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洁净室压差的基本概念及检测意义

洁净室的压差就是洁净室与周围空间必须维持的静压差,必要的压差是控制漏气方向的手段,是正常工作的基本条件。微电子行业的洁净室为了保证洁净度,不允许低洁净度的空气向高洁净度区域泄漏;菌落实验室或传染病房,不允许室内空气向室外泄漏。

为了控制区域之间的漏气方向,对于区域之间的气压差有较严格的要求。一般要求洁净室内的气压高于室外,或要求高级别洁净室的气压高于低级别的洁净室,或要求室内的气压低于室外。工业洁净室和般生物洁净室都采用维持正压。对于使用有毒、有害气体或使用易燃易爆溶剂或有高粉尘操作的洁净室,生物洁净室以及其他有特殊要求的生物洁净室需要维持负压。所以,测定宿净室的气压差很重要。

压差检测的目的是测定洁净室的静压差,它可以是正压或负压,以防止洁净室内(外)气流间被污染。当不同空气洁净度等级或产品生产I艺性质不同的房间之间按规定维持一定的静压差时,相邻洁净室之间如果静压差过大或因建造原因带来的缝隙,将会造成空气泄漏,严重时会使洁净室内的气流紊乱,所以洁净室之间的静压差范围一般为5~20Pa, 并应采取可行的技术措施控制洁净室之间的静压差。



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洁净室压差检测要求

静压差的测定要求在洁净区内所有的门全部关闭的情况下进行。测洁净区与室外时,注意刮风和朝向的影响。在洁净室平面应从洁净度由高到低的顺序依次进行,一直检测到直通室外的房间。测压管周围要尽量密封。测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可,测管口面与气流流线平行。《洁净厂房设计规范》(GB 50073- 2013) 要求气压差的检测门应全部关闭;检测仪器灵敏度应小于1Pa。《电子工业洁净厂房设计规范》(CB 50472- -2008)要求检测静压差的时候应该关闭全部门窗;检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa;应由里向外按顺序检测。

在进行洁净室压差检测之前高效过滤器检漏和风量检测已结束,洁净室或洁净设施正常工作,应该关闭的门窗全部关闭的条件下,先检测送风量、回风量、排风量是否与规定风量相符,调整新风和回风的比例。在此前提下,再用仪器逐一检测封闭的各洁净室之间、洁净室和周围附属环境之间、洁净室走廊之间、周围附属环境与外部环境间的压差。如果洁净设施中包括多个洁净室,则应从里面的房间,通常也是洁净级别比较高的房间与其紧邻的房间之间压差测起,如此继续下去,直至测得**靠外的洁净室与周围附属环境之间、与室外环境之间的压差。


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高效过滤器在检漏前,应检测上游气溶胶浓度是否达到要求。市场上常见的光度计在进行高效过滤器检漏时,上游气溶胶的质量浓度需要能够达到20 .80 μg/L为了保证下游数据不受环境影响,高效过滤器下游出口应设置临时的围挡或软帘。过滤器下游出风面在可以逐点扫描的情况下,能够测得高效过滤器任何位置包括边框的泄漏率,少量生产设备的高效过滤器位于设备内部无法进行逐点扫描,此时只能在设备出风口检测过滤器的整体泄漏率。

在下游扫描时,扫描速度应在5~8 m/s。


依据美国联邦颁布的标准,可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸为0.5m,例如,1级、10级、100级无尘室比较大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗。并且通过FS209E标准划分,每立方英尺里面允许含有较多的0.5微米尘埃粒子的数量就是洁净室的等级,比如每立方英尺允许含有较多1000个0.5微米的例子,那么这个洁净室就是千级,如果是10000个粒子就是万级,总共是从一级,十级,百级,千级,万级到百万级;工业无尘室主要控制无生命微粒对工作对象的污染,其内部一般保持正压,它适用于精密工业、电子工业、航天工业、化学工业、印刷工业等部门。工业无尘车间只要控制参数是温度、湿度、风速、流场、洁净度。风量及换气次数检测、进风口风速检测——蔚亚科技。

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如何维持良好的压差稳定性

1、定期更换新风滤网,以减少新风滤网堵塞造成的压差降低。

2、定期更换初效、中效过滤器,以减少送风量的波动带来的压差混乱。

3、不要频繁地开门、关门,以免自控系统反复调节出现失灵和压差紊乱。

4、减少每次开、关门时间,以免出现风量泄漏、压差降低超过系统的调节围。

5、关门必须关严,否则漏风量过大,会造成压差混乱。

6、使用自动门,可以设定开门时间、保持时间、关门时间,保证压差不受到很大的波动影响。

7、定期检查每一个门的密封性。

8、定期检查现场的压差装置及显示数据。

9、随时监控在线压差显示系统的数据,随时了解现场发生的状况,并及时提醒操作人员注意压差的稳定保持。 蔚亚科技拥有强大的专业检测人员队伍,齐全的专业检测设备。广东电子厂房环境检测技术好

在洁净室内,从送风口到回风口,气流流经途中的断面几乎没有什么变化。湖北口罩生产车间环境检测方便客户

沉降菌测定法:

沉降菌指落在地面或物体表面的灰尘中携带的细菌。在无菌操作台开启的状态下,取内径90毫米的无菌培养皿若干,无菌操作分别注入融化并冷却至45℃的营养琼脂培养基越15毫升,倒置于30~35℃培养箱培养48小时,证明无菌后备用。

将已铺有营养琼脂培养基的培养皿放在指定区域距地面约1米的规定处(一般每10平方米放置一个平皿),在空气中暴露30分钟,采集沉降菌,盖好平皿盖儿,置30-35℃培养箱内培养48小时,取出计数,车间内应为操作状态。检测沉降菌数量,每碟小于或等于10个,便能达到10万级净化车间标准。

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