半固态—MEMS式激光雷达，MEMS全称Micro-Electro-Mechanical System（微机电系统），是将原本激光雷达的机械结构通过微电子技术集成到硅基芯片上。本质上而言MEMS激光雷达并没有做到完全取消机械结构，所以它是一种半固态激光雷达。工作原理，MEMS在硅基芯片上集成了体积十分精巧的微振镜，其主要结构是尺寸很小的悬臂梁——通过控制微小的镜面平动和扭转往复运动，将激光管反射到不同的角度完成扫描，而激光发生器本身固定不动。其次，MEMS的振动角度有限导致视场角比较小（小于120度），同时受限于MEMS微振镜的镜面尺寸，传统MEMS技术的有效探测距离只有50米，FOV角度只能达到30度，多用于近距离补盲或者前向探测。激光雷达在农业领域用于监测作物生长情况。北京livox激光雷达厂商
当前所面临的挑战在于如何区分来自周边其他LiDAR设备的信号，而各种信号调制和隔离方法也正在积极研发中。LiDAR系统的成本和维护——这类系统相比一些替代技术所使用的传感器类型更加昂贵，当然持续不断的开发工作也在积极进行，为满足其大规模使用的需要而开发生产成本更低的系统。抑制非目标对象的回波——类似于抑制之前提到的大气虚假信号。但是这也可能会出现在空气质量良好的情况下。应对这一挑战通常涉及在不同的目标距离处，以及在LiDAR接收器的视场范围之内使光束尺寸尽可能更小。天津觅道Mid-70激光雷达厂商管道检测使用激光雷达探查内部，预防泄漏等事故。
全固态激光雷达。顾名思义此激光雷达没有任何机械摆动结构，自然也没有旋转。将机械化的激光雷达芯片化，体型更小、性能更好、寿命更可靠，但逃脱不了摩尔定律的轨道，目前有两种方式。1. 光学相控阵式（OPA）固态激光雷达，OPA固态激光雷达完全没有摆动固件，利用多个光源组成阵列，合成特定方向的光束，实现对不同方向的扫描。具有扫描速度快、精度高、可控性好、体积小（Quanergy激光雷达只有90x60x60mm）等优点，缺点是易形成旁瓣，影响光束作用距离和角分辨率，同时生产难度高。2.Flash固态激光雷达，Flash固态激光雷达，也可以说是非扫描式，它可以在短时间直接发射出一大片覆盖探测区域的激光，利用光阵构建图像，就像是照相机，快速记录整个场景，减少了没有了转动与镜片磨损，相对更为稳定，不过缺陷也很明显，比如探测距离较近，对处理器要求较高，相对应成本也高。
目前的激光雷达，不光只有光探测与测量，更是一种集激光、全球定位系统（GPS）和IMU（InertialMeasurementUnit，惯性测量装置）三种技术于一身的系统，用于获得数据并生成精确的DEM（数字高程模型）。这三种技术的结合，可以高度准确地定位激光束打在物体上的光斑，测距精度可达厘米级，激光雷达较大的优势就是"精确"和"快速、高效作业"。随着激光雷达技术的进步与发展，星载激光雷达的研制和应用在20世纪90年代逐步成熟。2003年，NASA根据早先提出的采用星载激光雷达测量两极地区冰面变化的计划，正式将地学激光测高仪列入地球观测系统中，并将其搭载在冰体、云量和陆地高度监测卫星上发射升空运行。主动抗串扰功能，使览沃 Mid - 360 在多雷达干扰下仍能正常运作。
在体积限制下，Flash激光雷达的功率密度不能很高。因此，Flash激光雷达目前的问题是，由于功率密度的限制，无法考虑三个参数：视场角、检测距离和分辨率，即如果检测距离较远，则需要放弃视场角或分辨率；如果需要高分辨率，则需要放弃视场角或检测距离。Flash激光雷达采用面光源泛光成像，其发射的光线会散布在整个视场内，因此不需要折射就可以覆盖FOV区域了，难点在于如何提升其功率密度从而提升探测精度和距离，目前通常使用VCSEL光源组成二维矩阵形成面光源。Mid - 360 水平 360°、垂直 59° 视场角，提供点云数据辅助决策。上海三维激光雷达正规
Mid - 360 独特混合固态技术，造就 360° 全向超大视场角优势。北京livox激光雷达厂商
也有使用相干法，即为调频连续波（FMCW）激光雷达发射一束连续的光束，频率随时间稳定地发生变化。由于源光束的频率在不断变化，光束传输距离的差异会导致频率的差异，将回波信号与本振信号混频并经低通滤波后，得到的差频信号是光束往返时间的函数。调频连续波激光雷达不会受到其他激光雷达或太阳光的干扰且无测距盲区；还可以利用多普勒频移测量物体的速度和距离。调频延续波 LiDAR 概念并不新颖，但是面对的技术挑战不少，例如发射激光的线宽限制、线性调频脉冲的频率范围、线性脉冲频率变化的线性度，以及单个线性调频脉冲的可复制性等。北京livox激光雷达厂商
