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洁净室压差的基本概念及检测意义

洁净室的压差就是洁净室与周围空间必须维持的静压差,必要的压差是控制漏气方向的手段,是正常工作的基本条件。微电子行业的洁净室为了保证洁净度,不允许低洁净度的空气向高洁净度区域泄漏;菌落实验室或传染病房,不允许室内空气向室外泄漏。

为了控制区域之间的漏气方向,对于区域之间的气压差有较严格的要求。一般要求洁净室内的气压高于室外,或要求高级别洁净室的气压高于低级别的洁净室,或要求室内的气压低于室外。工业洁净室和般生物洁净室都采用维持正压。对于使用有毒、有害气体或使用易燃易爆溶剂或有高粉尘操作的洁净室,生物洁净室以及其他有特殊要求的生物洁净室需要维持负压。所以,测定宿净室的气压差很重要。

压差检测的目的是测定洁净室的静压差,它可以是正压或负压,以防止洁净室内(外)气流间被污染。当不同空气洁净度等级或产品生产I艺性质不同的房间之间按规定维持一定的静压差时,相邻洁净室之间如果静压差过大或因建造原因带来的缝隙,将会造成空气泄漏,严重时会使洁净室内的气流紊乱,所以洁净室之间的静压差范围一般为5~20Pa, 并应采取可行的技术措施控制洁净室之间的静压差。



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1.洁净室围护结构

围护结构是由土建材料现场构筑或由工厂预制的构件构筑,包括洁净厂房的土建结构和在土建结构内分隔出洁净室的建筑装修部分。除了合理的平、剖面规划布置外,为满足洁净要求的建筑和装修构造节点的设计和制作也是重要的构成部分。

2.空气净化系统

除了要满足工艺要求的室内温湿度外,净化空调系统的明显特点是根据需要采用多级空气过滤器、保证足够的风量和有序的压力控制等。末级过滤器的性能对洁净室具有关键作用,末端高效过滤器安装的密封性不可忽视。

3.附属设备

为保证洁净室的使用,应有合理的人流物流路线和合格的人物净化设施,如空气吹淋、传递窗等。此外,还有为工艺需要所敷设的其他工艺管线、用于监测洁净室洁净度级别和压力的相关仪器等。




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FFU风机过滤单元  风机过滤单元(FFU)是一种空气自净装置,可室内吊顶安装或放置在支架上,使局部级别达到百级。也可用于洁净室末端送风。该产品设有初、高效两级过滤装置。风机从顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤,过滤后的洁净空气在整个出风口送出。安装方式有悬挂式和落地支架两种。  风机从FFU顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤,过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45M/S±20%的风速匀速送出。它为不同尺寸大小,不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。在新建洁净室、洁净厂房式改造翻新中,即可提高洁净度级别,降低噪音和振动,也可降低造价,安装维护方便,是洁净环境的理想部件。

洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。 上海蔚亚科技专门洁净室环境检测。

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用光度计法进行过滤器泄漏检测步骤相对简单,只要对将上游气溶胶浓度设置为基准,下游以不超过5 cm/s的扫描速度进行扫描。气溶胶光度计会根据下游测得的气溶胶浓度实时计算出被测高效过滤器渗透过率。一旦渗透过率超过高效过滤器限制值(通常为0.01%),则被判定为泄漏点。泄漏点可以进行修补后再进行检测。但如果单个泄漏点的面积过大(超过过滤器面积的1%),或者所有泄漏点面积之和过大(超过过滤器面积的5% ),则应该直接更换过滤器。蔚亚科技检测净化设备。检测规范性强

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    目前有些单位在做洁净室(区)测试消毒时,使用甲醛液熏蒸的方法,从沉降菌测试结果看,与用上述消毒剂消毒的结果差别不大,但未能有效地中和甲醛蒸气,如含量一旦超标,将有可能引发呼吸道疾病和皮肤炎症,甚至会致*。洁净室(区)测试中应对甲醛灭菌残留量项目制定监控指标。有些医院手术室、病房也参照GMP的要求,对洁净室(区)进行环境检测。医疗单位不同级别的手术室的细菌浓度,既要考虑到相应的洁净度级别,又要考虑到手术室的特定控制要求。比较高一级主要考虑心脏外科、***移植和关节置换等手术的要求,菌浓度定为5CFU/m3。病房的消毒灭菌要求高,这些消毒药物对金属和橡胶有较强的腐蚀性,要多加注意。在选用送回风口、过滤器和阻尼层时要考虑这些因素。 湖北电子厂房环境检测

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1.洁净室空气过滤器阻力检测的作用与方法空气过滤器在洁净室运行过程中,随着使用时间的增加,其阻力会逐渐增大。过滤器阻力检测对于了解过滤器的使用状况、判断是否需要更换过滤器具有重要作用。当过滤器阻力过大时,会导致送风量下降,影响洁净室的空气净化效果和气流组织;同时,也会增加空调系统的运行能耗。过滤器阻力检测方法主要是使用压差计测量过滤器上下游的压力差,该压力差即为过滤器的阻力。在检测时,需将压差计的两个测压口分别连接到过滤器的上游和下游管道上,读取压差计的数值。一般来说,高效过滤器的初阻力应符合设计要求,当终阻力达到初阻力的2倍左右时,就需要考虑更换过滤器。通过定期进行过滤器阻力检测,可以及时掌...

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