真空镀膜加工操作规程:1.在真空镀膜加工中设备运转正常情况下,开动真空镀膜加工机时,须先开水管,工作中应注意水压。2.在离子轰击和蒸发时,应特别注意高压电线接头,不得触动,以防触电。3.在用电子头镀膜时,应在钟罩周围上铝板。观察窗的玻璃用铅玻璃,观察时应戴上铅玻璃眼镜,以防X射线侵害人体。4.镀制多层介质膜的镀膜间,应安装通风吸尘装置,及时排除有害粉尘。5.易燃有毒物品要妥善保管,以防失火中毒。6.酸洗夹具应在通风装置内进行,并要戴橡皮手套。7.把零件放入酸洗或碱洗槽中时,应轻拿轻放,不得碰撞及溅出。平时酸洗槽盆应加盖。8.工作完毕应断电、断水。真空镀膜机大功率脉冲磁控溅射技术的脉冲峰值功率是普通磁控溅射的100倍,在1000~3000W/cm2范围。山东无色透明真空镀膜厂
为尽量减小真空镀膜机真空室形变带来的影响,我们将导轨、丝杆等传动件固定于一个刚性的中间层上,其与真空室底壁之间采用点、线、面活性支撑,以吸收和隔离形变,并设置形变补偿调节机构,在系统抽真,参照有限元计算提供的理论数据预设适当的补偿量,以使其在真空状态下达到平衡。 为了验证有限元计算的结果,对真空室的形变和补偿进行了测试。一步,将四只千分表定位在工作台安装基点的真空壁外侧,当真空室由大气抽到真空时,记录各千分表的变化量,经归一化处理后为用激光自准直仪调整形变补偿。由水平调整的自准直仪发出一束激光穿过真空室的玻璃窗照射固定于工作台上的反射镜,在大气环境下调整形变补偿调节机构,使反射光束进入自准直仪接收视场,记录两维角度偏差。按有限元计算的真空状态下的补偿量再次调整,显然,此时的反射光束已远离自准直仪接收视场,但一旦真空室进入真空状态,反射光束又重新进入自准直仪的接收视场,记录此时的两维角度偏差。前后两次显示的两维角度偏差基本吻合。山东纳米真空镀膜在真空镀膜机运转正常情况下,开动真空镀膜机时,必须先开水管,工作中应随时注意水压。
真空镀膜需要注意的问题:1、厚度上的均匀性,也可以理解为粗糙度,在光学薄膜的尺度上看(也就是1/10波长作为单位,约为100A),真空镀膜的均匀性已经相当好,可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内,也就是说对于薄膜的光学特性来说,真空镀膜没有障碍。但是如果是指原子层尺度上的均匀度,也就是说要实现10A甚至1A的表面平整,具体控制因素下面会根据不同镀膜给出详细解释。2、化学组分上的均匀性: 就是说在薄膜中,化合物的原子组分会由于尺度过小而比较容易的产生不均匀特性,SiTiO3薄膜,如果镀膜过程不科学,那么实际表面的组分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,镀的膜并非是想要的膜的化学成分,这也是真空镀膜的技术含量所在。 3、晶格有序度的均匀性: 这决定了薄膜是单晶,多晶,非晶,是真空镀膜技术中的热点问题。
真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面,它是以真空技术为基础,利用物理或化学方法,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说,在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法,称为真空镀膜。众所周知,在某些材料的表面上,只要镀上一层薄膜,就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能。20世纪70年代,在物体表面上镀膜的方法主要有电镀法和化学镀法。前者是通过通电,使电解液电解,被电解的离子镀到作为另一个电极的基体表面上,因此这种镀膜的条件,基体须是电的良导体,而且薄膜厚度也难以控制。后者是采用化学还原法,须把膜材配制成溶液,并能迅速参加还原反应,这种镀膜方法不只薄膜的结合强度差,而且镀膜既不均匀也不易控制,同时还会产生大量的废液,造成严重的污染。因此,这两种被人们称之为湿式镀膜法的镀膜工艺受到了比较大的限制。在建筑和汽车玻璃上使用真空电镀设备技术,镀涂一层TiO2就能使其变成防雾、防露和自清洁玻璃。
真空镀膜机电阻式蒸发镀分为预热段、预溶段、线性蒸发段三个步骤。但是这三个步骤 与时间长短、电流大小有着密切的关系,本人认为应做到短时间中电流,长时间小电流、蒸发电流呈线性上升的方式作为调整工艺的通常调法,比如同等电流时间长二分之一就会变黄,时间较长就会变黑。真空镀膜设备膜层厚度过厚也会带一点黑色,但是是金属本色黑色。膜层薄则呈现白银色。 ①、预热段的现象:预热段炉体内钨丝基本没什么变化,只是给钨丝一定安培的电流先加热,通常的工艺电流在600A-1000A之间,时间在10-30秒 。 ②、预溶段的现象:这时炉体内的钨丝会有发亮现象,然后铝丝像爆一样的动作, 紧接着将从固态慢慢的变成液态。通常的工艺电流在800A-1200A之间,时间在5-15秒。③、线性蒸发段:这个阶段较为重要,真空镀膜机膜层变黑变黄都是在这个阶段出现的,蒸发时炉体内的现象,所有的钨丝都达到了像60瓦灯泡那样亮(比喻),随着电流的加大会越来越亮,铝丝刚开始时像水滴一样倒挂在钨丝上,随着电流的加大慢慢的会被完全蒸发掉。真空镀膜所采用的方法主要有蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流沉积镀以及分子束外延等。山东无色透明真空镀膜厂
多弧离子真空镀膜机镀膜还会在电厂的作用下沉积在具有负电压基体表面的任意位置上。山东无色透明真空镀膜厂
关于真空电镀设备漏气的问题我们应该如何进行检修,关于真空电镀设备漏气对于真空镀膜设备本身是有比较大的影响的,所以我们在发现问题的时候要及时的进行检修维护。有关人员要测试好真空室内气体密封性能的比例,要确保气密性能够全符合要求。然后检查真空镀膜漏孔大小、形状和漏气速度,分析出正确的解决方案并且可以马上实施。仔细确认真空电镀漏气是真漏还是虚漏,因为在工件材料加热之后会在不同程度上产生气体,有时候会让人误以为是从外部流进的气体这就是虚漏我们要排除这种情况。反复确定检测仪器的检漏率和捡漏灵敏性是多少,以非常大的范围检测出漏气的情况,避免一些漏孔被忽略,提高检漏的准确性和安性。我们还要避免真空电镀漏孔的堵塞,有时候因为操作失误使真空电镀在捡漏中,会有灰尘或液体等物质把漏孔给堵塞了,以为那个位置没有漏孔,但当这些堵塞物由于内外的压强差异提高或会使漏孔不堵了,但是漏气还没有消失依然存在。山东无色透明真空镀膜厂
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