杭州大口径特气管道安装流程

特气管道工程是一项危险系数比较高的工程，在选择施工公司和施工的过程中一定要注意安装标准规范操作。现在市面上的特气管道供应商非常的多，但是大多数的气体管道厂商只是提供产品，并不包括安装这一方面。大多数人是不知道正确安装的，下面就为大家具体的来介绍注意事项有哪些。1、 特气管道安装的时候，管子对口时应检查平直度，距离接口中心200mm处测量，当管子公称直径小于100mm时，允许偏差为1mm，当管子公称直径大于或等于100mm时，允许偏差为2mm，但全长允许偏差均为100mm。2、管道安装时按不同的管径和要求设置管卡或吊架,要求位置准确，埋设平整,管卡与管道接触应紧密，但不得损伤管道表面涂层。管道水平15°横放固定倾斜摆放姿势进行切割及端面处理，并顺介质下的流方向冲放高纯氮气。杭州大口径特气管道安装流程

管道、管件和阀门进场验收应符合下列规定：1 在非洁净室全数目测检查管道外包装，不得有破损、变形；2 检查合格的管道、管件及阀门搬入洁净室前，应在缓冲间(前室)去除外包装薄膜；搬入洁净室后，应按种类、规格分别存放在洁净室的货架上，不得直接放在地面上。洁净室的洁净度宜优于或等于7级(0. 5µm)；3 进场的管道、管件和阀门应有产品规格、型号、合格证、材质证明、使用说明书、检验报告。气瓶柜与气瓶架的安装：1气瓶柜和气瓶架应按设计要求定位。2气瓶柜气瓶架就位找平、找正后，应固定牢固。3气瓶柜和气瓶架的垂直度偏差不应大于1.5%成列盘面的垂直度偏差不应大于5mm。4 气瓶柜的安装应确保柜门开关自如，不得扭曲变形、关闭不严。南京室内特气管道安装设计准备好必要的工具和设备，如切割机、焊接机等，确保施工现场的安全和清洁。

对于低蒸汽压气体（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精确控制流量，在气源端一般会考虑配置高精度的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧毒、高反应性和自燃气体，应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点对点，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此，整个管路系统中由VMB完成气体的分配，中间没有三通。然后管道还要有良好的接地。

双层管特种气体管道施工除应符合本标准第 10.6.1条~第 10.6.3条的规定外，还应符合下列规定：1当双层管焊接施工时，应先实施内管的焊接，并在焊接接头处应安装滑套；2 当双层管焊接外管及滑套时，内管和外管都应充高纯氩气保护，宜采用自动轨道氩弧焊机焊接；3 内管焊接完成后应先做压力试验和氦检漏，确认内管无泄漏后，方可焊接外管上的滑套；4 双层管的内管和外管之间应安装弹簧进行隔离，内管和外管不得直接接触；5双套管施工宜采用分段隔绝的方式施工，从气瓶柜到阀门箱的外层套管不得全部相通。特气管道工程施工注意事项：避免气体管道工程系统设计不到位。

供气系统的选择：简单供气系统，简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单，通常不需要连续性供气，对气体供应系统的投资预算低。由于气体流量小，不经常使用，特种气体气源多采用普通钢瓶（<50L）。输送系统多采用半自动气瓶柜或气瓶架加简单的控制面板；配置继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空，有害性气体配备紧急切断阀。惰性气体瓶架则采用全手动系统，有些甚至用单瓶系统。所有气体共用一个气体房，甚至没有气体房，特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道，或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。如果没有特别危险气体一般共用一个抽风系统。简单供气系统通常存在安全隐患。管材或管件在粘合前应将承口和插口的粘结面擦拭干净，确保无异物。大口径特气管道安装服务

当表面粘有油污时，应采用清洁剂擦净。杭州大口径特气管道安装流程

焊接时，按要求进行内充氩保护，控制氩气流量大小。焊工施焊时，要求氩弧焊机焊接时电流稳定，焊接速度应保持均匀一致。焊接完成后，钢丝刷刷去焊接区外表面的氧化膜。管道与配件及设备连接安装 对于输送易燃、剧毒特殊气体的双层管道，其与阀门、气表及设备连接采用金属垫片面密封接头（VCR）安装，金属垫片采用柔性镍合金垫片，确保密封严密。管道安装 双层管道焊接碰头然后接口处，采用增加末端滑套的安装方式在三层管道接头处实现管道密封，从而使外层套管形成一个整体。杭州大口径特气管道安装流程