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四氟化碳基本参数
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四氟化碳企业商机

    在常温常压下四氟化碳为无色无臭有轻微醚味的气体,在空气中不燃烧,具有可压缩性,挥发性较高,是一种比较稳定的无毒有机化合物。但是在高温时,或与可燃气体一同燃烧时,会分解出有毒的氟化物。对于硅和二氧化硅体系,采用CF4-O2反应离子刻蚀时,通过调节两种气体的比例,可以获得45:1的选择性,这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于化学稳定性极强,四氟化碳还可以用于金属冶炼和塑料行业等。 温室气体,其造成温室效应的作用是二氧化碳的数千倍。南京***四氟化碳

随着半导体等现代行业的快速发展,四氟化碳由于其稳定的化学性质而被广泛应用,由于能够强烈的吸收红外辐射和极高的稳定性,使得四氟化碳成为一种全球变暖潜力值和生命周期极高的温室气体。具有低能耗和高效率的等离子体处理法被广泛应用于四氟化碳分解中,表面波等离子体的大面积、无极放电、放电容器形状多样等优点使其成为处理四氟化碳的良好方法。设计了一套大面积表面波等离子体反应器,在低气压下激发等离子体用于处理四氟化碳,考察了微波功率、气体流量、氧气比例等影响因素对分解率的影响。上海口碑好四氟化碳优化价格之后再用四氟化碳进行清洗电路上的油墨再烘干,等工艺。

在使用四氟化碳的同时,也要注意使用四氟化碳的注意事项,如在泄漏时,应迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。如有可能,即时使用。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再用。四氟化碳的溶氧性很好,因此被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。目前已在老鼠身上获得成功,在275米到366米的深度内,小白鼠仍可安全脱险。

    CF4具有高的稳定性,属于完全不燃性气体,常温下不与酸、碱及氧化剂反应,900℃以下不与Cu、Ni、W、Mo等过渡金属反应,1000℃不与碳、氢及CH4反应。室温下可与液氨-金属钠试剂反应,高温下CF4可与碱金属、碱土金属及SiO2反应,生成相应的氟化物。CF4在800℃下开始分解,CF4在电弧作用下可与CO和CO2反应生成COF2,有人还试图在碳弧温度中使CF4聚合来合成其他碳氟化合物。由于C-F键的化学稳定性极强,因此以CF4为表示的全氟烃可认为是无毒的。CF4、C2F6和C3F8的全球变暖势(GWP)的下限值分别为620、190和53,呈明显下降趋势,且远小于氯氟烃(CFC)、SF6和CO2。 四氯化碳与氟化氢的反应在填有氢氧化铬的高温镍管中进行。

四氟甲烷(R-14)是目前微电子工业中用量比较大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷剂、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。四氟化碳的包装可重复使用高压钢瓶包装(需回收包装钢瓶)。四氟化碳有时会用作低温冷却剂。它可用于电路板的制造,以及制造绝缘物质和半导体。它是用作气体蚀刻剂及等离子体蚀刻版。四氟化碳是目前微电子工业中用量比较大的等离子蚀刻气体。上海口碑好四氟化碳优化价格

也要注意使用四氟化碳的注意事项。南京***四氟化碳

    四氟化碳用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体,用于低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。四氟化碳是微电子工业中用量比较大的等离子蚀刻气体,四氟甲烷高纯气及四氟甲烷高纯气、高纯氧的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、低温制冷、泄漏检验、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。四氟化碳常温常压下稳定,避免强氧化剂、易燃或可燃物。不燃气体,遇高热后容器内压增大,有开裂危险。化学性质稳定,不燃。常温下只有液氨-金属钠试剂能发生作用。 南京***四氟化碳

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