四川集成电路派瑞林涂层加工

派瑞林涂层的真空气相沉积工艺不只和微电子集成电路制作工艺相似，而且所制备的Parylene涂层介电常数也低，还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图，进行再金属化，因此Parylene不只可用作防护材料，而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用，经Parylene涂敷过的集成电路芯片，其25um细直径连接线，连接强度可提高5-10倍。派瑞林涂层能在0.2um厚时就完全没有小孔，5um时就能耐1000V以上直流击穿电压，又是摩擦系数很低的一种自润滑材料，化学惰性和阻隔性能也好，因此在微电子机械系统中，除了作电介质材料外，还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。派瑞林涂层有机高分子奈米薄膜，属高绝缘性、膜厚一致性的耐电击薄膜。四川集成电路派瑞林涂层加工

Parylene在传感器领域中的应用，除了作绝缘介质外，更多用作派瑞林涂层，它能耐酸、碱和有机溶剂，对水汽和盐雾等恶劣环境有极好的阻隔防护能力，用极薄的涂层提供良好的防护。Parylene不只电性能，防护性能好，而且生物相溶性也好，它已通过美国FDA论证，满足美国药典生物医用材料VI类标准，被列为是一种可以在体内长期植入使用的生物医用材料。光纤光缆接头在使用中可能遇到各种不同的环境，通常使用含有硅橡胶密封圈的接头使光缆与环境相隔离，有派瑞林涂层的硅橡胶密封圈，能更好的适应各种恶劣环境，防止硅橡胶老化，延长密封圈的寿命。江苏集成电路派瑞林涂层哪家好派瑞林涂层作为一种新型的三防材料，存在环保无气味不污染环境的先天优势。

派瑞林涂层用真空气相沉积工艺制备，由活性小分子在基材表面“生长”出完全敷形的聚合物薄膜涂层，具有其他涂层难以比拟的性能优势。派瑞林涂层能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，裂缝里和内表面。派瑞林涂层的厚度可以比较准确的进行控制；1、派瑞林涂层的厚度取决于派瑞林原料的消耗量以及气体单体在沉积腔内的驻留时间；2、一般情况下，派瑞林涂层的沉积速率为0.5-5um/hour,沉积速率与沉积温度以及自由基浓度有关。殊郡纳米科技（上海）有限公司。

有些医疗器械具有需小心保护的内部电子元件（植入式或外部），由于这些电子元件体积微小，没有足够的重量进行沉降、喷涂或涂刷，一些微小的装置还会受到气隙、厚度不均等因素的不良影响，因此无法采用传统的防护涂层。派瑞林涂层以其良好的耐腐蚀、耐有机溶剂，抑菌抗氧、低阻滞性、低摩擦系数及生物相容性，在国际临床运用的生物医疗器材的表面涂层上，将逐步取代TiNi（镍钛）合金涂层而被列为首先要选择的材料。如骨钉、探针、针头、临时手术器械、导尿管、制动器及耳蜗植入器，心脏起搏器、脑电极、植入式传感器、射频治疗仪、血液分析传感器和高频手术刀等微型电子医疗器械。派瑞林涂层均匀渗入与涂布在涂装物的内部隙缝与表面。

派瑞林涂层不只有优异的介电性能、低的介质损耗和高的介电强度，同时具有优良的机械性能和耐辐射性能。派瑞林涂层如此高的介电强度主要归功于Parylene能形成连续无缺陷和无其它填充物的薄膜。派瑞林涂层具有优异的尺寸稳定性和低温性能，在几乎不改变器件尺寸的情况下提供1.5KV,2.0KV甚至更高的耐电压击穿性能。因此，Parylene可用作微机电，微马达的表面处理和绝缘体。使用高纯度的派瑞林涂层作钝化层和介质层，可以提供安全、稳定的防护。派瑞林涂层能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边、裂缝。福建parylene电子产品派瑞林涂层

派瑞林涂层可以增强对COTS装置的保形能力，而不会使成本增高很多。四川集成电路派瑞林涂层加工

硅胶是一种高活性吸附材料,在制造成各种密封圈时，密封圈形成静电效应，容易相互吸附，工人在操作的过程中不易分开，给操作带来了不便；同时，硅胶制品表面非常干涩，特别容易吸附灰尘，导致肮脏的表面。派瑞林涂层具有很好的耐有机溶剂腐蚀的性能，即便硅胶密封圈在有腐蚀性的环境中使用，也能保持其完整干润滑以及耐腐蚀的性能。派瑞林涂层在硅橡胶上的功能优势主要有以下几个方面：1、良好的干润滑特性；2、优异的疏水性能；3、优异的隔离性能；4、耐摩擦磨损、保护表面标识；5、表面光滑、不沾纤维、污垢；6、耐溶胀性良好；7、耐压缩性好；8、温度适用范围广；9、优良的内孔表面改性能力。四川集成电路派瑞林涂层加工

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