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使用粒子计数器进行洁净室洁净度检测

操作准备

检测前应对洁净室及其空气净化系统进行彻底的清洁,应验证洁净室或洁净区白各方面设施都是完备的,而且运行正常,符合设计的技术性能要求。在洁净度检测自应先完成其他检测工作(一般包括送风量检测、压差检测、隔断结构气密性检测、品效过滤器完整性检测)。

操作步骤

步骤1采样点的确定

计算房间面积,根据规范确定采样点数量,并将采样点均匀分布在整个洁净室或洁净区内,并根据实际情况绘制采样点布置图。采样点一般布置在离地0.8m 的水平面上,若采样点在洁净工作台上,则- -般布置在工作台面上0.2m的水平面上。

步骤2仪器的安装

将仪器放置在采样点位置,拔下取样口的保护套,用皮管连接取样口和采样头,连通电源,按“电源键”开机。

步骤3自净

将自净器插在采集口上,点击采样图案,然后点击“开始”进行自净,直到仪器计数显示为0 (10 min之内)。

步骤4洁净度检测

自净完成后,将仪器放在1个点位,开始进行采集,直至第1个点所有次数全部检测完成,将仪器移至第二个点,重复直到***点的所有次数全部测完。 检测结束后,将仪器进行自净后再关机,自净操作和步骤三一致。  push——push过滤器代理,上海蔚亚科技。广东电子厂房环境检测

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在进行清净室压差检测之前高效过速器检顢和风量检测已结束,洁净室波洁净设施正常工作,应该关闭的门窗全部关团的条件下,先检测送风量、回风量、排风量是否与规定风量相符,调整新风和回风的比例。在此前提下,再用仪器逐一检测封闭的各洁净室之间、洁净室和周围附属环境之间、洁净室走廊之间、周围附属环境与外部环境间的压差。如果洁净设施中包括多个洁净室,则应从里面的房间,通常也是洁净级别比较高的房间与其紧邻的房间之间压差测起,如此继续下去,直至测得**靠外的洁净室与周围附属环境之间、与室外环境之间的压差。湖北洁净室环境检测上海蔚亚环境检测高效、准确。

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光度计法(GB50591-2010)

1被检漏过滤 器必须已测过风量,在设计风速的80%~120%之间运行。

2在同一 送风面上安有多台过滤器时,在结构上允许的情况下,宜用每次只暴露1台过滤器的方法进行测定。

3当几台 或全部过滤器必须同时暴露在气溶胶中时,为了对所有过滤器造成均匀混合,宜在风机吸入端或这些过滤器前方支干管中引人检漏用气溶胶,并立即在受检过滤器的正前方测定上风侧浓度。

4对于高效过滤器,当检漏仪表为对数刻度时,上风侧气溶胶浓度应超过仪表小刻度的10倍。当检漏仪表为线性刻度时,上风侧气溶胶浓度宜达到(20~80) pg/L. 浓度低于20ug/L会降低检漏灵敏度,高于80pg/L长时间检测会造成过滤器污染堵塞。检漏仪表应具有(0.001~-100) ug/L 的测量范围。

5对于光度计检漏法确认过滤器局部渗漏的标准透过率为0,01%,即当采样探头对准被测过滤器出风面某一点, 静止检测时,如测得透过率高于0,01%,即认为该点为漏点。

洁净室风速检测的意义

无论是洁净室还是其他任何受控环境,室内的风速检测都是重要的和必需的。只有准确测定风速、风速均匀性、送风量等气流参数,才能依据这此数据判断洁净室或其他受控环境的空调净化系统是否具备维持所要求的洁净度、温度、 湿度等技术参数的基本能力。

风速是指空气相对于地球某-固定 地点的运动速率, 常用单位是m/s.洁净室、洁净区的洁净度主要依靠送人足够量的洁净空气,以置换、稀释室内生成和散发的颗粒污染物。

单向流洁净室依靠洁净气流推挤、置换室内污染空气以维持洁净度,其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数,较高的、均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物。不均匀的气流组织达不到单向流的气流组织效果,影响洁净室的洁净度。非单向流洁净室靠送人室内的洁净空气来冲淡与稀释室内污染空气以维持洁净度,换气次数越大,气流流型越合理,稀释效果越明显。因此,洁净室的风速检测是洁净室检测的- 项重要工作。


净室被习惯 地应用在对环境污染特别敏感的行业。

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洁净度检测的意义

在洁净室或洁净区的检测参数中,洁净度是主要的参数,也是建设单位关心的参数,尤其是运行状态下的洁净室空气洁净度等级,即生产设备运转及操作人员在场的工作状态时的检测结果( 动态检测结果)。但施工单位通常希望在空态下进行检测,因此洁净室在检测之前要明确洁净室的占用状态是空态、静态还是动态。

空态测试:洁净室已竣工,净化空气调节系统已处于正常运行状态,室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行测试。

静态测试:洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态,工艺设备已安装,室内没有生产人员的情况下进行测试。

动态测试:洁净室已处于正常生产状态下进行测试。洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测,可按一般通用、空气调节的有关规定执行。



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非单向流洁净室的风速检测要求

非单向流洁净室的风速检测一般检测风口风量。 内安装过滤器的风口采用与检测风速计算风量时相同的套管法或风管法。检测时,风口上的任何配件、饰物律保持原样。

选用套管法时,可用轻质板材或膜材做成与风口内截面相同或相近、长度大于2倍风口边长的直管段作为辅助风管,连接于过滤器风口外部,在套管出口平面均匀划分小方格,方格边长不大于200 mm,在方格中心设测点,不少于6点。

对于风口,上风侧有较长的支管段且已经或可以打孔时,可用风管法。检测断面距局部阻力部件距离,在局部阻力部件后者,距离局部阻力部件不少于5倍管径或5倍长边;在局部阻力部件前者,距离局部阻力部件不少于3倍管径或3倍长边。对于矩形风管,检测截面应按奇数分成纵横列,再在每一列上分成若干个相等的小截面,每个小藏面宜接近正方形,边长比较好不大于200 mm,测点位于小截面中心,测点数不宜少于6个。对于圆形风管,应按等面积圆环法划分检测截面并确定测点数。 广东电子厂房环境检测

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