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单向流洁净室的原理和特性

   ⑴定义

   单向流洁净室是:气流以均匀的截面速度,沿着平行流线以单一方向在整个室截面上通过的洁净室。

   ⑵原理

   单向流洁净室靠送风气流“活塞”般的挤压作用,迅速把室内污染排出。

   要保证活塞作用的实现,*重要一点是高效过滤器必须满布。当然,过滤器是有边框的,顶棚也有边框,不可能*地满布过滤器。满布比来衡量过滤器的满布程度:

   正常情况下满布比达到80%。垂直单向流满布比不应小于60%,水平单向流应小于40%,否则就是局部单向流了。

   ⑶特征指标

   ①流线平行度(流线平行性)

   流线平行的作用性是保证尘源散发的尘粒不作垂直于流向的传播。要求流线之间既要平行(在0.5m距离内线间夹角不能小于15°),又要求流线尽可能垂直于送风面(其倾角*小不能小于65°)。

   ②乱流度(速度不均匀度)

   速度均匀的作用是保证流线之间质点的横向交换*小。乱流度是为了说明速度场的集中或离散程度而定义的。 洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气。湖南洁净工作台检测哪家好

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 复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。


  (1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。


  洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。


  (2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。


  (3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。


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空气过滤器的泄露1、仪器设备及环境测量仪器尘埃粒子计数器、气溶胶发生器。环境温度常温或设计温度下。2、抽样高效过滤器本体在进入现场前,生产厂家应按规定进行性能试验,并提供合格证。在单向流洁净室对安装的高效空气过滤器应该逐台进行检漏,乱流洁净室对于7级或更低级别的洁净室,只要洁净室达到了所要求的空气洁净度级别,就可以不进行检漏。3、技术要求检漏的结果要符合条件:由受检过滤器下风侧测到的漏泄浓度换算成透过率,对于高效过滤器应不大于过滤器出厂合格率的2倍,对于超高效过滤器应不大于出厂合格透过率的3倍。5、操作过程及判定过滤器的检漏是指安装完成的空气过滤器的检漏适用于空态或静态的洁净室。对于安装于送、排风末端的高效过滤器,应用扫描法进行过滤安装边框和全断面检漏,扫描法有检漏仪法光度计法和采样量**小为1L/min的粒子计数器法两种。

洁净手术部的建筑装饰应遵循不产尘、不积尘、耐腐蚀、防潮防霉、容易清洁和负荷防火要求的总原则。

洁净手术部内地面应平整,采用耐磨、防滑、耐腐蚀、易清洗、不易起尘与不开裂的材料制作。有特殊要求的,可采用有特殊性能的涂料地面。

洁净手术部内部墙面应使用不易开裂、阻燃、易清洗与耐碰撞的材料,墙面必须平整,防潮防霉,Ⅰ、Ⅱ级洁净室墙面可用整体或装配式壁板;Ⅲ、Ⅳ级洁净室墙面也可用大块瓷砖或涂料,缝隙均应抹平。

洁净手术部内墙面下部的踢脚必须与墙面齐平或凹于墙面;踢脚必须与地面成一整体;踢脚与地面交界处的阴角必须做成R≥40mm 的圆角。其他墙体交界处的阴角宜做成小圆角。

洁净手术部内墙体转角和门的竖向侧边的阳角应为圆角。通道两侧及转角处墙上应设防撞板。

室内与空气直接接触的外露材料不得使用木材和石膏。

一般空调系统对系统的气密性渗气量虽有要求。

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用风罩法测量风量①用风量罩测定各风口风速时,其相应的出风风速为Vs=As。Vs------各终端过滤器或送风散流器的平均送风风速m/s;Qs------各终端过滤器或送风散流器的送风量m3/s;As------送风口出风面积m2。②单向流-层流洁净室单向流洁净室采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量,其中垂直单向流层流洁净室的测定截面取距地面0.8m的水平截面,水平单向流层流洁净室取距送风面0.5m的垂直截面,截面上测点间距不应大于2m,测点数应不少于10个,均匀布置仪器用热球风速仪。③测定风管内风量对于风口上风侧有较长的支管段,且已经或可以打孔时,可以用风管法确定风量,测定断面距局部阻力部件距离在局部阻力部件后不少于5倍管径或5倍大边长度。对于矩形风管,将测定截面分成若干个相等的小截面,每个小截面尽可能接近正方形边长,不大于200mm测点,设于小截面中心,但整个截面上的测点数不宜少于3个。对于圆形风管,应该按等面积圆环法划分测定截面和确定测点数。具体可按综合效能普通通风空调风管法测量风量的方法进行。技术实力:全国多家自建实验室分支,检测更便捷。河北实验室检测服务至上

空气洁净度的具体高低则是用空气洁净度级别来区分的,而这种级别又是用操作时间空气的计数含尘浓度来表示。湖南洁净工作台检测哪家好

压差检测:普通洁净室不同级别逐级之间、洁净室与非洁净区之间的微压差一般为5~10Pa,某些生物洁净室为防止有害物或病毒向外扩散,其进入通路的各个房间之间的负压差需要维持-10~-30Pa。

根据国家标准GB19489-2008“实验室、生物安全通用要求”的规定:相对于大气压污染区为-40Pa,根据国家标准GB50346-2011“生物安全实验室建筑技术规范”的规定:与室外方向上相邻相通房间的负压差为-10Pa。

在各级空气过滤器处,应配置微压差计并与过滤器前后的静压引出管相连,以便随时监测气流通过空气过滤器的压力降。有些微压差计还备有可调节压差设定的报警标定值,以便超过规定压差时输出报警信号。 湖南洁净工作台检测哪家好

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