5.2.2人员进出、材料出入、产品运送及设备、工具搬运的频繁交错,不但会彼此干扰、易发生混杂、降低生产效率,并可能会使洁净室(区)的空气洁净度受到影响和气流受到破坏。因此,在工艺布局时,应充分考虑人员、物料设备,有各自的出入口。人员入口处的净化设施包括单人吹淋室、多人吹淋室、通道式吹淋室、气闸室等,具体选用何种形式,需根据洁净室(区)的空气洁净度等级、人员数量、未来发展需求等确定。物料净化设施包括货物吹淋室、气闸室、压缩空气吹扫头等,一般可根据物料种类、包装方式和洁净室(区)的空气洁净度等级等确定。充分利用回风量;选择低阻力高效率的空调和净化设备和可变风量的风机等入手。北京手术室洁净室检测范围

9.4.2净化空调系统的空气过滤器随运行时间的增加,阻力逐渐增大,为保持送风风量,经常手动调节系统中的风阀,以增加风量,调整很麻烦;在空气调节系统调试中,系统启动时为使风机空载启动,首先将风机出口处风阀关闭,风机启动后,由于风阀上承受压力很大,打开十分困难。当采用空气过滤器前后压力差的变化控制送风机的变频调速装置后,送风量的调节变得十分容易,送风压力稳定。同时洁净室净化空调系统的送风机采用变频调速后节能十分***。9.4.3为避免净化空调系统因风机停转无风或超温时,电加热器继续送电加热会造成设备损坏甚至发生火灾,本条强制性规定应设置无风、超温断电等保护装置。安徽过滤器洁净室检测方法洁净室可以是单向流和非单向流组合在一起的混合流型,以在局部区域(单向流部分)实现高级别的洁净室。

15.1.1洁净厂房的微振控制设施的设计应分阶段进行,应包括设计、施工和投产等各阶段的微振动测试、厂房建筑结构微振控制设计、动力设备隔振设计和精密仪器设备隔振设计等。15.1.2设计有微振控制要求的洁净厂房时,应符合下列规定:1总平面布置时,应核实相邻厂房、建筑物或构筑物对精密设备、仪器的振动影响;2设有精密设备、仪器的洁净厂房,其建筑基础构造、结构选型、隔振缝的设置、洁净室装修等应按微振控制要求设计;3对设有精密设备、仪器的洁净室(区)有振动影响的动力设备及其管道,应采取主动隔振措施;4洁净室(区)内精密设备、仪器,经测试确认受到周围振动影响时,应采取被动隔振措施。
C.1.3已装过滤系统其过滤器检漏C.1.3.1**的检测项目,对安装的过滤器进行检漏。C.1.3.2调试过程中承建商的检测已获得业主认可,在紧接着的洁净度项目检测过程中,可进行抽检或免检。C.1.3.3有条件时,宜将过滤系统安装调试过程的检漏与检测项目中**的过滤系统检漏合并;过滤系统检漏费时、费人力,整个洁净室建造过程中只给出一定的作业时间周期。C.1.4检漏方法检漏方法通常有“气溶胶光度计法”和“离散粒子计数器(DPC)法”。气溶胶光度计是测量空气中悬浮粒子的质量浓度,而离散粒子计数器是测量空气中悬浮粒子的数量和粒径,2种方法获得的结果不能进行直接比较。在生产工艺平面区划时尽可能把相同级别的洁净房间布置在一起。

1近年来,在大规模集成电路生产(前工序)用洁净厂房、TFT-LCD生产用洁净厂房的建造、设计中,基本上采用多层的布置方式,在洁净生产层吊顶格栅以上的上技术夹层常常作为送风静压箱,洁净空气通过FFU向洁净生产层送风,实际上,洁净生产层与上技术夹层是相通的;而洁净生产层的下部是活动地板及其支撑件和钢筋混凝土多孔板,在活动地板等以下是作为回风静压箱的下技术夹层,在下技术夹层常常还设置一些公用动力设备、辅助生产设备和公用动力管线等,洁净生产层的回风通过活动地板、多孔板回至下技术夹层,实际上,下技术夹层与洁净生产层是相通的,所以可以认为:电子工厂洁净厂房垂直单向流洁净室的空间包括活动地板以下的下技术夹层,洁净生产层和吊顶以上的上技术夹层。非单向流洁净室有几个共同的特点:终端过滤器(高效或亚高效)尽量接近洁净室。江苏国内洁净室检测规范性强
不同等级的洁净室、洁净室与非洁净室或洁净室与室外之间均应保持一定的正压值。北京手术室洁净室检测范围
D.3.10自净时间检测,应符合下列规定:1自净时间的检测,宜用于非单向流洁净室。2自净时间的检测,宜采用大气尘或烟雾发生器等人工尘源为基准,并宜以粒子计数器进行检测,同时应符合下列要求.1)以大气尘为基准时,则必须将洁净室停止运行相当时间,在室内含尘浓度已接近于大气浓度时,测出洁净室内靠近回风口处的含尘浓度(N。)。然后开机,定时读数(一般可设置每间隔6s读数一次),直到回风口处的含尘浓度回复到原来的稳定状态,记录下所需的时间(t)。2)以人工尘源为基准时,应将烟雾发生器放置在离地面1.8m以上室中心,发烟1~2min后停止,等待1min,测出洁净室内靠近回风口处的含尘浓度(N。)。然后开机,方法同上。3由初始浓度(No)、室内达到稳定的浓度(N)、实际换气次数(n),可得到计算自净时间(to),与实测自净时间(t)进行对比,如果t≤12to,为合格。4自净时间检测方法除上述方法外,还有微粒浓度变化率评估法等。自净时间检测方法应洽商确定。北京手术室洁净室检测范围
无尘室的密封性能检测是保证无尘室压差控制和防止外界污染的重要环节。检测人员通过检查门窗、墙体、天花板、地板等部位的密封情况,判断是否存在漏风现象。可以使用烟雾法或压差法进行检测,烟雾法通过观察烟雾在密封部位的流动情况来判断是否漏风,压差法则通过测量压差的变化来评估密封性能。如果发现无尘室存在密封不严的问题,需要及时进行修补,如更换密封胶条、修补墙体裂缝等。良好的密封性能是维持无尘室压差和洁净度的基础,只有确保无尘室的密封性良好,才能有效地防止外界污染物进入,保证无尘室环境的稳定。高效空气过滤器(HEPA)的检漏工作,是保障洁净室空气品质的重要防线,需定期采用扫描法进行细致排查。上海温湿度洁净室...