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    深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展，世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。本实用新型涉及真空焊接系统，特别涉及一种高压二极管硅叠中频真空焊接系统，属于高压二极管生产技术领域。背景技术：高压二极管的管芯由多个pn结组成，制造过程中是通过将园硅片（一片硅片形成一个pn结）和焊片逐层叠放形成再经过焊接形成圆饼状硅叠，此过程由高周波合金炉进行超纯氮气保护焊接完成。此焊接方式下要求对被焊接硅叠放在焊接密封石英罩中，先在石英罩充满超纯氮气进行保护，防止氧化，然后利用高频电源进行高频加热，当加热温度和熔化厚度达到一定要求时，停止加热，并用超纯氮气进行冷却和保护，温度下降到一定值时，取出被焊接硅叠。此过程对超纯氮气的纯度要求很高。常州硅光硅光电二极管供应硅光电二极管供应商就找世华高！

    本实用新型提供了一种高压二极管硅叠中频真空焊接系统，包括石英玻璃罩1，石英玻璃罩1的顶部通过上密封圈2与上固定板3的底端固定连接，上固定板3顶端的中部固定设有plc控制器4，对真空电磁阀9、微型真空泵10、氮气电磁阀11和氮气充气泵12进行控制，石英玻璃罩1的底部固定设有下密封圈5，下密封圈5的外壁固定设有电磁铁6，电磁铁6的外壁与磁环17的内壁磁性连接，增强石英玻璃罩1与下固定板7之间的密封性。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展，世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。

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    通过适当减小耗尽区宽度和减小扩散区电阻率，耗尽区宽度减小导致响应度的降低，再通过增加高反层使得光子在较薄的耗尽区中二次吸收来补偿，以减小耗尽区变薄对光响应度的影响(参见图3)；高反层的形成使得器件保持对长波响应度的同时，降低响应时间；进一步，通过在高反层上刻孔形成均匀的电流路径同时获得高的响应速度(参见图4)；由于扩散区(耗尽区以外的区域)材料电阻率很低，扩散区阻抗很小。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展，世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。硅光电二极管厂家就找深圳世华高。长沙进口硅光电二极管型号

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    具体实施方式下面结合实施例对本发明做进一步详细描述，所述是对本发明的解释而不是限定。参见图1～图4，一种高速高响应度的硅基光电二极管，包括背面设有背面电极108的衬底107；衬底107正面依次设有高反层(109、外延层101、注入层、氧化硅层、氮化硅层和正面金属电极106；所述的高反层109上开设有用于形成电流路径的刻蚀孔，以及与正面金属电极106相对应的刻蚀区；所述的注入层包括保护环102以及设在其内的有源区103；所述的正面金属电极106还贯穿氧化硅层、氮化硅层与有源区103相连接。进一步的，所述的衬底107为电阻率20～100为ohm·cm的硅基衬底，衬底背面直接做金属化处理形成背面电极108。所述的外延层101淀积在高反层109上；在外延层101上分别以n型离子注入形成保护环102，以p型离子注入形成有源区103；所述的氧化硅层为热氧化生成sio2层104，所述的氮化硅层为淀积生长的si3n4层105；所述的正面金属电极106是在溅射后经刻蚀成形。参见图2所示的光电二极管等效电路示意图，rsh为光电二极管关断阻抗，rsh＝∞，rs为光电二极管串联电阻。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。长沙进口硅光电二极管型号