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高效过滤器在检漏前,应检测上游气溶胶浓度是否达到要求。市场上常见的光度计在进行高效过滤器检漏时,上游气溶胶的质量浓度需要能够达到20 .80 μg/L为了保证下游数据不受环境影响,高效过滤器下游出口应设置临时的围挡或软帘。过滤器下游出风面在可以逐点扫描的情况下,能够测得高效过滤器任何位置包括边框的泄漏率,少量生产设备的高效过滤器位于设备内部无法进行逐点扫描,此时只能在设备出风口检测过滤器的整体泄漏率。

在下游扫描时,扫描速度应在5~8 m/s。


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高效、超高效过滤器效率检测方法

(1)钠焰法。用雾化干燥的方法人工发生氯化的气溶胶气溶胶颗粒的中值粒径约为0.5 um将过逮器上下游的氯化钠气溶胶采集到燃烧器中并在氧气火焰中燃烧,将燃烧产生的纳焰光度(波长为589 mm的特征光)转变为电信号,并由光电测量仪器检测,电流值了氯化钠气溶胶的质量浓度,用测定的电流值即可求出过滤器的过滤效率。

(2)油雾法。尘源为油雾。用浊度计测量受试过速器前后的油雾浊度差来判断过滤器对油雾的过滤效率。

(3) DOP法。试验用尘源为0.3 um单分散相,以邻苯二甲酸二辛酯(DOP, di -0-ty- phthalate)液滴为气溶胶粒子来测量高效过滤器的效率。所用仪器为光度计或浊度计,测量的值是受试过滤器前后的浊度差,并由此确定过滤器对0. 3 μm粒径粉尘的过滤效率。

(4) MPPS效率。MPPS是Most Penetrable Particulate Size的缩写,可译为“**易穿透粒径”或“比较大穿透粒径”。 广东洁净室检测上海蔚亚科技保证洁净室及相关环境达到受控标准。

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在进行清净室压差检测之前高效过速器检顢和风量检测已结束,洁净室波洁净设施正常工作,应该关闭的门窗全部关团的条件下,先检测送风量、回风量、排风量是否与规定风量相符,调整新风和回风的比例。在此前提下,再用仪器逐一检测封闭的各洁净室之间、洁净室和周围附属环境之间、洁净室走廊之间、周围附属环境与外部环境间的压差。如果洁净设施中包括多个洁净室,则应从里面的房间,通常也是洁净级别比较高的房间与其紧邻的房间之间压差测起,如此继续下去,直至测得**靠外的洁净室与周围附属环境之间、与室外环境之间的压差。

温湿度

洁净室或洁净设施温、湿度测定,通常分为两个档次:一般测试和综合测试。较早档次适用于处于空态的交竣验收测试,第二个档次适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于对温度、湿度性能要求比较严格的场合。

本检测在气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行。进行这项检测时,空调系统已经充分运转,各项状况已经稳定。每个湿度控制区至少设置一个湿度传感器,并且给传感器充分的稳定时间。所做测量应适合实际使用的目的,待传感器稳定之后才开始测量,测量时间不少于5分钟。 其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

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热球风速仪。热球风速仪也是基于散热与风速有关的原理制成的,分测头和指示仪表两部分。测头由电热线圈(或电热丝)和热电偶组成。当电热线圈通以额定电流时,它的温度升高,加热了玻璃球,因玻璃球体积很小,球体的温度可以认为与电热线圈的温度相同,通过电流时热电偶便产生热电势,指示仪表则指示出相应的热电势的大小。玻璃球的温度升降、热电势相应的大小与气流流速有关,气流流速大,球体散热快,温升越小;反之,气流流速小,球体散热慢,温升越大,热电势也就越大。按此原理,指示仪表可直接显示出风速。蔚亚科技提供科学、公正、具有法律效力的检测数据和报告。浙江实验室环境检测方便客户

动态:处于正常使用的洁净室,服务功能完善,有设备和人员。北京电子厂房环境检测技术好

工业洁净室的发展

工业洁净室(ICR, Idutra Clem Rom)以空气中的悬浮颗粒物为主要控制对家,主要为精密机械和电子产品等行业提供符合要求的生产环境。

与其他高科技一样, 洁净技术的诞生及起初应用是服务于目的的。第二次世界大战中一些炮、 战车、飞机等使用的仪器合格率低或经常发生故障。研制者认识到,仪器生产与装配环境空气中的悬浮颗粒物是罪魁祸首,于是工业洁净室诞生了。起初的工业洁净室是比较简陋的,随着原子武器研究和生化武器研究的发展,在20世纪40年代初高效空气过滤器研制成功并得到应用,20世纪60年代初又出现了“单向流”洁净室,这些设备与技术的诞生成为洁净技术发展的里程碑,奠定了现代洁净技术的基础。

微电子行业是现代工业洁净室应用的表现。主要产品是大规模集成电路和平板显示器。半个多世纪以来,集成电路得到迅猛发展。 北京电子厂房环境检测技术好

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