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配气准度要求以配气允差和分析允差来表征;比较通用的有SE2MI配气允差标准,但各公司均有企业标准。组分的**低浓度为10-6级,组分数可多达20余种。配制方法可采用重量法,然后用色谱分析校核,也可按标准传递程序进行传递。3、电子气体(Electronicgases):半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气、高纯4_6m+p-_4气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级、LSI(大规模集成电路)级、VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。4.外延气体(Cpita***algases):在仔细选择的衬底上采用化学气相淀积(CVD)的方法生长一层或多层材料所用气体称为外延气体。硅外延气体有4种,即硅烷、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅,主要用于外延硅淀积,多晶硅淀积,淀积氧化硅膜,淀积氮化硅膜,太阳电池和其他光感受器的非晶硅膜淀积。外延生长是一种单晶材料淀积并生长在衬底表面上的过程。此外延层的电阻率往往与衬底不同。5.蚀刻气体(Etchinggases):蚀刻就是把基片上无光刻胶掩蔽的加工表面如氧化硅膜、金属膜等蚀刻掉。福建医用气体供应甲烷标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。

△S:相邻两次称量的时间间隔(min);实际测定时,记录一系列称量和时间数据,用上式计算渗透率并求其平均值。或以称量数据为纵坐标,时间为横坐标,绘制渗透率的特性曲线,所得直线的斜率即为渗透率。(2)渗透管动态配气装置用已知渗透率的渗透管配制标准气体的装置如图6所示。740)">将渗透管放在气体发生瓶中,再将气体发生瓶放入恒温水浴中,恒温水浴的温度要与测定渗透率时的温度相同(一般为25±1℃),这样就可不作温度校正。稀释气(压缩空气)经硅胶、活性炭和氢氧化钠净化器2除去水分和杂质后,再经流量控制阀和流量计3进入气体发生瓶7(即混合器)中,将渗透出来的气体分子带出,就得到标准气体。标准气体的浓度可由下式求出(在25℃和一个大气压下)。740)">式中:z:所配标准气体的浓度(ppm);G:渗透管的渗透率(Lg/min);M:液体的摩尔质量(g/mol);Q:稀释气体的流量(L/min);VM:配气状态下气体的摩尔体积(L/mol)。
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G:渗透管的渗透率(Lg/min);M:液体的摩尔质量(g/mol);Q:稀释气体的流量(L/min);VM:配气状态下气体的摩尔体积(L/mol)。标准气体配制方法编辑包括气体的发生,一定体积或一定质量物质的量取及用空气稀释至一定浓度等步骤。气体发生由于各种物质的物理、化学性质不同,它们的存在形式各异,因此,获得标准气体的方法也不相同。对于以液体状态存在的挥发性较大的物质,可利用液体的挥发作用来制取。此外,也可以利用化学反应来制取。用后一种方法所产生的气体常常含有杂质,需先用适当的方法除去杂质后,贮存到适当的容器中,测定浓度后备用。表1列出了一些常见气体的发生方法。740)"height=268>贮存无论用什么方法产生的标准气体,通常都要收集到适当的容器中保存。生产厂家一般都是将其压入钢瓶或玻璃钢瓶中,并用清洁气体稀释成一定浓度,作为商品出售。在生产车间或实验室中可用玻璃容器、塑料袋或注射器临时保存。但要注意,被贮存的气体不能与容器发生化学作用,也不能通过器壁或缝隙漏掉。空气稀释用上述方法所获得的标准气体,浓度一般都比较大,不宜直接作为标准气体使用,而是把它作为原料气。四川一氧化碳标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。重庆二氧化碳标准气体批发商
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