电子级氢氟酸是由无水氢氟酸经进一步处理得到的优越氢氟酸产品。电子级氢氟酸主要用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗和腐蚀领域,是微电子行业生产所需的关键基础化工原材料之一。随着我国集成电路、半导体等行业快速发展,电子级氢氟酸市场需求不断增长,推动我国电子级氢氟酸行业产量不断上升。2010-2016年,我国电子级氢氟酸行业产量由3.9万吨增长至12.5万吨,年均复合增长率为21.4%;2017年,我国电子级氢氟酸行业产量达到15.0万吨以上。受下游市场需求不断增长的推动,我国电子级氢氟酸行业产量快速上升。目前,国产电子级氢氟酸用量只占到国内需求的不足5%,仍几乎完全依赖进口。氢氟酸在制造光学玻璃和陶瓷时有重要的应用。北京工业氢氟酸制造厂
电子级氢氟酸生产工艺技术特征:1. 杂质砷是电子级氢氟酸中需要控制的一种重要杂质指标,在氢氟酸原料中砷一般以三价态形式存在,而且AsF3与氢氟酸的沸点相差不大,所以只靠精馏对其分离的效果不会十分理想。为去除杂质砷,可在精馏前,加入适量的强氧化剂(如高锰酸钾等)将三价态的砷进行氧化,使其在精馏过程中沉积于塔釜中而被除去。2. 生产设备与工艺:生产设备全采用碳钢衬聚四氟乙烯材料,生产工艺采用常压、全封闭、连续化,采用热水低温(小于100度)精馏.蒸馏工艺,工艺参数采用DCS集散控制系统生产。3. 高纯水制备:通过离子交换与过滤器先制得普通纯水,再经过反渗透、电渗析后进入杀细菌、超微过滤制得高纯水。4. 在无水氢氟酸预处理槽边、精馏塔及蒸馏塔边、成品包装区设置HF有毒气体浓度探测、集中报警系统。河北40%氢氟酸生产厂氢氟酸应该只在开放区域或专业实验室中使用。
那高纯氟化氢有多纯呢?以前我们都听说过千足金的说法,也就是纯度为99.9%,含有0.1%的杂质,后来又有人提出万足金,就是99.99%,含有0.01%的杂质。而日本产的较高纯度的氢氟酸纯度为99.999%甚至更高,这个在目前较先进的芯片生产工艺中都可以放心使用。而中国目前能生产的较高纯度也比这个纯度低十倍左右,而这只是其中一个指标,此外还有控制粒径、颗粒个数等指标。如前所说,氟化氢的生产并不困难,只需要让萤石跟硫酸进行反应,就可以制得氟化氢。再用水溶解掉氟化氢,就变成了氢氟酸。这个生产过程技术含量并不高,工艺也不复杂。但生产出来的只是工业级的氢氟酸,要想应用到电子行业,必须做非常精密的提纯。难就难在了提纯上。
氟化工是指产品分子结构中含氟元素的化工子行业,是我国具有特色资源的优势产业,产业水平在国际上具有较高的地位。同时也为发展优越制造业、环保、新能源、新材料等其他战略性产业提供重要辅助材料。近年来,随着技术进步和需求的增长,氟产品的应用领域开始从传统行业向电子、能源、环保、生物医药等新领域渗透。在新能源领域,氟化工产品现已成为锂离子电池、燃料电池、太阳能电池、风能、核能等新能源领域的关键材料之一。据中国化工报统计,目前我国氟化工相关企业约1000家,近年来我国氟化工基础及通用产品产量占全球的55%以上,现已成为世界较大的氟化工产品生产国及消费国,年产值超过600亿元,产业年增速在15%以上。伴随未来几年在高性能、高附加值产品等应用领域的不断深入,我国氟化工产业快速发展的势头有望延续。氢氟酸的使用和管理必须适应相关法律和规定。
“电子氢氟酸在集成电路、半导体制作、太阳能光伏和液晶显示屏等领域应用普遍,是微电子行业生产所需的关键基础化工原材料之一。”电子级氢氟酸是微电子行业的关键性基础化工材料之一, 主要用于集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)制造中 ,用于晶圆表面清洗、芯片加工过程中的清洗和蚀刻等工序。在太阳能光伏行业中,用于硅片表面清洗、蚀剂等领域。硅锭到硅片,再到电池片的一道工艺程序:清洗制绒环节会用到产品。在液晶显示器行业,用于玻璃基板清洗、氮化硅、二氧化硅蚀剂等。在TFT—LCD、半导体产业中也被普遍使用。还可用作分析试剂、原子能工业化学试剂和制备高纯度的含氟化学品。氢氟酸的毒性与浓度和暴露时间有关。杭州无水氢氟酸公司
在使用氢氟酸时,必须穿戴适当的防护装备。北京工业氢氟酸制造厂
氟制冷剂由氢氟酸及氯代烃等为原料制备而成,是重要的有机氟化工产品,主要包括ODS及其替代品,其化学稳定性强、热力学性能优异,下游60%以上被应用在冰箱、家用空调、汽车空调等制冷领域,还可在聚氨酯行业中用作塑料发泡剂、半导体行业中用作电子清洗剂及精细化工中用作气雾剂等。国际社会于1987年签署了《关于消耗臭氧层物质的蒙特利尔议定书》,共同保护臭氧层、淘汰消耗臭氧层物质。中国相关单位于1991年签署加入《蒙特利尔议定书》伦敦修正案,2003年加入了议定书哥本哈根修正案,2010年又加入了蒙特利尔修正案及北京修正案。在发达国家按照议定书要求淘汰主要消耗臭氧层物质之后,中国成为全球较大的消耗臭氧层物质生产国和使用国。北京工业氢氟酸制造厂
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