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 复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。


  (1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。


  洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。


  (2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。


  (3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。


净室被习惯 地应用在对环境污染特别敏感的行业。浙江口罩生产车间环境检测哪家好

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3、照度

a)在工作台面上,沿工作台面两内侧壁中心连线设置照度测量点,测量点之间的距离不超过300mm,与侧壁距离为150mm;

b)关掉安全柜的灯,从一侧起依次在测量点进行背景照度测量。平均背景照度应在110lx±50lx;

4、下降气流流速

在工作区上方高于前窗操作口上沿100mm的水平面上确定测量点位置,多点测量穿过该平面的下降气流流速;

a)测量点等距分布,形成的正方形栅格不大于150mm×150mm,测试点**少应有3排,每排**少应有7个测量点;

b)测试区域边界与安全柜的内壁及前窗操作口的距离应为150mm。

5、流入气流流速

测量排气气流流速确定流入气流流速(适于Ⅱ级A1、A2型安全柜)

a)用热式风速仪多点测量穿过排气过滤器面的气流流速,测量点为不大于100mm×100mm的栅格点,边界点距过滤器边缘100mm,测量面与过滤器面的距离约100mm;

b)计算各测点排气流速平均值即为平均排气流速(m/s),平均排气流速乘以排气面积(m2),得到排气流量(m3/s);

c)排气流量(m3/s)除以前窗操作口面积(m2),得到平均流入气流流速(m/s); 湖北实验室检测哪家好主要工作室一般照明的照度值宜为3001x。

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空气洁净度等级1、仪器设备及环境测量仪器尘埃粒子计数器。环境温度洁净室区的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应。2、采样点的位置及数量a.测定洁净度的每次**小采样量;b.每个洁净区**少采样次数为3次,当洁净区*有一个采样点时,则在该点至少采样3次;d.对预期空气洁净度等级达到4级或更洁净的环境采样量很大可采用ISO14644-1附录F规定的顺序采样法。3、技术要求①每个采样点的平均粒子浓度Ci应小于或等于洁净度等级规定的限值;②全部采样点的平均粒子浓度N的95%置信上限值应小于或等于洁净等级规定的限值。4、操作过程及判定①仪器开机后预热至稳定后,方可按照使用说明书的规定对仪器进行校正,自检、自校、零计数;②采样管口置采样点采样时在确认计数稳定后方可开始连续读数;③计数器采样口和仪器的工作位置应处在同一气压和温度下,以免产生测量误差;④对于单向流洁净室采样口应对着气流方向对于乱流洁净室采样口宜向上采样速度均应尽可能接近室内气流速度;⑤记录数据评价。

洁净室(Clean Room),亦称无尘车间、无尘室或清净室。洁净室的主要功能为室内污染控制,没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。洁净程度和控制污染的持续稳定性,是检验洁净室质量的标准,该标准根据区域环境、净化程度等因素,分为若干等级,常用的有国际标准和国内区域行业标准,一些净化工程公司,在通行标准之外,还设有自身执行的高于国际化通行标准的净化指标,净化能力和环境适应力远超国际品牌。按气流组织分类,洁净室可分为三类:单向流、层流、洁净室。

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洁净室要求:室内压力要求一般空调对室内压力无特殊要求,而洁净空调为了避免外界污染空气的渗入或不同生产车间不同物质的相互影响对不同洁净区的正压值均有不同的要求。在负压洁净室内尚有负压度的控制要求。洁净空调系统材料和设备的选择、加工工艺、加工安装环境、设备部件贮存环境为了避免被外界污染均有特殊的要求。这也是一般空调系统所没有的。对气密性的要求一般空调系统对系统的气密性渗气量虽有要求。但洁净空调系统的要求要比一般空调系统高得多其检测手段,各工序的标准均有严格措施及检测要求。设备及仪器方面:先进的设备和技术,可确保测试结果准确。安徽洁净室环境检测认真负责

按所需控制的空气中悬浮微粒分类,可将洁净室分为工业洁净室和生物洁净室。浙江口罩生产车间环境检测哪家好

《电子工业洁净厂房设计规范》(GB50472-2008)。本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室,检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时,应由里向外按顺序检测。3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1um(0.5μm)的粒子,其浓度应大于3.5x10pc/m。微粒仪距离滤器表面20~30mm处等速采样,并以5~20mm/s速度移动。4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO14644基本相同。5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度,且距吊顶、墙和地面不少于300mm。6)噪声的检测。每100m2设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m,距墙大于3m。7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度,宜距地面0.85m,每25m2设1个检测点。浙江口罩生产车间环境检测哪家好

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