真空电镀设备的监控方法:1、目视监控:使用眼睛监控,因为薄膜在生长的过程中,由于干涉现象会有颜色变化,我们就是根据颜色变化来控制膜厚度的,此种方式有误差,所以不是比较准确,需要依靠经验。2、极值监控法:当膜厚度增加的时候其反射率和穿透率会跟着起变化,当反射率或穿透率走到极值点的时候,就可以知道镀膜之光学厚度ND是监控波长的四分之一的整倍数。但是极值的方法误差比较大,因为当反射率或者透过率在极值附近变化比较慢,亦就是膜厚ND增加许多,R/T才有变化。反映比较灵敏的位置在八分之一波长处。3.定值监控法:此方法利用停镀点不在监控波长四分之一波位,然后由计算机计算在波长一时总膜厚之反射率是多少,此即为停止镀膜点。4.水晶振荡监控:利用石英晶体振动频率与其质量成反比的原理工作的。但是石英监控有一个不好之处就是当膜厚增加到厚度后,振动频率不全然由于石英本身的特性使厚度与频率之间有线性关系,此时须使用新的石英振荡片。真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术,是表面工程技术领域的重要组成部分。贵州玻璃真空镀膜技术
真空镀膜操作规程:1.在机床运转正常情况下,开动机床时,须先开水管,工作中应随时注意水压。 2.在离子轰击和蒸发时,应特别注意高压电线接头,不得触动,以防触电。 3.在用电子头镀膜时,应在钟罩周围上铝板。观察窗的玻璃用铅玻璃,观察时应戴上铅玻璃眼镜,以防X射线侵害人体。 4.镀制多层介质膜的镀膜间,应安装通风吸尘装置,及时排除有害粉尘。 5.易燃有毒物品要妥善保管,以防失火中毒。 6.酸洗夹具应在通风装置内进行,并要戴橡皮手套。 7.把零件放入酸洗或碱洗槽中时,应轻拿轻放,不得碰撞及溅出。平时酸洗槽盆应加盖。 8.工作完毕应断电、断水。天津真空镀膜的工艺流程真空镀膜机在集成电路制造中的应用:晶体管路中的保护层、电极管线等多是采用CVD技术。
真空镀膜:一种由物理方法产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术较先用于生产光学镜片,如航海望远镜镜片等。后延伸到其他功能薄膜,唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等。如手表外壳镀仿金色,机械刀具镀膜,改变加工红硬性。在真空中制备膜层,包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段,但一般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空镀膜有三种形式,即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。
现代镜头上的镀膜大而化之可以分成两种,一种叫增透膜,是增加光线透过率的,而另一种镀膜则是改变镜头的色彩光谱透过特性的,比如一支镜头种某一片镜片所用的光学材料虽然折射率等等指标比较好,但却存在偏黄现象,那就给它镀上一层光谱遮断膜,把偏色纠正回来(宾得那仨公主都使用高折射玻璃,因此都有些略微偏黄),而现在镀膜技术的发展已经可以补偿一些较为廉价的光学材料的不足之处,镜头的设计已经不必像过去一样使用昂贵的特殊配方光学玻璃来完成,所以新的镜头一般都是在每个镜片的空气接触面上都有多层镀膜的,这也从另一方面凸显了镀膜对于镜头的重要作用。 如今镀膜机在光学镜片上的应用,我们一般称为光学真空镀膜机或者光学镜片镀膜机。真空镀膜的操作规程:工作完毕应断电、断水。
离子镀:蒸发物质的分子被电子碰撞电离后以离子沉积在固体表面,称为离子镀。这种技术是D.麦托克斯于1963年提出的。离子镀是真空蒸发与阴极溅射技术的结合。一种离子镀系统如图4[离子镀系统示意图],将基片台作为阴极,外壳作阳极,充入惰性气体(如氩)以产生辉光放电。从蒸发源蒸发的分子通过等离子区时发生电离。正离子被基片台负电压加速打到基片表面。未电离的中性原子(约占蒸发料的95%)也沉积在基片或真空室壁表面。电场对离化的蒸气分子的加速作用(离子能量约几百~几千电子伏)和氩离子对基片的溅射清洗作用,使膜层附着强度较大提高。离子镀工艺综合了蒸发(高沉积速率)与溅射(良好的膜层附着力)工艺的特点,并有比较好的绕射性,可为形状复杂的工件镀膜。真空镀膜机的优点:其封口性能好,尤其包装粉末状产品时,不会污染封口部分,保证了包装的密封性能。天津真空镀膜的工艺流程
蒸发物质的分子被电子碰撞电离后以离子沉积在固体表面,称为离子镀。贵州玻璃真空镀膜技术
真空状态是支持真空镀膜机运作的环境,特别是需要高真空度的设备,通常我们需要达到高真空度,抽气系统的作用是功不可没的,但除了抽气系统外,在真空镀膜设备运行的过程中,还有一点就是,工件的除气。有些工件它本身内部存在着许多的气体、水分等,这些物质都会随着设备加热时被排放到真空室中,降低了真空度,更甚者,有些气体带有毒性成分,直接损害到真空室内部机械结构,造成设备不能正常运作。另外,正在镀膜过程中,由于工件内气体加热膨胀,容易使已经镀上的膜层裂开,当然这个情况出现的机率视工件本身物理性质有关,像塑料等容易膨胀的,机率就比较高,像金属等硬质的,机率就比较低,但也不能忽视,因此工件的除气是非常要的。通常我们使用的工件除气方法是烘烤,通过加热把工件内的气体、水分排出,在镀膜前,抽气的同时,对工件进行加热,当工件内水分和气体由于加热而放出后,随着真空室内的气体一起被真空泵抽出。针对不同的工件采取不一样的除气措施,有效控制工件内部气体与水分排放,提高镀膜的稳定性和均匀性。贵州玻璃真空镀膜技术
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