上海实验室特气管道安装供应商

辅助系统的设计，气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检，气体的置换也需要用到高压氮气或氦气，所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。一般选择在特气房设置一台或多台惰性气体柜。其连接形式为，特气柜中装有各种气体驱动阀，主管路在送气前必须进行管道的吹扫和空气的置换，所以还需辅助有高纯氮气和洁净压缩空气系统。氮气系统采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管径根据气柜的多少来计算决定。特气管道工程施工注意事项：避免气体管道工程系统设计不到位。上海实验室特气管道安装供应商

管道系统的设计：材料的选择，特气管路系统普遍采用316L不锈钢电解抛光（EP）管道，阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、（＜0.003微米）、VCR接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如CL2等，采用经过特殊处理的耐腐蚀强的EP管 。主管路系统的设计，在确定好气体房和用气点以后,主管路系统一般遵循管道线路较短,拐弯较少,布置紧凑合理,给人简单美观的感觉。输送系统的数量和管径的大小一般根据机台用气点的多少和流量大小确定，基本都采用小管径输送（1/4-3/4）而且多设计了备用系统。由于气体本身的危险性，许多地方采用把管道铺设在电缆桥架里，对于穿墙或穿过夹道的地方，周围有危险源和经常有危险作业的地方，露天的地方管道一般布置在全封闭的桥架里。隐藏式特气管道安装夏季施工预留：5-10mm;冬季施工预留：15-20mm 。

系统检测，特气管道施工结束后都需要进行压力检测，氦检漏，颗粒度和水分、氧分测试。压力检测一般采用比较精密的圆盘式压力检测仪或电子检测仪，不用压力表。这样较大程度上提高了检测的精密度。水、氧测试采用水氧分析仪；颗粒度测试目前基本采用激光颗粒测试仪，精度达到0.1微米；而对要求更高的采用核凝结技术（CNC）它可达到0.01微米。其它气相杂质的测试根据具体要求确定。气体房和气柜还须有自动喷淋系统，但有的气体如三氟化氯,硅烷遇水反应，这时就还需要考虑采用二氧化碳灭火系统。

硅烷（SiH4）是一种在常温常压下为具有恶臭的无色气体。它还是一种在室温下能着火、在空气或卤素气体中能爆裂性燃烧和剧毒性的特种气体。硅烷在高科技行业中应用越来越普遍，这与它的特性有关，同时也与行业的特殊需求有关。硅烷（SiH4）可以通过热分解或与其它气体的化学反应制得单晶硅、氮化硅和氧化硅等一系列含硅物质。举例：半导体行业中，硅烷SiH4是显示屏制造中较关键的气体之一，与氨气（NH3）结合使用，形成用于a-Si晶体管的氮化硅层；与氧化亚氮（N2O）结合使用形成MO晶体管的氧化硅层。选择特气管道工程安装公司的标准：秉承“安全至上”的观念。

工艺原理 采用水平15°倾斜摆放姿势进行加工，顺管内介质流向高纯氮气（99.9999%）进行吹扫，不锈钢弹簧填充双层管夹层后用专门使用弯管装置进行弯管加工，双层管道内外充纯氩（99.9999%）保护的全自动轨道氩弧焊连接和柔性金属垫片端面密封连接，结合氦气检漏的工艺原理，保证内外层管道洁净度、密闭性、弯管质量以及管道焊接安装质量。3 加工安装操作要点， 洁净区域管制 现场设置三段预制加工洁净区域，建立临时洁净室，要求净化等级不低于9级，确保管件加工的洁净度，进入洁净室的人员必须穿戴洁服、洁净帽、洁净鞋、洁净手套。按照标准，预制作业需要在洁净度达到百级的净化间进行，作业人员也按照百级净化间的管理着装。苏州多组分特气管道安装行价

特气管道安装的时候，管子对口时应检查平直度，距离接口中心200mm处测量。上海实验室特气管道安装供应商

阀门箱与阀门盘的安装，阀门箱和阀门盘应固定在专门使用支座上或固定支架固定在梁、柱与墙上，不得将阀门箱直接固定在地面上。10.4.2阀门箱和阀门盘的支座宜采用专门使用镀锌型钢、专门使用喷塑型钢或专门使用不锈钢型钢装配式连接，不宜采用焊接。10.4.3阀门箱和阀门盘的垂直度偏差不应大于1.5‰，成列盘面的垂直度偏差不应大于5mm。阀门箱与阀门盘就位找平后，应固定牢固。连接阀门与阀门盘、阀门箱的螺栓应为不锈钢螺栓，不得将阀门和管道系统与任何未经处理的碳钢件直接接触。上海实验室特气管道安装供应商