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工业洁净室的发展

工业洁净室(ICR, Idutra Clem Rom)以空气中的悬浮颗粒物为主要控制对家，主要为精密机械和电子产品等行业提供符合要求的生产环境。

与其他高科技一样， 洁净技术的诞生及起初应用是服务于目的的。第二次世界大战中一些炮、 战车、飞机等使用的仪器合格率低或经常发生故障。研制者认识到，仪器生产与装配环境空气中的悬浮颗粒物是罪魁祸首，于是工业洁净室诞生了。起初的工业洁净室是比较简陋的，随着原子武器研究和生化武器研究的发展，在20世纪40年代初高效空气过滤器研制成功并得到应用，20世纪60年代初又出现了“单向流”洁净室，这些设备与技术的诞生成为洁净技术发展的里程碑，奠定了现代洁净技术的基础。

微电子行业是现代工业洁净室应用的表现。主要产品是大规模集成电路和平板显示器。半个多世纪以来，集成电路得到迅猛发展。 洁净室温度&相对湿度测试——上海蔚亚科技。江苏检测规范性强

热球风速仪。热球风速仪也是基于散热与风速有关的原理制成的，分测头和指示仪表两部分。测头由电热线圈(或电热丝)和热电偶组成。当电热线圈通以额定电流时，它的温度升高，加热了玻璃球，因玻璃球体积很小，球体的温度可以认为与电热线圈的温度相同，通过电流时热电偶便产生热电势，指示仪表则指示出相应的热电势的大小。玻璃球的温度升降、热电势相应的大小与气流流速有关，气流流速大，球体散热快，温升越小;反之，气流流速小，球体散热慢，温升越大，热电势也就越大。按此原理，指示仪表可直接显示出风速。辽宁电子厂房环境检测蔚亚作为洁净室检测第三方，针对洁净室检测项目不达标出现的常见问题以及产生的原因，在此与大家分享。

FFU风机过滤单元  风机过滤单元（FFU）是一种空气自净装置，可室内吊顶安装或放置在支架上，使局部级别达到百级。也可用于洁净室末端送风。该产品设有初、高效两级过滤装置。风机从顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤，过滤后的洁净空气在整个出风口送出。安装方式有悬挂式和落地支架两种。  风机从FFU顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45M/S±20%的风速匀速送出。它为不同尺寸大小，不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。在新建洁净室、洁净厂房式改造翻新中，即可提高洁净度级别，降低噪音和振动，也可降低造价，安装维护方便，是洁净环境的理想部件。

《电子工业洁净厂房设计规范》(GB 50472- 2008)。 本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:

1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室，检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。

2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时，应由里向外按顺序检测。

3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1 L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1 um (0.5 μm)的粒子，其浓度应大于3.5x10 pc/m'。微粒仪距离滤器表面20 ~30 mm处等速采样，并以5 ~ 20 mm/s速度移动。

4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO 14644基本相同。

5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度，且距吊顶、墙和地面不少于300 mm。

6)噪声的检测。每100m²设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m，距墙大于3 m。

7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度，宜距地面0. 85m,每25 m²设1个检测点。

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高效过滤器在检漏前，应检测上游气溶胶浓度是否达到要求。市场上常见的光度计在进行高效过滤器检漏时，上游气溶胶的质量浓度需要能够达到20 .80 μg/L为了保证下游数据不受环境影响，高效过滤器下游出口应设置临时的围挡或软帘。过滤器下游出风面在可以逐点扫描的情况下，能够测得高效过滤器任何位置包括边框的泄漏率，少量生产设备的高效过滤器位于设备内部无法进行逐点扫描，此时只能在设备出风口检测过滤器的整体泄漏率。

在下游扫描时，扫描速度应在5~8 m/s。

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洁净室压差的基本概念及检测意义

洁净室的压差就是洁净室与周围空间必须维持的静压差，必要的压差是控制漏气方向的手段，是正常工作的基本条件。微电子行业的洁净室为了保证洁净度，不允许低洁净度的空气向高洁净度区域泄漏;菌落实验室或传染病房，不允许室内空气向室外泄漏。

为了控制区域之间的漏气方向，对于区域之间的气压差有较严格的要求。一般要求洁净室内的气压高于室外，或要求高级别洁净室的气压高于低级别的洁净室，或要求室内的气压低于室外。工业洁净室和般生物洁净室都采用维持正压。对于使用有毒、有害气体或使用易燃易爆溶剂或有高粉尘操作的洁净室，生物洁净室以及其他有特殊要求的生物洁净室需要维持负压。所以，测定宿净室的气压差很重要。

压差检测的目的是测定洁净室的静压差，它可以是正压或负压，以防止洁净室内(外)气流间被污染。当不同空气洁净度等级或产品生产I艺性质不同的房间之间按规定维持一定的静压差时，相邻洁净室之间如果静压差过大或因建造原因带来的缝隙，将会造成空气泄漏，严重时会使洁净室内的气流紊乱，所以洁净室之间的静压差范围一般为5~20Pa, 并应采取可行的技术措施控制洁净室之间的静压差。

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