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四氟化碳基本参数
  • 产地
  • 上海
  • 品牌
  • 不限
  • 型号
  • 不限
  • 是否定制
四氟化碳企业商机

    四氟化碳(CF4)是目前微电子工业中用量比较大的等离子体蚀刻气体,广用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、低温制冷、气体绝缘、泄漏检测剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂、润滑剂及制动液等方面也有大量应用。由于它的化学稳定性极强,CF4还可用于金属冶炼和塑料行业等。当今超大规模集成电路所用电子气体的特点和发展趋势是超纯、超净、多品种、多规模,各国为推动本国微电子工业的发展,越来越重视发展特种电子气体的生产技术。就目前而言,CF4以其相对低廉的价格长期占据着蚀刻气体的市场,因此具有广阔的发展潜力。 在蚀刻过程中,用四氟化碳将多余的铜皮腐蚀掉。上海市安全四氟化碳价格便宜

    四氟化碳一般认为是惰性低毒物质,在高浓度下是窒息剂,其毒性不及四氯化碳。安全防护四氟化碳为非腐蚀性气体,所有通用材料如钢、不锈钢、铜、青铜,铝等金属材料都可以使用,但是含镁大于2%的合金不能用。在高温,一些金属起加速CF4分解的催化作用。按其催化作用增长的次序由小到大地排列则如下:因科镍合金、奥氏体不锈钢、镍、钢、铝、铜、青铜、黄铜、银。可以用聚四氟乙烯,环氧树脂和醋酸纤维。尼龙在高温,有水和空气时变脆。聚三氟氯乙烯聚合体可以用,但稍微有膨胀。废气可直接排人大气中。 华东***四氟化碳高性价比的选择目前对于R14制冷剂的生产、销售以及在新制冷设备上的初装、售后设备上的再添加均没有限制。

一种四氟化碳气体浓度检测校正方法,包括:

通过双光路检测系统利用双波长红外差分检测法测量出不同温度下的四氟化碳气体浓度值;

将测量出的所述四氟化碳气体浓度值和对应的温度值输入至RBF神经网络进行训练;

将对测试样本测量所得的四氟化碳气体浓度值输入至训练好的所述RBF神经网络进行测试并开展反演计算,得到校正后的四氟化碳气体实际浓度值。

推荐地,在本发明实施例提供的上述四氟化碳气体浓度检测校正方法中,通过双光路检测系统利用双波长红外差分检测法测量出四氟化碳气体浓度值,包括:所述红外光源发出的红外光束经准直后进入内置有四氟化碳气体的所述气体采样室;被四氟化碳气体吸收特定波长的红外光束作为测量光;波长不受四氟化碳气体影响的红外光束作为参考光;

在所述测量光经所述滤光片透射后,检测所述测量光的光强;在所述参考光经所述第二滤光片透射后,检测所述参考光的光强;


    四氟化碳在常温常压下为无色无臭有轻微醚味的气体。空气中不燃烧,是比较稳定的无毒物质。但是在高温时,或与可燃气体一同燃烧时,分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能与二氧化碳形成羰基氟。微溶于水,在25℃,,水中溶解度为(重量)。有轻微的水解作用。四氟化碳一般认为是惰性低毒物质,在高浓度下是窒息剂,其毒性不及四氯化碳。四氟化碳为非腐蚀性气体,所有通用材料如钢、不锈钢、铜、青铜,铝等金属材料都可以使用,但是含镁大于2%的合金不能用。在高温,一些金属起加速CF4分解的催化作用。 通常常温下只会与液氨-金属钠试剂能发生作用。

    四氟化碳与氧在高温下不反应]四氟化炭是目前微电子行业使用比较多的等离子蚀刻气体,它是由高纯气与高纯气配高纯氧的混合物,可用于硅粉、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃和钨薄膜材料的蚀刻。在使用CF4-H2反应离子刻蚀的硅及二氧化硅系统中,通过调节两种气体的比例,可以获得45:1的选择性,这对刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜是非常有用的。危害概览危险类别::吸入健康危险:吸入浓度高的四氟化碳后,出现呼吸困难、呕吐等窒息症状。 用硅胶除去气体中的水分,经精馏而得成品。华东***四氟化碳高性价比的选择

四氟化碳没有腐蚀性。上海市安全四氟化碳价格便宜

    四氟化碳在常温下,四氟化碳是无色、无臭、不燃的易压缩性气体,挥发性较高,是稳定的有机化合物之一,不易溶于水。四氟化碳无毒,但是燃烧后会产生有毒物质。四氟化碳是不燃烧的无色、无味的压缩气体,充装于四氟化碳钢瓶中,饱和蒸汽压约压力2000psig。四氟化碳是目前微电子工业中用量比较大的等离子蚀刻气体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态,印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。 上海市安全四氟化碳价格便宜

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