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5.2.1洁净厂房的工艺布置应按产品生产工艺流程、洁净室的气流流型、工艺设备的安装和维修、物料运输等要求确定。在单向流洁净室内进行生产工艺设备、操作程序、人员流动路线和物料传输布置时,应采取避免发生气流干扰和交叉污染的措施。5.2.2工艺布局应避免人流和物流之间的混杂和交叉,宜分别设置人员人口、物料入口和设备出入口,并应在各自的人口处设置相应的净化设施。5.2.3在满足生产工艺和微振控制、噪声控制等要求的前提下，空气洁净度严格的洁净室(区)宜靠近空调机房布置;空气洁净度等级相同的工序或工作室宜集中布置。设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的状态运行，但无生产人员。上海半导体净化车间无尘室检测服务至上

应检查产品合格证、出厂检验报告，其中应有效率、阻力和扫描检漏的实测数据，不得以过滤器所属类别定义数据代替。2应进行外观检查，内容应包括有无损坏;各种尺寸是否符合设计要求;框架有无毛刺和锈斑(金属框);带风机的风机安装是否可靠，转动是否正常;带装饰网或阻漏层的，装饰网或阻漏层是否完好、绷紧。应检查产品合格证、出厂检验报告，其中应有效率、阻力和扫描检漏的实测数据，不得以过滤器所属类别定义数据代替。2应进行外观检查，内容应包括有无损坏;各种尺寸是否符合设计要求;框架有无毛刺和锈斑(金属框);带风机的风机安装是否可靠，转动是否正常;带装饰网或阻漏层的，装饰网或阻漏层是否完好、绷紧。噪音无尘室检测范围洁净厂房中以垂直构件分隔构成的廊道,用于安装辅助设备和公用动力设施以及管线等。

6.3.1洁净厂房的建筑围护结构和室内装修，应选用气密性良好，且在温度和湿度变化时变形小的材料。洁净室装饰材料及其密封材料不得采用释放对电子产品品质有影响物质的材料。装修材料的燃烧性能应符合现行国家标准《建筑内部装修设计防火规范》GB50222的有关规定。装修材料的烟密度等级不应大于50，材料的烟密度等级应符合现行国家标准《建筑材料燃烧或分解的烟密度试验方法》GB/T8627的有关规定。6.3.2洁净室内墙壁和顶棚的装修应符合下列要求：1应满足使用功能的要求，且表面应平整、光滑、不起尘、避免眩光、便于清洁，并应减少凹凸面，2当采用踢脚时，踢脚不宜突出墙面。

9.2.1纯水系统的设备配置除应满足所需水量和水质的要求外，还应满足运行灵活、安全可靠、便于操作管理、运行费用低等要求。9.2.2纯水的制备、储存和输送设备,应符合电子产品生产工艺的要求,并应符合下列规定:1纯水的制备、终端处理设备的选型和制造材料的选择,应满足供水水质、终端水质的要求;2纯水储罐、输送设备的选型和制造材料的选择,应确保水质污染少、密封性好,不得有渗气现象;3纯水制备、储存、输送设备应有效地防止水质降低。洁净室(区)已处于正常生产状态,设备在指定的方式下进行,并且有人员按照规范操作。

6.2.3洁净厂房内防火分区的划分，应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定。丙类生产的电子工业洁净厂房的洁净室（区)，在关键生产设备设有火灾报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于0.01%obs/m的高灵敏度早期火灾报警探测系统后，其每个防火分区的最大允许建筑面积可按生产工艺要求确定。6.2.4洁净室的上技术夹层、下技术夹层和洁净生产层，当按其构造特点和用途作为同一防火分区时，上下技术夹层的面积可不计人防火分区的建筑面积，但应分别采取相应的消防措施。6.2.5洁净室的顶棚和墙板、技术竖井井壁的材质选择，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB50073的有关规定。沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。包括垂直单向流和水平单向流。上海半导体净化车间无尘室检测服务至上

高湿度实际上减小了洁净室表面的静电荷积累──这是人们希望的结果。上海半导体净化车间无尘室检测服务至上

12.3.1防火卷帘安装应符合下列规定：1防火卷帘洞口上端至顶棚之间应采用防火墙、不燃或难燃材料封堵。当采用不燃或难燃材料封堵时，其耐火极限应不低于防火卷帘的耐火极限。如防火卷帘采用水幕保护，其封堵材料亦应采用水幕保护。2钢质卷帘的帘板应平直，装配成卷帘后，不应存在孔洞或缝隙。3防火防烟卷帘的导轨内设置的防烟装置的材料应为不燃或难燃材料。防烟装置与帘面应均匀紧密贴合，其贴合面长度不应小于导轨长度的80%。4用于疏散通道上的防火卷帘，其两侧应安装由感烟、感温火灾探测器组成的火灾探测器组合。12.3.2防火门和防火窗的安装应符合下列规定：1安装在防火门和防火窗上的合页、插销等五金配件应是经相关检测机构检验合格的产品。2防火门的开启角度不应小于90°，并应具有在发生火灾时能迅速关闭的功能。上海半导体净化车间无尘室检测服务至上