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工业洁净室的发展

工业洁净室(ICR, Idutra Clem Rom)以空气中的悬浮颗粒物为主要控制对家,主要为精密机械和电子产品等行业提供符合要求的生产环境。

与其他高科技一样, 洁净技术的诞生及起初应用是服务于目的的。第二次世界大战中一些炮、 战车、飞机等使用的仪器合格率低或经常发生故障。研制者认识到,仪器生产与装配环境空气中的悬浮颗粒物是罪魁祸首,于是工业洁净室诞生了。起初的工业洁净室是比较简陋的,随着原子武器研究和生化武器研究的发展,在20世纪40年代初高效空气过滤器研制成功并得到应用,20世纪60年代初又出现了“单向流”洁净室,这些设备与技术的诞生成为洁净技术发展的里程碑,奠定了现代洁净技术的基础。

微电子行业是现代工业洁净室应用的表现。主要产品是大规模集成电路和平板显示器。半个多世纪以来,集成电路得到迅猛发展。 公司检测活动主要以现场检测为主,方便客户、为客户服务是我们公司的宗旨。实验室环境检测方便客户

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风速风量换气次数

洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气,以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此,测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。

单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此,其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物,因此它们是主要关注的检测项目。

非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此,换气次数越大,气流流型合理,稀释效果越明显,洁净度也相应提高。所以非单相流洁净室、洁净区的送风量及相应的换气次数,是主要关注的气流测试项目。 湖南电子厂房环境检测优化价格洁净度等级是指洁净空间单位体积空气中,以大于或等于被考虑粒径的粒子比较大浓度限值进行划分的等级标准。

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光度计法(GB50591-2010)

1被检漏过滤 器必须已测过风量,在设计风速的80%~120%之间运行。

2在同一 送风面上安有多台过滤器时,在结构上允许的情况下,宜用每次只暴露1台过滤器的方法进行测定。

3当几台 或全部过滤器必须同时暴露在气溶胶中时,为了对所有过滤器造成均匀混合,宜在风机吸入端或这些过滤器前方支干管中引人检漏用气溶胶,并立即在受检过滤器的正前方测定上风侧浓度。

4对于高效过滤器,当检漏仪表为对数刻度时,上风侧气溶胶浓度应超过仪表小刻度的10倍。当检漏仪表为线性刻度时,上风侧气溶胶浓度宜达到(20~80) pg/L. 浓度低于20ug/L会降低检漏灵敏度,高于80pg/L长时间检测会造成过滤器污染堵塞。检漏仪表应具有(0.001~-100) ug/L 的测量范围。

5对于光度计检漏法确认过滤器局部渗漏的标准透过率为0,01%,即当采样探头对准被测过滤器出风面某一点, 静止检测时,如测得透过率高于0,01%,即认为该点为漏点。

非单向流洁净室的风速检测要求

非单向流洁净室的风速检测一般检测风口风量。 内安装过滤器的风口采用与检测风速计算风量时相同的套管法或风管法。检测时,风口上的任何配件、饰物律保持原样。

选用套管法时,可用轻质板材或膜材做成与风口内截面相同或相近、长度大于2倍风口边长的直管段作为辅助风管,连接于过滤器风口外部,在套管出口平面均匀划分小方格,方格边长不大于200 mm,在方格中心设测点,不少于6点。

对于风口,上风侧有较长的支管段且已经或可以打孔时,可用风管法。检测断面距局部阻力部件距离,在局部阻力部件后者,距离局部阻力部件不少于5倍管径或5倍长边;在局部阻力部件前者,距离局部阻力部件不少于3倍管径或3倍长边。对于矩形风管,检测截面应按奇数分成纵横列,再在每一列上分成若干个相等的小截面,每个小藏面宜接近正方形,边长比较好不大于200 mm,测点位于小截面中心,测点数不宜少于6个。对于圆形风管,应按等面积圆环法划分检测截面并确定测点数。 蔚亚科技洁净室环境检测检测能力高。

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洁净室压差的基本概念及检测意义

洁净室的压差就是洁净室与周围空间必须维持的静压差,必要的压差是控制漏气方向的手段,是正常工作的基本条件。微电子行业的洁净室为了保证洁净度,不允许低洁净度的空气向高洁净度区域泄漏;菌落实验室或传染病房,不允许室内空气向室外泄漏。

为了控制区域之间的漏气方向,对于区域之间的气压差有较严格的要求。一般要求洁净室内的气压高于室外,或要求高级别洁净室的气压高于低级别的洁净室,或要求室内的气压低于室外。工业洁净室和般生物洁净室都采用维持正压。对于使用有毒、有害气体或使用易燃易爆溶剂或有高粉尘操作的洁净室,生物洁净室以及其他有特殊要求的生物洁净室需要维持负压。所以,测定宿净室的气压差很重要。

压差检测的目的是测定洁净室的静压差,它可以是正压或负压,以防止洁净室内(外)气流间被污染。当不同空气洁净度等级或产品生产I艺性质不同的房间之间按规定维持一定的静压差时,相邻洁净室之间如果静压差过大或因建造原因带来的缝隙,将会造成空气泄漏,严重时会使洁净室内的气流紊乱,所以洁净室之间的静压差范围一般为5~20Pa, 并应采取可行的技术措施控制洁净室之间的静压差。



空态:已经建造完成并可以投入使用的洁净室(设施)。它具备所有有关的服务和功能。浙江电子厂房环境检测规范性强

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FFU风机过滤单元  风机过滤单元(FFU)是一种空气自净装置,可室内吊顶安装或放置在支架上,使局部级别达到百级。也可用于洁净室末端送风。该产品设有初、高效两级过滤装置。风机从顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤,过滤后的洁净空气在整个出风口送出。安装方式有悬挂式和落地支架两种。  风机从FFU顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤,过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45M/S±20%的风速匀速送出。它为不同尺寸大小,不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。在新建洁净室、洁净厂房式改造翻新中,即可提高洁净度级别,降低噪音和振动,也可降低造价,安装维护方便,是洁净环境的理想部件。实验室环境检测方便客户

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1.洁净室空气过滤器阻力检测的作用与方法空气过滤器在洁净室运行过程中,随着使用时间的增加,其阻力会逐渐增大。过滤器阻力检测对于了解过滤器的使用状况、判断是否需要更换过滤器具有重要作用。当过滤器阻力过大时,会导致送风量下降,影响洁净室的空气净化效果和气流组织;同时,也会增加空调系统的运行能耗。过滤器阻力检测方法主要是使用压差计测量过滤器上下游的压力差,该压力差即为过滤器的阻力。在检测时,需将压差计的两个测压口分别连接到过滤器的上游和下游管道上,读取压差计的数值。一般来说,高效过滤器的初阻力应符合设计要求,当终阻力达到初阻力的2倍左右时,就需要考虑更换过滤器。通过定期进行过滤器阻力检测,可以及时掌...

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