LCD、OLED)、光伏能源、光纤光缆等电子工业生产中不可或缺的关键性原材料,广泛应用于薄膜、光刻、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺,其质量对电子元器件的性能有重要影响。我国高纯电子气体主要应用于集成电路、显示面板、LED 以及太阳能领域,其中,集成电路和显示面板对电子气体的需求共占下游总需求的79%。   四氟化碳没有腐蚀性。可使用铝、铜、青铜、钢、不锈钢等大部分金属和合金材料。聚四氟乙烯和环氧树脂具有良好的耐腐蚀性能。 上海市正规四氟化碳推荐企业通常常温下只会与液氨-金属钠试剂能发生作用。

四氟化碳是目前微电子工业中用量的等离子烛刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、低温制冷、泄漏检验、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。淄博迪嘉5N四氟化碳气体常用作低温制冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术,  四氟化碳又称四氟甲烷,分子量为88.01,无色无味气体.微溶于水,在25℃、1大气压时,溶解度为0。0015%(重量)。常温下是压缩气体。

电子特气在半导体制造材料中占比仅次于硅片。半导体材料包括晶圆制造材料和封装材料。其中晶圆制造材料包括硅片、光掩模、光刻胶、光刻胶辅助材料、工艺化学品、电子特气、靶材、CMP 抛光材料及其他材料。2018 年全球半导体晶圆材料市场规模为322.0 亿美元,同比增长 15.8%,全球半导体封装测试材料市场规模为 197.0 亿美元,同比增长 3.1%。根据 SEMI 的数据,2018 年电子气体在晶圆制造材料市场中占比达到12.9%,仅次于占比 36.6%的硅片,市场规模巨大。


用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体及制冷剂。

电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂,被大量应用于半导体、显示面板加工过程中的干刻环节。昊华科技下属的黎明院是国内早从事六氟化硫研发的企业,也是国内*有的高纯度六氟化硫研制企业,同时,公司下属的黎明院与韩国大成合作,开展三氟化氮产品的研制工作。公司产品已成功实现进口替代,成为京东方等国内**客户的稳定合作伙伴。气体现在的在研气体项目13种,其中8寸片气体10 种、12寸片气体3 种,主要涉及光刻、蚀刻、清洗、沉积等环节,基本均用于进口替代,目标非常明确。


也要注意使用四氟化碳的注意事项。镇江直销四氟化碳价格便宜

用作低温制冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术。华东安全四氟化碳推荐企业

全球半导体市场规模庞大,晶圆厂数目不断增加,电子特气需求量不断提升。全球范围来看,随着全球半导体市场规模在 2018 年的高增长,全球集成电路用电子气体的市场规模达到 45.1 亿美元(约合人民币318.7亿元),市场规模较上年同比增加了 15.9%,但从整体来看,2013-2018年的平均增速稍低,*为 6.3%。国内范围来看,2018 年,我国电子气体市场规模达到了 121.6 亿元,较上年同比增加了 11.2%(2013-2018 年的增速达 13.3%)。在全球营收中的占比已达38.15%。华东安全四氟化碳推荐企业

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