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洁净室压差的基本概念及检测意义

洁净室的压差就是洁净室与周围空间必须维持的静压差,必要的压差是控制漏气方向的手段,是正常工作的基本条件。微电子行业的洁净室为了保证洁净度,不允许低洁净度的空气向高洁净度区域泄漏;菌落实验室或传染病房,不允许室内空气向室外泄漏。

为了控制区域之间的漏气方向,对于区域之间的气压差有较严格的要求。一般要求洁净室内的气压高于室外,或要求高级别洁净室的气压高于低级别的洁净室,或要求室内的气压低于室外。工业洁净室和般生物洁净室都采用维持正压。对于使用有毒、有害气体或使用易燃易爆溶剂或有高粉尘操作的洁净室,生物洁净室以及其他有特殊要求的生物洁净室需要维持负压。所以,测定宿净室的气压差很重要。

压差检测的目的是测定洁净室的静压差,它可以是正压或负压,以防止洁净室内(外)气流间被污染。当不同空气洁净度等级或产品生产I艺性质不同的房间之间按规定维持一定的静压差时,相邻洁净室之间如果静压差过大或因建造原因带来的缝隙,将会造成空气泄漏,严重时会使洁净室内的气流紊乱,所以洁净室之间的静压差范围一般为5~20Pa, 并应采取可行的技术措施控制洁净室之间的静压差。



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1.洁净室围护结构

围护结构是由土建材料现场构筑或由工厂预制的构件构筑,包括洁净厂房的土建结构和在土建结构内分隔出洁净室的建筑装修部分。除了合理的平、剖面规划布置外,为满足洁净要求的建筑和装修构造节点的设计和制作也是重要的构成部分。

2.空气净化系统

除了要满足工艺要求的室内温湿度外,净化空调系统的明显特点是根据需要采用多级空气过滤器、保证足够的风量和有序的压力控制等。末级过滤器的性能对洁净室具有关键作用,末端高效过滤器安装的密封性不可忽视。

3.附属设备

为保证洁净室的使用,应有合理的人流物流路线和合格的人物净化设施,如空气吹淋、传递窗等。此外,还有为工艺需要所敷设的其他工艺管线、用于监测洁净室洁净度级别和压力的相关仪器等。




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洁净室噪声的基本概念及检测意义

声音是由于物体的振动而产生的,是能对人类的耳朵和大脑产生影响的一种气压变化,这种变化将天然的或人为的振动源(例如机械运转、说话时的声带振动等)的能量进行传递。辐射声音的报动物体称为“声源”,声源发声后要经过一定的介质才能向外传播到人耳。人类早对声音的感知是通过耳朵,普通人耳能听到的声音有一个确切数据的范围,该范围就称为“周”。普通人耳能接收到的**弱的声音称为“可闻阔",其声强值约为10-12W/m2,而普通人耳能够忍受的**强的声音称“痛阈”,其声强值约为1 W/m2,超过这一数值, 将引起人耳的疼痛。

房间内允许的噪声级称为室内噪声标准。噪声标准的制定应满足生产或工作条件的需要,并能消除噪声对人体的有害影响,同时也与技术经济条件有密切的关系。无原则地提高标准将导致浪费,这是应该注意的。

洁净室内的噪声检测主要考虑洁净室环境噪声对人的影响。噪声可以使人的听力衰退,引发多种疾病,同时,还影响人们正常的工作与生活,降低劳动生产率;特别强烈的噪声还会损坏建筑物,影响仪器设备的正常运行。


在测量工作中会遇到各种标准量,如长度、质量、时间、温度、电流等。在洁净室检测技术中,经常碰到的被测量有风速、风量、温度、压力、湿度、噪声、洁净度等。

检测技术在科学研究和工程运用中有非常重要的地位,任何工作都需要通过检测才能确定工作的质量和数量,因此专门从事检测工作的人员需要熟练掌握检测技术。从事洁净室建造的人员也需要掌握一些 检测技术的基础知识和基本原则。洁净室检测技术的应用范围广,包括建造洁净室原材料的检测、洁净室用仪器设备的检测、洁净室建成后调试的检测、洁净室竣工验收的检测、洁净室运行过程中的检测。检测工作贯穿洁净室筹备、建造、应用的全过程。


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浮游菌

至少采样点数目对应悬浮粒子采样点数,工作区测点位置离地0.8-1.2m左右,送风口测点位置离开送风面30cm左右,关键设备或关键工作活动范围处可增加测点,每个采样点一般采样一次。

全部采样结束后,将培养皿放于恒温培养箱中培养,时间不少于48小时,每批培养基应该有对照实验,检验培养基是否污染。


沉降菌

工作区测点位置离地0.8-1.2m左右,将已制备好的培养皿置于采样点,打开培养皿盖,使其暴露规定的时间,再将培养皿盖上,将培养皿放于恒温培养箱中培养,时间不少于48小时,每批培养基应该有对照实验,检验培养基是否污染。


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空气净化方法

1 、整体净化:可分为层流型和湍流型。层流是指空气由一侧地以同速流向另一侧,使室内产生的尘粒或细菌不会向四周扩散而被平推出室外,而达到好的除菌效果。

⑴高效过滤除菌技术:空气洁净主要靠高效或超高效过滤设备,向特定的环境内输送洁净空气并能保持空气的洁净度。过滤洁净原理:①网截阻留;②筛孔阻留;③静电吸引阻留;④惯性碰撞和布朗运动阻留。因此,过滤洁净技术是一种综合作用的结果。

⑵滤材结构:生物洁净室所用滤材级别多数为高效或超高效滤材,所用滤材有:玻璃棉制滤材、高级纸浆制滤材、石棉纤维滤材、过氯乙烯纤维滤材等。高效滤材对空气中 0.5 μ m 的颗粒的阻留率能达到 90%~99% ,超高效滤材可阻留 0.3 μ m 的颗粒 99.9% 以上。 湖南洁净室检测诚信推荐

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