视网膜上型是由图像处理芯片将摄像机获得的图像转化为相关信息, 通过编码发射器发射到眼内编码接收并将图像数据转化为微小电流, 通过视网膜表面芯片电极刺激神经节细胞。而视网膜下型是通过芯片直接从外界环境中接收光信号, 并将光信号转换为电信号, 直接刺激残余的视细胞, 产生不同程度的视觉效果。采用聚合物派瑞林涂层制作了用于视网膜上型植入的柔性微电极阵列。采用单层工艺制作了密度为256的视网膜钛/铂电极阵列,电极直径为125 μm, 线宽为12 μm。为了增大电极密度, 发展了一种新的双层工艺, 电极个数为1 024, 间距为60 μm。通过派瑞林涂层2派瑞林涂层的退火工艺, 防止了两层派瑞林涂层薄膜之间的分层, 在加速试验中证明了电极寿命将超过一年。用相同工艺制作的测试电极生物试验表明, 基于派瑞林涂层的微电极阵列对组织或是生物体都有很小的机械伤害, 在动物模型的脊柱刺激试验中证明了刺激电极的有效性。派瑞林涂层在室温下以气相沉积(CVD)的方式。上海parylene电子产品派瑞林涂层
派瑞林涂层在微通道中的应用：采用派瑞林涂层的热键合工艺来制作派瑞林涂层微通道, 首先采用深反应离子刻蚀制作硅微通道, 然后沉积派瑞林涂层 C在硅微通道上, 同时派瑞林涂层沉积在纯铁片上, 在其上制作金电极, 在200 ℃真空箱内将派瑞林涂层键合, 剥去纯铁片以及采用特殊工艺释放派瑞林涂层 微通道。通过控制派瑞林涂层沉积的厚度,可以在相同的硅模微通道上制作不同深宽比的派瑞林涂层微通道, 同时也可以制作多层结构微通道。用此方法制作的各种微通道(所有微通道的内径为8 0 μm 宽、5 0 μm 深、壁厚为1 0 μm) 。通过此方法, 可以快速低成本地制作派瑞林涂层微通道, 并通过释放工艺可以获得很好的派瑞林涂层微通道, 同时可以重复使用硅模,普遍用于气相色谱分析等微流体系统分析中。吉林疏水派瑞林涂层种类派瑞林涂层是无色高透明度膜层。
派瑞林（Parylene）作为绝缘材料，具有以下功能特色:1）.具有极高的绝缘强度,2）.薄膜可耐高压，并可随厚度增加而持续提高：3）.极高的体积电阻率和表面电阻率4）.绝缘性能不会受环境温、湿度的影响：5）.介电常数和介电损耗均非常低且不受潮气的影响：6）.极低的高频损耗，特别适合超高频器件。派瑞林（Parylene）是好的的防腐蚀材料：1）.以及具有极低的水分子和气体渗透率；2）.能在苛刻环境下有效地隔离水汽、盐雾、腐蚀性气体；3）.并在常温下可抵抗任何强酸、强碱及溶剂的侵蚀(不溶於一般溶剂）。
派瑞林涂层薄膜的高性能止回阀。微阀具有扭曲型的派瑞林涂层膜, 当有流体顺流时, 派瑞林涂层薄膜抬起, 允许流体通过; 当有流体逆时,派瑞林涂层薄膜封住了通道阻止其流动。该结构的微阀顺流冲破压力小于0. 5 kPa, 逆流的制止压力达600 kPa以上, 同时具有较低的反向泄漏, 性能非常好。由于派瑞林涂层较小的杨氏模量, 产生了较大的变形, 基本可以忽略由薄膜引起的流体阻抗。单通道常闭微止回阀, 整个微阀和微通道都是由派瑞林涂层 C制成的, 其结构为在圆形阀座上的一个圆形的密封板。密封板是固定在子腔薄膜的顶部中心, 由于大气压强使子腔压缩到底部, 从而获得微阀的闭合模式。这种新型的子腔结构是通过没有层结构的释放和在真空条件下派瑞林涂层薄膜的气相沉积来实现的。通过减小密封板和阀座的重叠面积和溅射金属金来减小静摩擦力, 从而减小顺流冲破压力。此种结构的微阀的顺流冲破压力为20～40 kPa, 在逆流压力为270 kPa也不会出现可见的泄露现象。派瑞林涂层具良好的化学特性，耐酸碱侵蚀。
派瑞林涂层在微泵领域应用：微型泵是微流动系统的一个重要执行器件。根据其有无可动阀片, 微型泵可分为有阀微型泵和无阀微型泵。另一种单向阀型压电驱动微泵, 通过石蜡成型技术将隔膜设计为拱形, 同时微阀和隔膜由聚合物派瑞林涂层制成, 保证了隔膜较大的形变以产生较大的泵送效率。微泵采用压电薄膜来驱动派瑞林涂层拱形隔膜, 以此驱动两个派瑞林涂层微止回阀来实现泵送流体。实验表明, 该泵具有功率低(如对于5. 5 mm直径的隔膜, 工作频率在30 kHz, 泵送水速度为1μL /min, 功率只为1 mW) 和批量加工的优点, 对于悬臂梁式微阀的微泵, 在400 Pa时, 有较小的泄漏产生, 而对于桥式微阀的微泵, 在反向压力为800 Pa时, 几乎没有泄漏产生。派瑞林涂层质轻，膜层较其他涂装层轻、温度范围广，适用于±200℃。浙江医疗用品派瑞林涂层厂
派瑞林涂层气体释出几近于无，抗溶剂性，膜层不溶于一般有机溶剂。上海parylene电子产品派瑞林涂层
派瑞林涂层作为可植入材料, 主要是由于材料本身良好的生物相容性。生物体内复杂的体液环境,会腐蚀大多数的在微传感器(MEMS)和微电子材料, 然而却不会影响派瑞林涂层, 这是由于派瑞林涂层不会在体液环境下被水降解。派瑞林涂层作为植入微电极阵列和微器件的包装材料, 实验证明具有很好的生物性容性和生物稳定性, 能够长期植入生物体中, 此外, 由于其良好的防渗透性, 能够很好地保护微器件不被腐蚀。同时, 派瑞林涂层对细胞有很小的毒性,这使它有可能成为细胞生长的平台。派瑞林涂层以其优异的生物相容性(美国FDA V I级认证) 和生物稳定性, 作为体内长期植入使用的生物医用材料, 已经被用于心脏起搏器、脑电极、植入式传感器和高频手术刀等微型电子医疗器械和可植入微系统中。上海parylene电子产品派瑞林涂层
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