通常,参数测试系统将电流或电压输入被测器件(DUT),然后测量该器件对于此输入信号的响应。这些信号的路径为:从测试仪通过电缆束至测试头,再通过测试头至探针卡,然后通过探针至芯片上的焊点,到达被测器件,并后沿原路径返回测试仪器。如果获得的结果不尽如人意,问题可能是由测量仪器或软件所致,也可能是其它原因造成。通常情况下,测量仪器引进一些噪声或测量误差。而更可能导致误差的原因是系统的其它部件,其中之一可能是接触电阻,它会受探针参数的影响,如探针的材料、针尖的直径与形状、焊接的材质、触点压力、以及探针台的平整度。此外,探针尖磨损和污染也会对测试结果造成极大的负面影响。定子是基础平台,动子和定子间有一层气垫,动子浮于气垫上。甘肃芯片测试探针台服务

精细探测技术带来新优势:先进应力控制技术亦是必须的。为减少或消除造成良率下降之垫片损伤,在铜质垫片加上铝帽将能减少对易碎低K/高K介电的负面效应。以先进工艺驱动在有效区域上垫片的测试,以低冲击的探针卡,避免接触所产生阻抗问题。另一个可能损害到晶圆的来源是探针力道过猛或不平均,因此能动态控制探针强度也是很重要的;若能掌握可移转的参数及精细的移动控制,即可提升晶圆翻面时的探测精确度,使精细的Z轴定位接触控制得到协调,以提高精确度,并缩短索引的时间。山东温控探针台生产厂家探针材质、探针直径、光束长度、和尖锥长度都在决定顶端压力时起重要的作用。

针尖异常(开裂,折断,弯曲,破损):操作过程中,由于操作工操作不当造成.1.针尖没有装好保护盖而针尖朝下直接放到设备上.2.取卡时针尖不小心碰撞.3.用细砂子打磨针尖时用力太猛使针尖弯曲.4.上高度时Z键打到快档,承片台上升过快,而撞到针尖.5.装打点器时不小碰伤。6.调针时镊子碰伤针尖等等,都要造成针尖开裂,扎断,弯曲,破损。这种情况一般马上就能发现问题,必须把它取下来反放到显微镜下修复针尖,恢复到原来位置,如确实调不好的针,应到焊卡设备上重新换针,而一般进过修理过的探卡,使用时间会缩短且容易误测,所以对这种情况都应严格禁止发生,平时对操作人员应加强培训,取针卡时应装好保护盖,针尖不要碰到设备上,用细砂子砂针尖时应轻轻打磨,上高度时,把Z键打到慢档,缓慢上升承片台,找准接触点。
探针台的使用:1、将样品载入真空卡盘,开启真空阀门控制开关,使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。2、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。3、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。4、显微镜切换为高倍率物镜,在大倍率下找到待测点,再微调显微镜聚焦和样品,将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢,以防动作过大误伤芯片,当探针针尖悬空于被测点上空时,可先用Y轴旋钮将探针退后少许,再使用Z轴旋钮进行下针,后则使用X轴旋钮左右滑动,观察是否有少许划痕,证明是否已经接触。测试信号的完整性需要高质量的探针接触,这与接触电阻(CRes)直接相关。

探针氧化:通常探针是由钨制成的,它如果长期不用,针尖要形起氧化,针尖如果氧化,接触电阻变大,测试时参数测不稳,为了不使它氧化,我们平时必须保护好探针卡,把它放在卡盒里,存放在氮气柜中,防止探针的加快氧化,同时测片子时,用细砂子轻轻打磨针尖并通以氮气,减缓氧化过程。针尖高低不平(若针尖高度差在30UM以上):探针卡使用一段时间后,由于探针加工及使用过程中的微小差异导致所有探针不能在同一平面上会造成。某些针尖位置高的扎不上AL层,使测试时这些针上电路不通。探针卡没焊到位,是因为焊锡时针受热要稍微的收缩,使针尖偏离压点区。安徽自动探针台加工厂家
探针台把晶圆片安放在一个可移动的金属板上。甘肃芯片测试探针台服务
如何判断探针卡的好坏:1.可以用扎五点来判断,即上中下左右,五点是否扎在压点内,且针迹清楚,又没出氧化层,针迹圆而不长且不开叉.2.做接触检查,每根针与压点接触电阻是否小于0.5欧姆.3.通过看实际测试参数来判断,探针与被测IC没有接触好,测试值接近于0。总之,操作工只要了解了探针卡故障的主要原因:1.探针氧化.2.针尖有异物(铝粉,墨迹,尘埃).3.针尖高度差.4.针尖异常(开裂,折断,弯曲,破损)。.5.针尖磨平.6.探针卡没焊好.7.背面有突起物,焊锡线头.8.操作不当。平时操作时应注意:1.保护好探针卡,卡应放到氮气柜中.2.做好探针卡的管理工作.3.规范操作,针尖不要碰伤任何东西。同时加强操作人员的技能培训。有利于提工作效率和提高质量。甘肃芯片测试探针台服务
上海勤确科技有限公司主要经营范围是电子元器件,拥有一支专业技术团队和良好的市场口碑。公司业务涵盖光纤耦合对准系统,硅光芯片耦合系统,直流/射频探针台,非标耦合对准系统等,价格合理,品质有保证。公司将不断增强企业重点竞争力,努力学习行业知识,遵守行业规范,植根于电子元器件行业的发展。在社会各界的鼎力支持下,持续创新,不断铸造***服务体验,为客户成功提供坚实有力的支持。