真空泵制造厂家

扩散真空泵抽速在很宽的压强范围内保持不变，但在压强较高或很低时，抽速下降很快。当泵入口压强很低时，气体从前级通过射流的反扩散会增加，同时工作油蒸汽的含气量和泵壁放气影响变得明显。入口压强较高时，大量气体分子进入射流与蒸汽分子碰撞，射流的定向速度衰减较大，增大了前级的反流，抽速降低；油扩散泵的极限压强与前级侧气体的反扩散、泵壁温度下泵油的饱和蒸汽压、泵油的裂化程度、蒸汽射流的放气量以及泵壁的放气量等因素密切相关，当泵的出口压强小于某一出口压强p2max时，泵的入口压强不受出口压强的影响，气体的反扩散对泵的极限压强影响不大。油扩散泵的较大出口压强取决于一级喷嘴的工作状态，与蒸汽射流密度、喷嘴蒸汽流量以及一级喷嘴的结构有关。真空泵在工作第1个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。真空泵制造厂家

螺杆真空泵是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，它是油封式真空泵的更新换代产品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，在国内各大制药和化工企业得到普遍应用。优点是寿命长、能耗低、无油污染。两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式真空泵的更新换代产品。旋片式真空泵现价真空泵达到一定临界压力时，往往抽速会减小。

由于真空泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。

卧式往复真空泵一般为有油式，立式多为无油式。罗茨泵在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。抽气量是真空泵抽速的一个衡量因素。

对于微型真空泵抽气端阻力的大小可以用仪器测定，把它与泵的技术参数"进气口允许较大阻力"Por值比较就可以知道选型是否合适。通常根据经验采用简便的方法确定，比如下述几种情况都属于负载较大(即泵的抽气端阻力较大)，只能在微型真空泵范围内选型：在泵的抽气端要接很长的管道，或管道弯曲点多、弯曲厉害甚至会阻塞封闭，或管道内孔很小(比如小于φ2毫米)；在管路上有节流阀、电磁阀、气路开关、过滤器等元件；泵抽气口与密闭容器连接，或该容器虽未密闭但进气量较小；泵抽气口与吸盘连接，用于吸附物体(如集成块、精密工件等)；⑤泵的抽气端与过滤容器相连，容器口放置滤网，用于加速液体过滤。高真空机组往往需要三级机组的另一个原因归结于高真空泵的吸入压力的限制。旋片式真空泵现价

真空泵的维护检查油的位置。经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油。真空泵制造厂家

欧美半导体行业45％以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。据统计，目前国产干泵的应用还不足1％，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。真空泵制造厂家

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