探针台基本参数
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探针台企业商机

半导体生产过程中的探测,可略分为三大类:1.参数探测:提供制造期间的装置特性测量;2.晶圆探测:当制造完成要进行封装前,在一系列的晶圆上(wafer sort)测试装置功能;3.以探针台为基础的晶圆处理探测(Final Test):在出货给顾客前,对封装完成的装置做后的测试。晶圆在通过基本的特性测试后,即进入晶圆探测阶段,此时需要用复杂的机器、视觉及软件来侦测晶圆上的每颗裸晶,精确度约在±2.0μm之间。将晶圆探针台的输入输出探针垫片(I/O pads)放在接脚和探针卡正确对应的晶圆后,探针台会将晶圆向上挪动,使其电气和连接于测试仪上的探针卡接触,以进行探测。当测试完成,则会自动将下一个待测晶圆替换到探针卡下面,如此周而复始地循环着。探针卡上有细小的金属探针附着,通过降低探针高度或升高芯片的高度使之和芯片上的焊盘接触。湖北测试芯片探针台服务

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实现芯片测试的途径就是探针卡。探针卡是自动测试仪与待测器件之间的接口,我们通过探针卡把测试仪和被测芯片连接起来。典型的探针卡是一个带有很多细针的印刷电路板,这些细针和待测器件进行物理和电学接触,通常我们习惯的做法是做一个与每个管芯焊盘几何形状匹配的PCB电路板,并把它连接到测试设备上。探针测试这一过程是非常精密的,要有很高的专业水平和经验才能完成。把晶圆片安放在一个可移动的金属板上。这样,在水平和垂直两个方向上,可以手动或者自动移动晶圆片,并通过探针卡实现这一部分的电子线路连接。半自动探针台服务探针台测试过程中使用的电学规格随测试的目的而有所不同。

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探针台主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台,探针台可吸附多种规格的芯片,并提供多个可调测试及探卡测试针台座,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。根据导电性,材料被分为像铜一样导电的导体,像陶瓷一样不导电的绝缘体,还有导电性介于两者间的半导体。近,“半导体”也常被用来称呼利用半导体的特性制成的集成电路。

晶圆测试基本的一点就是:晶圆测试必须能够辨别芯片的好坏,并使合格芯片继续进入下面的封装工艺。为了确保芯片功能和成品率的有效测试,封装厂商和设备制造者需要不断探索,进而找到高精度、高效率和低成本的测试方法,并运用新的组装工艺要求对晶圆片进行探测,这些要求将引起设备和工艺过程的重大变化。探针台从操作上来区分有:手动,半自动,全自动,从功能上来区分有:温控探针台,真空探针台(低温探针台),RF探针台,LCD平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针台。如果发现问题,就需要复杂的诊断过程和人工分析,才能找到问题的原因。

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某些针尖位置低的扎伤AL层,对后续封装压焊有影响,使芯片与封装后成品管脚焊接质量差,容易引起短路.某些针尖压痕太长,超出PAD范围,使PAD周围的铝线短路.所以平时我们操作时应找准接触点,把过行程设置为2~4MILS或70~100UM时,每个压点都有很清楚的针迹,然后再把过行程设置为0时,看清楚每个压点上都有轻轻的针迹,如果某些压点上没有针迹,就需要用镊子把这根针压下,如果某些压点上针迹太重,而需要有镊子把这根针往上抬一下,使针尖的高度差调在30UM以内,然后做接触检查,每根针与压点接触电阻应小于0.5欧姆,样片/样管测试是否OK,合格、失效管芯各测10遍,看重复性与稳定性。探针尖磨损和污染都会对测试结果造成极大的负面影响。江西芯片探针台

探针台可编程承片台则安装在动子之上。湖北测试芯片探针台服务

针尖异常(开裂,折断,弯曲,破损):操作过程中,由于操作工操作不当造成.1.针尖没有装好保护盖而针尖朝下直接放到设备上.2.取卡时针尖不小心碰撞.3.用细砂子打磨针尖时用力太猛使针尖弯曲.4.上高度时Z键打到快档,承片台上升过快,而撞到针尖.5.装打点器时不小碰伤。6.调针时镊子碰伤针尖等等,都要造成针尖开裂,扎断,弯曲,破损。这种情况一般马上就能发现问题,必须把它取下来反放到显微镜下修复针尖,恢复到原来位置,如确实调不好的针,应到焊卡设备上重新换针,而一般进过修理过的探卡,使用时间会缩短且容易误测,所以对这种情况都应严格禁止发生,平时对操作人员应加强培训,取针卡时应装好保护盖,针尖不要碰到设备上,用细砂子砂针尖时应轻轻打磨,上高度时,把Z键打到慢档,缓慢上升承片台,找准接触点。湖北测试芯片探针台服务

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