北京尘埃粒子无尘室检测标准

16.4.22臭氧浓度的检验应符合下列规定：在风系统内或室内安有可产生臭氧的装置时，除装置本身产生的臭氧应符合现行的相关产品标准规定外，还应在系统和该装置正常运转条件下，检测室内臭氧浓度。应按附录E检验，结果应符合设计要求。当设计无明确要求时，应符合现行国家标准《室内空气质量标准》GB/T18883不大于0.16mg/m3的规定。16.4.23二氧化碳浓度的检测应符合下列规定：当对新风效果作细致确认时，可在风系统正常运行、室内处于动态条件下，于每一班次结束之前检测室内二氧化碳浓度，按附录E检验，结果应符合设计要求。当设计无明确要求时，应符合现行国家标准《空内空气质量标准》GB/T18883不大于0.10％的规定。16.4.24当需要测定分子态污染物浓度时，可按附录H的方法或按建设方与检验方商定的方法检测，结果应符合设计要求或双方商定的标准。人员在进人洁净室(区)之前按一定程序进行净化的房间。北京尘埃粒子无尘室检测标准

10.1.1洁净厂房内应根据生产的需求使用各种不同类型的特种气体、常用气体、干燥压缩空气，其气体品质应满足生产工艺要求。10.1.2常用气体的供气方式和供气系统，应根据气体用量、气体品质和当地的供气状况等因素，经技术经济比较后确定。10.1.3洁净厂房常用气体、特种气体的制备、储存、分配系统，除应符合本规范外，还应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016、《氢气站设计规范》GB50177和《氧气站设计规范》GB50030等的有关规定。10.1.4洁净厂房内的气体管道的干管，应敷设在技术夹层或技术夹道内。当与水、电管线共架时，比空气重的气体管道宜设在水、电管线下部，比空气轻的气体管道宜设在水、电管线上部。上海尘埃粒子无尘室检测服务至上单向流和非单向流组合的气流。

无尘室净化关键功效取决于的操纵商品(如硅集成ic等)所触碰之空气的洁净度等级日及温度湿度，使商品能在一个优良之自然环境室内空间中生产制造、生产制造，此室内空间大家称作洁净净化室。无尘室架构一般可分成三种：不锈钢板铝方通、喷漆铁铝方通及其铝合金型材，顶端及能用不锈钢板、喷漆冷塑钢扣板、抗静电网格图帘及亚克力有机玻璃板等原材料。周边一般全是选用抗静电网格图帘或者有机玻璃板，排风部用均选用FFU的清洁排风模块。

1一级防静电工作区的地面、墙面和柱面应采用导静电型。导静电型地面、墙面、柱面的表面电阻、对地电阻应为2.5X10↵~1X10°2,摩擦起电电压不应大于100V,静电半衰期不应大于0.1s;2二级防静电工作区的地面、墙面、柱面、顶棚、门和软帘应采用静电耗散型。静电耗散型地面、墙面、柱面和顶棚、门的表面电阻、对地电阻应为1X10°~1X109Ω,摩擦起电电压不应大于200V,静电半衰期不应大于1s,但软帘的摩擦起电电压不应大于300V;3三级防静电工作区的地面、墙面和柱面宜根据生产工艺要求采用静电耗散型材料或低起电材料,顶棚、门等宜采用低起电材料。选用静电耗散型材料的地面、墙面和柱面,应符合本条第2 款的要求;选用低起电材料的地面、墙面、柱面、顶棚、门等的摩擦起电电压不应大于1000V。洁净厂房中主要以垂直构件分隔构成的井式管廊,用于安装辅助设备和公用动力设施以及管线等。

17.3.4在系统和设备的外观检查后应进行单机试运转检查，并应确认运转正常。其中风机的试运行时间不少于2h，不得反转，其滑动轴承最高温度不得超过70℃。17.3.5安装确认后应进行空态或静态条件下的运行确认，应进行带冷（热）源的系统正常联合试运转，并不应少于8h。系统中各项设备部件和自动控制环节联动运转应协调，动作正确，无异常现象。17.3.4在系统和设备的外观检查后应进行单机试运转检查，并应确认运转正常。其中风机的试运行时间不少于2h，不得反转，其滑动轴承最高温度不得超过70℃。17.3.5安装确认后应进行空态或静态条件下的运行确认，应进行带冷（热）源的系统正常联合试运转，并不应少于8h。系统中各项设备部件和自动控制环节联动运转应协调，动作正确，无异常现象。设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的状态运行，但无生产人员。上海尘埃粒子无尘室检测评估

设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状况下进行工作。北京尘埃粒子无尘室检测标准

13.3.1可拆卸式电磁屏蔽室的壁板、顶板和底板宜选用1.5mm厚钢板，或0.3mm~0.5mm厚钢板、铝板或不锈钢板。屏蔽模块板相互连接处应安装连续的导电衬垫。施工直接安在围护结构地面上的底板时，底板与地面之间应铺2mm~3mm厚的电绝缘和能隔水汽的垫层。安装过程中不得在底板上洒水。13.3.2焊接式电磁屏蔽室的壁板和顶板宜选用2mm厚钢板，底板宜选用2.5mm~3mm厚钢板。选用铜板、铝板或不锈钢板时，均宜选用0.3mm~0.5mm厚的薄板。焊接时严禁烧穿屏蔽壁板，不得使壁板变形。当在屏蔽壁板表面粘贴铁氧体等吸波材料时，必须把表面焊缝打磨平整。北京尘埃粒子无尘室检测标准