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  (三)洁净室控管之项目

  1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。

  2. 能防止微尘粒子之产生。

  3. 温度和湿度之控制。

  4. 压力之调节。

  5. 有害气体之排除。

  6. 结构物与隔间之气密性。

  7. 静电之防制。

  8. 电磁干扰预防。

  9. 安全因素之考虑。

  10. 节能之考量。

  (四)洁净室之分类

  1.乱流式

  空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。

  优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。

  缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再运行，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。

安装验证和操作验证完成并进行确认工作后即进行性能验证。河北口罩生产车间环境检测方便客户

 复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

  (1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。

  洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。

  (2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。

  (3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

安徽洁净工作台检测诚信推荐相邻不同级别洁净室之间和洁净室与非洁净室之间的静压差应不小于5Pa。

①换气次数

   换气次数的作用是保证有足够进行稀释的干净气流。

   换气次数的多少应根据计算和经验确定。

   ②气流组织

   气流组织的作用是保证能均匀地送风和回风，充分发挥干净气流的稀释作用。因此要求单个风口有足够的扩散作用，全室回风布置均匀，数量多一些好，要尽量减少涡流和气流回旋。

   ③自净时间

   自净时间是洁净室从污染状态回复到稳定状态的能力的体现，越短越好。也可以指定为从某污染状态降低到某洁净状态的时间。

③下限风速

   这是为了保证洁净室能控制以下四种污染的小风速：

   a.当污染气流多方位散布时，送风气流要能有效控制污染的范围；

   b.当污染气流与送风气流同向时，送风气流要能有效控制污染气流到达下游的扩散范围；

   c.当污染气流与送风气流逆向时，送风气流能把污染气流在必要的距离之内；

   d.在全室被污染的情况下，足以在合适的时间迅速使室内空气自净。

FFU风机过滤单元  风机过滤单元（FFU）是一种空气自净装置，可室内吊顶安装或放置在支架上，使局部级别达到百级。也可用于洁净室末端送风。该产品设有初、高效两级过滤装置。风机从顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤，过滤后的洁净空气在整个出风口送出。安装方式有悬挂式和落地支架两种。  风机从FFU顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45M/S±20%的风速匀速送出。它为不同尺寸大小，不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。在新建洁净室、洁净厂房式改造翻新中，即可提高洁净度级别，降低噪音和振动，也可降低造价，安装维护方便，是洁净环境的理想部件。运行确认是要证明厂房、设施和设备的稳定、可靠的运行并符合设计的标准。

温湿度洁净室或洁净设施温、湿度测定，通常分为两个档次：一般测试和综合测试。较早档次适用于处于空态的交竣验收测试，第二个档次适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于对温度、湿度性能要求比较严格的场合。本检测在气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行。进行这项检测时，空调系统已经充分运转，各项状况已经稳定。每个湿度控制区至少设置一个湿度传感器，并且给传感器充分的稳定时间。所做测量应适合实际使用的目的，待传感器稳定之后才开始测量，测量时间不少于5分钟。净室被习惯 地应用在对环境污染特别敏感的行业。上海实验室环境检测值得推荐

按洁净度级别划分为1级、2级、3级、4级、5级、6级、7级、8级、9级。9级为低等级别。河北口罩生产车间环境检测方便客户

洁净室正压值是指门窗全部关闭状态下，室内静压大于室外静压的数值。它是通过净化系统送风量大于回风量和排风量的方法来达到。为了保证洁净室正压值，送风、回风和排风机比较好联锁，系统开启时先启动送风机，再启动回风机和排风机；系统关闭时先关排风机，再关回风机和送风机，以防止洁净室在系统开启和关闭时受到污染。维持洁净室正压所需的风量主要根据维护结构密闭性好坏来确定。我国洁净室建设初期由于围护结构密闭性较差，要维持≥5Pa的正压就要2~6次/h送风量;目前维护结构密闭性已大为提高，维持同样的正压只要1~2次/h送风量;维持≥1OPa也只要2~3次/h送风量！河北口罩生产车间环境检测方便客户

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