探针氧化:通常探针是由钨制成的，它如果长期不用，针尖要形起氧化，针尖如果氧化，接触电阻变大,测试时参数测不稳，为了不使它氧化，我们平时必须保护好探针卡，把它放在卡盒里，存放在氮气柜中，防止探针的加快氧化，同时测片子时，用细砂子轻轻打磨针尖并通以氮气，减缓氧化过程。针尖高低不平(若针尖高度差在30UM以上):探针卡使用一段时间后，由于探针加工及使用过程中的微小差异导致所有探针不能在同一平面上会造成。某些针尖位置高的扎不上AL层,使测试时这些针上电路不通。测试完成后，探针卡于芯片分离，如果芯片不合格，则会在其**做上标记。云南温控探针台
探针台是用于检测每片晶圆上各个芯片电信号，保证半导体产品品质的重要检测设备。下面我们来了解下利用探针台进行在片测试的一些相关问题，首先为什么需要进行在片测试？因为我们需要知道器件真正的性能，而不是封装以后的，虽然可以去嵌，但还是会引入一些误差和不确定性。因为我们需要确定哪些芯片是好的芯片来降低封装的成本并提高产量。因为有时我们需要进行自动化测试，在片进行自动化测试成本效益高而且更快。一个典型的在片测试系统，主要包括：矢量网络分析仪，线缆，探针，探针定位器，探针台，校准设备及软件，电源偏置等。云南温控探针台探针卡是自动测试仪与待测器件之间的接口。
针尖异常(开裂，折断，弯曲，破损):操作过程中，由于操作工操作不当造成.1.针尖没有装好保护盖而针尖朝下直接放到设备上.2.取卡时针尖不小心碰撞.3.用细砂子打磨针尖时用力太猛使针尖弯曲.4.上高度时Z键打到快档，承片台上升过快,而撞到针尖.5.装打点器时不小碰伤。6.调针时镊子碰伤针尖等等，都要造成针尖开裂，扎断，弯曲，破损。这种情况一般马上就能发现问题，必须把它取下来反放到显微镜下修复针尖，恢复到原来位置，如确实调不好的针，应到焊卡设备上重新换针，而一般进过修理过的探卡，使用时间会缩短且容易误测，所以对这种情况都应严格禁止发生，平时对操作人员应加强培训，取针卡时应装好保护盖，针尖不要碰到设备上，用细砂子砂针尖时应轻轻打磨，上高度时，把Z键打到慢档，缓慢上升承片台,找准接触点。
探针卡没焊好：1．探针卡针焊得不到位；2．基板上铜箔剥落，针焊接不牢固，或焊锡没有焊好而造成针虚焊；3．探针卡布线断线或短路； 背面有突起物，焊锡线头针尖磨平：1.针在使用很长时间后尖正常损耗；2.操作工用过粗的砂子；3.砂针尖时用力过猛；4.砂得时间过长；针尖如磨平，使针尖偏离压点，测试无法通过，针尖接触面大，而接触电阻大影响参数测试，所以平时如果在测片子之前，先拿上卡到显微镜下检查针尖有否磨平，如已磨平应及时换针，操作工在砂针尖时注意技能，应轻轻打磨针尖，而不致于磨平针尖。探针台把晶圆片安放在一个可移动的金属板上。
近来出现的一种选择是使用同轴射频电缆安装探针，它结合了探针台准确性和可重复性的功能以及用探针可及性的功能。这些探针的边缘类似于探针台探针夹具——接地-信号-接地（GSG）或者接地-信号（GS）——一端带有pogo-pin探针，另一端带有典型的同轴连接器。这些新型探针可以达到40 GHz，回波损耗优于10 dB。探针的针距范围在800微米到1500微米之间，这些探针通常使用的终端是3.5毫米母头或2.92毫米母头同轴连接器。与探针台一样，可以在特定的测试区域中设计一个影响小的焊盘端口，或者可以将探针放置在靠近组件的端子或微带传输线上。典型的探针卡是一个带有很多细针的印刷电路板。云南温控探针台
如果是不合格的芯片，打点器立刻对这个不合格的芯片打点。云南温控探针台
半导体生产过程中的探测，可略分为三大类：1.参数探测：提供制造期间的装置特性测量；2.晶圆探测：当制造完成要进行封装前，在一系列的晶圆上(wafer sort)测试装置功能；3.以探针台为基础的晶圆处理探测(Final Test)：在出货给顾客前，对封装完成的装置做后的测试。晶圆在通过基本的特性测试后，即进入晶圆探测阶段，此时需要用复杂的机器、视觉及软件来侦测晶圆上的每颗裸晶，精确度约在±2.0μm之间。将晶圆探针台的输入输出探针垫片(I/O pads)放在接脚和探针卡正确对应的晶圆后，探针台会将晶圆向上挪动，使其电气和连接于测试仪上的探针卡接触，以进行探测。当测试完成，则会自动将下一个待测晶圆替换到探针卡下面，如此周而复始地循环着。上海勤确科技有限公司云南温控探针台
