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在测量工作中会遇到各种标准量，如长度、质量、时间、温度、电流等。在洁净室检测技术中，经常碰到的被测量有风速、风量、温度、压力、湿度、噪声、洁净度等。

检测技术在科学研究和工程运用中有非常重要的地位，任何工作都需要通过检测才能确定工作的质量和数量，因此专门从事检测工作的人员需要熟练掌握检测技术。从事洁净室建造的人员也需要掌握一些 检测技术的基础知识和基本原则。洁净室检测技术的应用范围广，包括建造洁净室原材料的检测、洁净室用仪器设备的检测、洁净室建成后调试的检测、洁净室竣工验收的检测、洁净室运行过程中的检测。检测工作贯穿洁净室筹备、建造、应用的全过程。

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洁净室压差的基本概念及检测意义

洁净室的压差就是洁净室与周围空间必须维持的静压差，必要的压差是控制漏气方向的手段，是正常工作的基本条件。微电子行业的洁净室为了保证洁净度，不允许低洁净度的空气向高洁净度区域泄漏;菌落实验室或传染病房，不允许室内空气向室外泄漏。

为了控制区域之间的漏气方向，对于区域之间的气压差有较严格的要求。一般要求洁净室内的气压高于室外，或要求高级别洁净室的气压高于低级别的洁净室，或要求室内的气压低于室外。工业洁净室和般生物洁净室都采用维持正压。对于使用有毒、有害气体或使用易燃易爆溶剂或有高粉尘操作的洁净室，生物洁净室以及其他有特殊要求的生物洁净室需要维持负压。所以，测定宿净室的气压差很重要。

压差检测的目的是测定洁净室的静压差，它可以是正压或负压，以防止洁净室内(外)气流间被污染。当不同空气洁净度等级或产品生产I艺性质不同的房间之间按规定维持一定的静压差时，相邻洁净室之间如果静压差过大或因建造原因带来的缝隙，将会造成空气泄漏，严重时会使洁净室内的气流紊乱，所以洁净室之间的静压差范围一般为5~20Pa, 并应采取可行的技术措施控制洁净室之间的静压差。

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非单向流洁净室的风速检测要求

非单向流洁净室的风速检测一般检测风口风量。 内安装过滤器的风口采用与检测风速计算风量时相同的套管法或风管法。检测时，风口上的任何配件、饰物律保持原样。

选用套管法时，可用轻质板材或膜材做成与风口内截面相同或相近、长度大于2倍风口边长的直管段作为辅助风管，连接于过滤器风口外部，在套管出口平面均匀划分小方格，方格边长不大于200 mm,在方格中心设测点，不少于6点。

对于风口，上风侧有较长的支管段且已经或可以打孔时，可用风管法。检测断面距局部阻力部件距离，在局部阻力部件后者，距离局部阻力部件不少于5倍管径或5倍长边;在局部阻力部件前者，距离局部阻力部件不少于3倍管径或3倍长边。对于矩形风管，检测截面应按奇数分成纵横列，再在每一列上分成若干个相等的小截面，每个小藏面宜接近正方形，边长比较好不大于200 mm,测点位于小截面中心，测点数不宜少于6个。对于圆形风管，应按等面积圆环法划分检测截面并确定测点数。

用光度计法进行过滤器泄漏检测步骤相对简单，只要对将上游气溶胶浓度设置为基准，下游以不超过5 cm/s的扫描速度进行扫描。气溶胶光度计会根据下游测得的气溶胶浓度实时计算出被测高效过滤器渗透过率。一旦渗透过率超过高效过滤器限制值(通常为0.01%)，则被判定为泄漏点。泄漏点可以进行修补后再进行检测。但如果单个泄漏点的面积过大(超过过滤器面积的1%)，或者所有泄漏点面积之和过大(超过过滤器面积的5% )，则应该直接更换过滤器。洁净室温度&相对湿度测试——上海蔚亚科技。

 洁净室风量及换气次数检测的意义

洁净室的洁净度主要是靠送人足够量的洁净空气，以置换、稀释室内在生产过程中所散发的颗粒污染物来实现。同时依靠洁净室的风量平衡维持洁净室正(负)压，以避免不同级别的洁净区域之间颗粒污染物的无组织渗透。因此，洁净室或洁净设施的风量检测十分必要。

洁净室利用送人洁净空气稀释室内空气污染物，或利用排风带出室内空气污染物，排风的同时，靠送风补充室内空气，形成换气。风量越大，污染物排除越快。当污染物排出速率高于产生速率时，空气中污染物浓度减少，洁净度提高;当污染物排出速率与产生速率相等时，空气中污染物浓度维持不变，洁净度不变;当污染物排出速率低于产生速率时，空气中污染物浓度增加，洁净度下降。所以，要达到一定的洁净度，就必须保证足够的送风量和排风量。但是，过大的风量会造成高效过滤器送风断面风速过高，过滤效率下降以及能源浪费等现象。

风量检测的目的是判断各个风口的送风量、回风量、排风量等是否满足设计要求。换气次数的检测目的则是判断洁净室是否达到了设计要求的换气次数。风量和换气次数检测的意义是为判断是否满足设计要求提供依据。 洁净室表面微生物测试——上海蔚亚科技。山东检测规范性强

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高效、超高效过滤器效率检测方法

(1)钠焰法。用雾化干燥的方法人工发生氯化的气溶胶气溶胶颗粒的中值粒径约为0.5 um将过逮器上下游的氯化钠气溶胶采集到燃烧器中并在氧气火焰中燃烧，将燃烧产生的纳焰光度(波长为589 mm的特征光)转变为电信号，并由光电测量仪器检测，电流值了氯化钠气溶胶的质量浓度，用测定的电流值即可求出过滤器的过滤效率。

(2)油雾法。尘源为油雾。用浊度计测量受试过速器前后的油雾浊度差来判断过滤器对油雾的过滤效率。

(3) DOP法。试验用尘源为0.3 um单分散相，以邻苯二甲酸二辛酯(DOP, di -0-ty- phthalate)液滴为气溶胶粒子来测量高效过滤器的效率。所用仪器为光度计或浊度计，测量的值是受试过滤器前后的浊度差，并由此确定过滤器对0. 3 μm粒径粉尘的过滤效率。

(4) MPPS效率。MPPS是Most Penetrable Particulate Size的缩写，可译为“**易穿透粒径”或“比较大穿透粒径”。 浙江洁净工作台检测规范性强