扬州特气管道安装流程

管道、管件和阀门进场验收应符合下列规定：1 在非洁净室全数目测检查管道外包装，不得有破损、变形；2 检查合格的管道、管件及阀门搬入洁净室前，应在缓冲间(前室)去除外包装薄膜；搬入洁净室后，应按种类、规格分别存放在洁净室的货架上，不得直接放在地面上。洁净室的洁净度宜优于或等于7级(0. 5µm)；3 进场的管道、管件和阀门应有产品规格、型号、合格证、材质证明、使用说明书、检验报告。气瓶柜与气瓶架的安装：1气瓶柜和气瓶架应按设计要求定位。2气瓶柜气瓶架就位找平、找正后，应固定牢固。3气瓶柜和气瓶架的垂直度偏差不应大于1.5%成列盘面的垂直度偏差不应大于5mm。4 气瓶柜的安装应确保柜门开关自如，不得扭曲变形、关闭不严。压力检测一般采用比较精密的圆盘式压力检测仪或电子检测仪，不用压力表。扬州特气管道安装流程

焊接时，按要求进行内充氩保护，控制氩气流量大小。焊工施焊时，要求氩弧焊机焊接时电流稳定，焊接速度应保持均匀一致。焊接完成后，钢丝刷刷去焊接区外表面的氧化膜。管道与配件及设备连接安装 对于输送易燃、剧毒特殊气体的双层管道，其与阀门、气表及设备连接采用金属垫片面密封接头（VCR）安装，金属垫片采用柔性镍合金垫片，确保密封严密。管道安装 双层管道焊接碰头然后接口处，采用增加末端滑套的安装方式在三层管道接头处实现管道密封，从而使外层套管形成一个整体。南京室内特气管道安装精选厂家对管道进行吹扫和清洗，以去除残留的杂质和污染物，确保管道的干净和卫生。

半导体及太阳能薄膜工艺会使用到超高纯硅烷SiH4、磷烷PH3，砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化钨WF6、高纯氨NH3等特气，这些气体具有易燃、剧毒、强腐蚀等特性，但却是精密半导体电子元器件、新能源光电产品制造的必不可少的重要原料。生产中若发生气体泄漏，将会造成非常严重的产品质量和人身伤亡事故。为确保安全，此类高纯特气的输送管道采用不锈钢双层管道。该管道施工时，对作业环境洁净度、管道内外管材的洁净度、焊接和安装质量的要求都非常高。本篇就超高纯特气双层管道的施工提出几点建议供同行参考。

特气管道工程安装的注意事项：1、特气管道系统的所有管道的支吊架必须符合规范及设计要求，并按照标准图集中的要求制作与安装。如：①　管道支架或管卡应固定在楼板上或承重结构上；②　应按设计要求或国家标准图集中对管道固定支架的型式进行选择；③　严禁将管道支、吊架直接焊接在钢结构承重梁上，必须根据承重梁的承重系数选择合适的支、吊架固定方案才能进行施工。2、特气管道安装时，在管子对口前应检查平直度，在距离接口中心200mm处测量，①　当管子公称直径小于100mm时，允许偏差为1mm；②　当管子公称直径大于或等于100mm时，允许偏差为2mm；但全长允许偏差均为100mm。特种气体管道的施工对环境的要求比较高，管道施工采用大批量预制然后现场 安装的方法。

常规供气系统，常规供气系统主要应用于4-6英寸 大规模集成电路厂，50MW以下的太阳能电池生产线，发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。对气体纯度控制的要求不苛刻，系统配备在满足安全的前提下尽量简单，节省投资。特种气体采用普通钢瓶（<50L）供气。特气输送系统采用气瓶柜。配置全自动PLC控制器，彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器，可实现自动切换，自动氮气吹扫，自动真空辅助放空；多重安全防护措施，泄漏侦测，远程紧急切断；专门使用氮气吹扫起源等等。VMB采用支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空。惰性气体多采用半自动气瓶架，继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空；VMB主管气动阀，氮气吹扫；支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空。气体房和抽风系统根据气体性质进行分类。整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。台州特气管道安装市场价格

管道在取掉两层塑料外包装后，要轻轻的取下两端的塑料密封套，并立即充氮，防止空气污染。扬州特气管道安装流程

特气管道工程安装注意事项有哪些？1、管道支架制作安装采用机械切割，台钻钻孔，严禁气割。支吊架要满焊，安装采用预埋板或满足荷载要求的膨胀螺栓固定，确保牢固可靠。所有支吊架安装前必须做除锈、涂刷两遍防锈漆的防腐处理。2、管道连接过程中按图纸要求设伸缩节，设计无要求时，按照规范要求设置，管端伸入伸缩节应预留伸缩间隙：夏季施工预留：5-10mm;冬季施工预留：15-20mm 。管材或管件在粘合前应将承口和插口的粘结面擦拭干净，确保无异物。当表面粘有油污时，应采用清洁剂擦净。扬州特气管道安装流程