四氟化碳是目前微电子工业中用量比较大的等离子体蚀刻气体,用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、低温制冷、气体绝缘、泄漏检测剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂、润滑剂及制动液等方面也有大量应用。由于它的化学稳定性极强,CF4还可用于金属冶炼和塑料行业等。当今超大规模集成电路所用电子气体的特点和发展趋势是超纯、超净、多品种、多规模,各国为推动本国微电子工业的发展,越来越重视发展特种电子气体的生产技术。就目前而言,CF4以其相对低廉的价格长期占据着蚀刻气体的市场,因此具有广阔的发展潜力。 如在泄漏时,应迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。苏州四氟化碳质量代理商
一种四氟化碳气体浓度检测校正方法,包括:
通过双光路检测系统利用双波长红外差分检测法测量出不同温度下的四氟化碳气体浓度值;
将测量出的所述四氟化碳气体浓度值和对应的温度值输入至RBF神经网络进行训练;
将对测试样本测量所得的四氟化碳气体浓度值输入至训练好的所述RBF神经网络进行测试并开展反演计算,得到校正后的四氟化碳气体实际浓度值。
推荐地,在本发明实施例提供的上述四氟化碳气体浓度检测校正方法中,通过双光路检测系统利用双波长红外差分检测法测量出四氟化碳气体浓度值,包括:所述红外光源发出的红外光束经准直后进入内置有四氟化碳气体的所述气体采样室;被四氟化碳气体吸收特定波长的红外光束作为测量光;波长不受四氟化碳气体影响的红外光束作为参考光;
在所述测量光经所述滤光片透射后,检测所述测量光的光强;在所述参考光经所述第二滤光片透射后,检测所述参考光的光强;
常州节能四氟化碳厂家哪家好用硅胶除去气体中的水分,经精馏而得成品。
四氟化碳是不燃烧的无色、无味的压缩气体,充装于四氟化碳钢瓶中,饱和蒸汽压约压力2000 psig。四氟化碳是一种造成温室效应的气体。它非常稳定,可以长时间停留在大气层中,是一种非常强大的温室气体。它在大气中的寿命约为50,000年,全球增温(全球暖化)系数是6,500(二氧化碳的系数是1)。虽然结构与氟氯烃相似,但四氟化碳不会破坏臭氧层。这是因为导致臭氧层破坏的是氟氯烃中的氯原子,它被紫外线辐射击中时会分离。碳-氟键比较强,因此分离的可能性比较低。
四氟化碳有 制冷、气体绝缘、干蚀刻气、氟化剂、表面处理剂、激光气体泄漏检验剂等用途。四氟化碳为非腐蚀性气体,所有通用材料如钢、不锈钢、铜、青铜,铝等金属材料都可以使用,但是含镁大于2%的合金不能用。在高温,一些金属起加速CF4分解的催化作用。按其催化作用增长的次序由小到大地排列则如下:因科镍合金、奥氏体不锈钢、镍、钢、铝、铜、青铜、黄铜、银。 可以用聚四氟乙烯,环氧树脂和醋酸纤维。尼龙在高温,有水和空气时变脆。聚三氟氯乙烯聚合体可以用,但稍微有膨胀。废气可直接排人大气中。然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生氟化物。
四氯化碳有什么作用?四氯化碳可以做萃取剂来萃取有机物(极性分子相似相溶)。萃取实验中萃取出的碘单质是紫红色的,而其他卤素也会有其他对应的颜色,所以四氯化碳有的时候用于卤素除杂与鉴定;曾用作灭火剂但是由于在一些条件下四氯化碳会产生窒息性的剧毒气体——光气;另外它也不能用于扑灭活泼金属钾、钠的失火,因四氯化碳会强烈分解。现被1211灭火剂替代;可与水置于同一容器防倒吸(利用密度梯度分离,导气管需伸入下层)。 性状:无色无味气体 2.熔点(℃):-183.6 3.沸点(℃):-127.8。苏州正规四氟化碳优化价格
用作低温制冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术。苏州四氟化碳质量代理商
另外还涉及到大宗气体储存和分配系统、气柜和配气管等系统和专业服务等。气体可以发现,其早期以空分气体及设备为立足点,逐步打入电子用气、医疗用气等领域,其优势在于利用大型空分装置切入下游客户,借助平台优势顺势发展成为气体综合解决方案提供商。从空分气体设备供应商向气体综合解决方案提供商蜕变。半导体工厂配气装置可以发现,气体服务是一项系统工程,包括超纯大宗气体、现场气体发生器、气瓶和批量供应的电子特种气体,苏州四氟化碳质量代理商