探针台是半导体（包括集成电路、分立器件、光电器件、传感器）行业重要的检测装备之一，其普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。探针台用于晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测试环节，负责晶圆的输送与定位，使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。在半导体器件与集成电路制造工艺中，从单晶硅棒的制取到器件制造的完成需经过复杂的工序，可分为前道工序与后道工序，探针台是检测半导体芯片的电参数、光参数的关键设备。经过检测，探针台将参数特性不符合要求的芯片记录下来，在进入后序工序前予以剔除，极大降低器件的制造成本。尽管随着探针压力的增强，接触电阻逐渐降低，终它会达到两金属的标称接触电阻值。河北芯片探针台
探针台概要：晶圆探针台是在半导体开发和制造过程中用于晶片电气检查的设备。在电气检查中，通过探针或探针卡向晶片上的各个设备提供来自测量仪器或测试器的测试信号，并返回来自设备的响应信号。在这种情况下，晶片探测器用于输送晶片并接触设备上的预定位置。探针台是检测芯片的重要设备，在芯片的设计验证阶段，主要工作是检测芯片设计的功能是否能够达到芯片的技术指标，在检测过程中会对芯片样品逐一检查，只有通过设计验证的产品型号才会量产。晶圆测试一般在晶圆厂、封测厂或专门的测试代工厂进行，主要用到的设备为测试机和探针台。河北芯片探针台磁场探针台主要用于半导体材料、微纳米器件、磁性材料。
关于探针：探针实现同轴到共面波导转换，探针需要保证一致性和兼容性，同时需要严格的控制其阻抗。板手动探针台在测试中非常受欢迎。它是精密和灵活性的独特组合，可实现PCB的横板或竖板的测量，并能扩展成双面PCB板测试系统，也可以根据客户的PCB板尺寸定制可调式夹具。搭配相应探针座与高精度电源或网络分析仪后，能够轻松实现FA级别的直流参数提取或67G内的射频参数测量。探针台可根据用户实验，选配DC、微波或光纤探针臂等。上海勤确科技有限公司。
探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析，抽查测试等用途。探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针(射频或直流探针)，准确扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座。
射频测试探针必须具有与测试点相匹配的阻抗。通常要做的是在设计中各个预先计划好的测试点焊接射频同轴电缆（尾纤）。这有助于确保足够的阻抗匹配，并且测试点可以选在对整体设计性能产生较小影响的区域。其他方法包括将用的射频探针焊接到自定义焊盘或者引线设计上，从而减少侵入性探测。高性能测试设备供应商可以提供高达毫米波频率的用探针。但这些探针的末端通常都很昂贵，且无法持续访问组成元件的电路。因此，它们在大容量的测试应用或者故障排除应用中受到限制，更适合于原型设计和研发。有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是工作台的故障。吉林磁场探针台公司
实现芯片测试的途径就是探针卡。河北芯片探针台
全自动探针台相比手动探针台和自动探针台两种添加了晶圆材料处理搬运单元（MHU）和模式识别（自动对准）。负责晶圆的输送与定位，使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。可以24小时连续工作，通常用于芯片量产或有一些特殊要求如处理薄晶圆、封装基板等。全自动探针台价格也是远比手动/半自动探针台要昂贵。软件为探针台系统增加了很多功能，使用者可以通过软件或机械操纵杆以各种速度向任何方向移动载物台，程序可以设置映射以匹配器件，可以选择要检测的器件。河北芯片探针台
