4.1.2洁净厂房内当布置有精密设备和精密仪器仪表,若它们有防微振要求时,为解决防微振问题,在厂址选择或已建工厂内的洁净厂房场地选择过程中,需要对周围振源的振动影响作出评价,以确定该厂址或场地是否适宜建设。周围振源对精密设备、精密仪器仪表的振动影响,是若干单个振源振动的叠加结果。这种叠加,目前还没有系统的参考数据及实用的计算方法。因此,应立足于实测。过去有的工厂,由于建厂前没有对周围各类振源的振动影响进行实测,建成后发现对精密设备、精密仪器仪表影响很大,有的甚至难以工作,给生产、试验带来很大困难,这说明实测振源振动影响是非常必要的。减少涡流,避免把工作区以外的污染物带入工作区。上海手术室洁净室检测范围

10.3.1洁净厂房内的干燥压缩空气系统应根据各类产品生产工艺要求、供气量和供气品质等因素确定,并应符合下列规定:1供气规模应按产品生产所需供气量和计入必要损耗量确定,并应设有一定的备用供气量;2供气品质应根据生产工艺对含水量、含油量、微粒粒径及其浓度等要求确定;3供气系统可集中设置在洁净厂房内的供气站或洁净厂房外的综合动力站;4应选用能耗少、噪声低的设备,宜选用无油润滑空气压缩机,5含水量要求严格时,宜选用加热再生吸附干燥装置。上海半导体净化车间洁净室检测标准有足够的风量,既为了稀释空气的含尘浓度,又保证有稳定的气流流型。

7.1.1洁净厂房内各洁净室(区)的空气洁净度等级,应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定。7.1.2气流流型应根据各洁净室(区)空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用。7.1.3有下列情况之一者,净化空调系统宜分开设置:1运行班次或使用时间不同;2生产过程中散发的物质对其他工序、设备交叉污染,对产品质量或操作人员健康、安全有影响;3对温、湿度控制要求差别大;4洁净室(区)内工艺设备发热相差悬殊;5净化空调系统与一般空调系统,6系统风量过大的净化空调系统。
9.2.1洁净室的照明一般要求照度高,但灯具安装的数量受到送风风口数量和位置等条件的限制,这就要求在达到同一照度值情况下,安装灯具的个数极少。荧光灯的发光效率一般是白炽灯的3倍~4倍,而且发热量小,有利于空调节能。此外,洁净室天然采光少,在选用光源时还需考虑它的光谱分布尽量接近于天然光,荧光灯基本能满足这一要求。因此,目前国内外洁净室一般均采用荧光灯作为照明光源。当有些洁净室层高较高,采用一般荧光灯照明很难达到设计照度值,在此情况下,可采用其他光色好、光效更高的光源。由于某些生产工艺对光源光色有特殊要求,或荧光灯对生产工艺和测试设备有干扰时,也可采用其他形式光源。可燃气体管道、氧气管道的末端或极高点均应设置放散管。

D.3.10自净时间检测,应符合下列规定:1自净时间的检测,宜用于非单向流洁净室。2自净时间的检测,宜采用大气尘或烟雾发生器等人工尘源为基准,并宜以粒子计数器进行检测,同时应符合下列要求.1)以大气尘为基准时,则必须将洁净室停止运行相当时间,在室内含尘浓度已接近于大气浓度时,测出洁净室内靠近回风口处的含尘浓度(N。)。然后开机,定时读数(一般可设置每间隔6s读数一次),直到回风口处的含尘浓度回复到原来的稳定状态,记录下所需的时间(t)。2)以人工尘源为基准时,应将烟雾发生器放置在离地面1.8m以上室中心,发烟1~2min后停止,等待1min,测出洁净室内靠近回风口处的含尘浓度(N。)。然后开机,方法同上。3由初始浓度(No)、室内达到稳定的浓度(N)、实际换气次数(n),可得到计算自净时间(to),与实测自净时间(t)进行对比,如果t≤12to,为合格。4自净时间检测方法除上述方法外,还有微粒浓度变化率评估法等。自净时间检测方法应洽商确定。洁净室(区)内工业管道不应穿越无关的房间。北京噪音洁净室检测报告
正压洁净室联锁程序应先启动送风机,再启动回风机和排风机。上海手术室洁净室检测范围
7.4.2风机过滤器机组的设置应符合下列要求:1应根据空气洁净度等级和送风量选用;2应按洁净室(区)内生产工艺对气流流型的要求布置,3终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的规定;4送风量应能调节;5应便于安装、维修及过滤器更换。满布或布置率较高时,外壳强度应满足检修要求。7.4.3层流罩的设置应符合下列要求:1洁净室(区)内等于或严于5级的局部净化区域宜采用层流罩;2层流罩的形式和进风方式应根据生产工艺或设备需要选用;3终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的规定;4安装方式不应影响生产操作。上海手术室洁净室检测范围
洁净室检测新技术与智能化发展趋势随着物联网(IoT)和人工智能(AI)技术的发展,洁净室检测正从周期性离线检测向实时在线监控转型。智能传感器(如集成温湿度、粒子浓度、压差的多参数变送器)通过工业以太网实时上传数据至**监控系统(SCADA),实现洁净室环境参数的24/7动态可视化;机器视觉技术用于高效过滤器泄漏的自动扫描,结合深度学习算法识别微小泄漏点,检测效率比人工提升3倍以上;无人机搭载微型检测设备,可进入无人值守洁净室进行高空区域(如吊顶夹层)的粒子和微生物检测,解决传统人工检测的盲区问题。此外,基于数字孪生(DigitalTwin)技术的洁净室仿真系统,能够通过历史检测数据模拟不同工况...