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工业洁净室的发展

工业洁净室(ICR, Idutra Clem Rom)以空气中的悬浮颗粒物为主要控制对家,主要为精密机械和电子产品等行业提供符合要求的生产环境。

与其他高科技一样, 洁净技术的诞生及起初应用是服务于目的的。第二次世界大战中一些炮、 战车、飞机等使用的仪器合格率低或经常发生故障。研制者认识到,仪器生产与装配环境空气中的悬浮颗粒物是罪魁祸首,于是工业洁净室诞生了。起初的工业洁净室是比较简陋的,随着原子武器研究和生化武器研究的发展,在20世纪40年代初高效空气过滤器研制成功并得到应用,20世纪60年代初又出现了“单向流”洁净室,这些设备与技术的诞生成为洁净技术发展的里程碑,奠定了现代洁净技术的基础。

微电子行业是现代工业洁净室应用的表现。主要产品是大规模集成电路和平板显示器。半个多世纪以来,集成电路得到迅猛发展。 蔚亚科技检测技术严格按照国家标准及行业标准严格执行。北京实验室环境检测诚信推荐

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洁净室压差的基本概念及检测意义

洁净室的压差就是洁净室与周围空间必须维持的静压差,必要的压差是控制漏气方向的手段,是正常工作的基本条件。微电子行业的洁净室为了保证洁净度,不允许低洁净度的空气向高洁净度区域泄漏;菌落实验室或传染病房,不允许室内空气向室外泄漏。

为了控制区域之间的漏气方向,对于区域之间的气压差有较严格的要求。一般要求洁净室内的气压高于室外,或要求高级别洁净室的气压高于低级别的洁净室,或要求室内的气压低于室外。工业洁净室和般生物洁净室都采用维持正压。对于使用有毒、有害气体或使用易燃易爆溶剂或有高粉尘操作的洁净室,生物洁净室以及其他有特殊要求的生物洁净室需要维持负压。所以,测定宿净室的气压差很重要。

压差检测的目的是测定洁净室的静压差,它可以是正压或负压,以防止洁净室内(外)气流间被污染。当不同空气洁净度等级或产品生产I艺性质不同的房间之间按规定维持一定的静压差时,相邻洁净室之间如果静压差过大或因建造原因带来的缝隙,将会造成空气泄漏,严重时会使洁净室内的气流紊乱,所以洁净室之间的静压差范围一般为5~20Pa, 并应采取可行的技术措施控制洁净室之间的静压差。



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粒子计数法

粒子计数法在欧洲通用,美国超高效过滤器检测方法也与之类似,这是目前国际上的主流检测方法。尘源为多分散相液滴,或确定粒径的固体粉尘。有时,过滤器厂商要按照用户的特殊要求,使用大气粉尘或其他特定粉尘。若检测中使用的是凝结核计数器,就必须使用粒径已知的单分散相检测尘源。主要检测仪器为大流量激光粒子计数器或凝结核计数器(CNC)。用计数器对过滤器的整个出风面进行扫描检测,计数器给出每点的粉尘个数,还可以比较各点的局部效率。

通过测量特定光路下气溶胶引起的散射光强就能达到检测气溶胶浓度的目的。与粒子计数器不同,气溶胶光度计并不是根据颗粒引起的光学脉冲数量计算颗粒的数量,而是根据气溶胶的光散射强度来直接计算气溶胶浓度。因此,气溶胶光度计可以直接检测气溶胶浓度较大的环境,而尘埃粒子计数器在检测该环境时则需要串联稀释器对粒子计数器进行保护。由于在气溶胶浓度很低的空气中气溶胶光度计的相对误差会增加,因此在进行高效过滤器泄漏检测时,光度计法适用于较高的气溶胶浓度环境。蔚亚第三方检测测试范围较广。

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照度的检测意义

人眼对外界环境明亮差异的感觉,取决于外界景物的亮度。要规定适当的亮度水平就显得相当复杂,因为它涉及各种物体不同的反射特性,所以实践中以照度水平作为照明的数量指标。洁净室内的生产操作和设备都十分精细,不合理的照度将会影响工作效率、产品成品率。因产品与工艺的精细要求,多数洁净室对照度有较高要求,且并非照度越高越好,应符合视觉功效、降低视觉疲劳、提高劳动生产率的要求。洁净室照度检测即洁净室内照明水平和均匀性检测,其目的是验证安装灯具的照明水平和照明状况,即工作面上比较低照度值和照度均匀度是否符合被测对象的照度控制标准的要求。没有控制标准时,应符合《洁净厂房设计规范》(GB 50073- 2013) 规定。

(1)洁净室内照明一-般宜用高效荧光等,如有工艺特殊要求或者照明达不到要求可采用其他形式光源。

(2)洁净室内一般照明灯具采用吸顶明装;如灯具嵌人吊顶暗装时,安装缝隙必须有可靠的密封措施,宜采用**灯具。

(3)无室外采光洁净室生产用房一般 照明的照度值宜为200 ~ 500lx;辅助用房、人员净化和物料净化用室、气闸室、走廊等照明的照度值宜为150 -300 lx。 蔚亚科技检测净化设备。安徽实验室检测

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温湿度

洁净室或洁净设施温、湿度测定,通常分为两个档次:一般测试和综合测试。较早档次适用于处于空态的交竣验收测试,第二个档次适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于对温度、湿度性能要求比较严格的场合。

本检测在气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行。进行这项检测时,空调系统已经充分运转,各项状况已经稳定。每个湿度控制区至少设置一个湿度传感器,并且给传感器充分的稳定时间。所做测量应适合实际使用的目的,待传感器稳定之后才开始测量,测量时间不少于5分钟。 北京实验室环境检测诚信推荐

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