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通过测量特定光路下气溶胶引起的散射光强就能达到检测气溶胶浓度的目的。与粒子计数器不同，气溶胶光度计并不是根据颗粒引起的光学脉冲数量计算颗粒的数量，而是根据气溶胶的光散射强度来直接计算气溶胶浓度。因此，气溶胶光度计可以直接检测气溶胶浓度较大的环境，而尘埃粒子计数器在检测该环境时则需要串联稀释器对粒子计数器进行保护。由于在气溶胶浓度很低的空气中气溶胶光度计的相对误差会增加，因此在进行高效过滤器泄漏检测时，光度计法适用于较高的气溶胶浓度环境！非单向流洁净室(区)的噪声级(空态)不应大于60dB(A)，单向流和混合流洁净室(区)的噪声级不应大于65dB(A)。洁净工作台检测值得推荐

洁净区是空气悬浮粒子浓度受控的限定空间，建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子，空间内其它有关参数如温度、湿度、压力等要求进行控制。空气洁净度是指洁净环境中空气含尘微粒量多少的程度含尘浓度高则洁净度低含尘浓度低则洁净度高。空气洁净度的具体高低则是用空气洁净度级别来区分的，而这种级别又是用操作时间内空气的计数含尘浓度来表示。悬浮粒子是指用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.15μm的固体和液体粒子。洁净工作台检测值得推荐按气流组织分类，洁净室可分为三类：单向流、层流、洁净室。

《电子工业洁净厂房设计规范》(GB50472-2008)。本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室，检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时，应由里向外按顺序检测。3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1um(0.5μm)的粒子，其浓度应大于3.5x10pc/m。微粒仪距离滤器表面20~30mm处等速采样，并以5~20mm/s速度移动。4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO14644基本相同。5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度，且距吊顶、墙和地面不少于300mm。6)噪声的检测。每100m2设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m，距墙大于3m。7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度，宜距地面0.85m,每25m2设1个检测点。

《洁净厂房设计规范》GB50073-2013规定：洁净室（区）与周围的空间必须维持一定的压差，并应按工艺要求决定维持正压差或负压差。不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5Pa，洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa，洁净区与室外的压差不应小于10Pa。《医院洁净手术部建筑技术规范》GB50333-2013规定：相互连通的不同洁净度级别的洁净用房之间，洁净度高的用房应对洁净度低的用房保持相对正压。比较低静压差应大于或等于5Pa，比较大静压差应小于20Pa，不应因压差而产生哨音或影响开门。相互连通的相同洁净度级别的洁净用房之间，宜有适当压差，保持要求的气流方向。洁净车间、洁净厂房、净化车间、净化厂房、无尘室、净化工程、洁净工程、洁净手术室、层流手术室。

洁净室（CleanRoom），亦称无尘车间、无尘室或清净室。是指一个具有低污染水平的环境，这里所指的污染来源有灰尘，空气传播的微生物，悬浮颗粒，和化学挥发性气体。更准确地讲，一个净室具有一个受控的污染级别，污染级别可用每立方米的颗粒数，或者用比较大颗粒大小来厘定的。低级别的净室通常是没有经过消毒的（如没有受控的微生物），更多的是关心空气传播的灰尘。净室被应用在对环境污染特别敏感的行业，例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药、医院等行业等，其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内，才不会对制程产生影响。作为生产设施，净室可以占据厂房很多位置。洁净室(区)温度应为18~26℃，相对湿度应为45%~65%。江苏洁净室检测值得推荐

按洁净度级别划分为1级、2级、3级、4级、5级、6级、7级、8级、9级。9级为低等级别。洁净工作台检测值得推荐

洁净室风量及换气次数检测的意义洁净室的洁净度主要是靠送人足够量的洁净空气，以置换、稀释室内在生产过程中所散发的颗粒污染物来实现。同时依靠洁净室的风量平衡维持洁净室正(负)压，以避免不同级别的洁净区域之间颗粒污染物的无组织渗透。因此，洁净室或洁净设施的风量检测十分必要。洁净室利用送人洁净空气稀释室内空气污染物，或利用排风带出室内空气污染物，排风的同时，靠送风补充室内空气，形成换气。风量越大，污染物排除越快。当污染物排出速率高于产生速率时，空气中污染物浓度减少，洁净度提高;当污染物排出速率与产生速率相等时，空气中污染物浓度维持不变，洁净度不变;当污染物排出速率低于产生速率时，空气中污染物浓度增加，洁净度下降。所以，要达到一定的洁净度，就必须保证足够的送风量和排风量。但是，过大的风量会造成高效过滤器送风断面风速过高，过滤效率下降以及能源浪费等现象。风量检测的目的是判断各个风口的送风量、回风量、排风量等是否满足设计要求。换气次数的检测目的则是判断洁净室是否达到了设计要求的换气次数。风量和换气次数检测的意义是为判断是否满足设计要求提供依据。洁净工作台检测值得推荐

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